一种蓝膜剥离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种蓝膜剥离装置，包括机架，机架上按铁环加工顺序依次设置有第一蓝膜剥离机构、第二蓝膜剥离机构和脱模机构；第一蓝膜剥离机构和第二蓝膜剥离机构分别从两个不同的十字方向将蓝膜边缘脱离铁环，第一蓝膜剥离机构和第二蓝膜剥离机构均包括固定底座和移动剥膜装置，移动剥膜装置包括双层固定架、伸缩内轴和侧滑块；伸缩内轴穿过并设置在双层固定架底部，伸缩内轴下部为向下收缩的圆台，四个的侧滑块滑动设置在双层固定架底部的四边，侧滑块上设置有与伸缩内轴接触的滑轮，侧滑块底部设置有供铁环上蓝膜接触的摩擦片；伸缩内轴向下运动时，伸缩内轴推动四个的侧滑块呈十字方向向外水平运动。本方案的膜环分离更加均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝膜剥离装置
本技术涉及晶圆生产
，特别涉及一种蓝膜剥离装置。
技术介绍
铁环是在晶圆生产中极为重要的一个部件，生产过程中，铁环会包覆着蓝膜，在生产过后需要将铁环与蓝膜分开。在半导体行业，膜环分离是靠外力将内环脱离，然后在将外环与残膜进行剥离的方式进行，并且对分离后的内环、外环、残膜分开单独收集。目前行业内大部分采用人工进行拆环动作，人工拆环的速度低，很难保证内环、外环朝向一致，影响加工效率，增加企业生产成本，存在不足。申请号为CN201910923835.7的中国专利，提出了一种发光二极管晶圆膜环分离自动化生产设备。该方案提出的膜环分离的办法未先将膜的边缘与环的边缘剥离，导致在膜环分离时，膜受到的吸力过大，会使得膜产生形变。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种蓝膜剥离装置，克服上述缺陷，膜环分离更加均匀。为达成上述目的，本技术的解决方案为：一种蓝膜剥离装置，包括机架，机架上按铁环加工顺序依次设置有第一蓝膜剥离机构、第二蓝膜剥离机构和脱模机构；所述第一蓝膜剥离机构和第二蓝膜剥离机构分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蓝膜剥离装置，包括机架(1)，其特征在于：机架(1)上按铁环加工顺序依次设置有第一蓝膜剥离机构(4)、第二蓝膜剥离机构(5)和脱模机构(6)；所述第一蓝膜剥离机构(4)和第二蓝膜剥离机构(5)分别从两个不同的十字方向将蓝膜边缘脱离铁环，/n所述第一蓝膜剥离机构(4)和第二蓝膜剥离机构(5)均包括固定底座(41)和移动剥膜装置(42)，移动剥膜装置(42)包括双层固定架(43)、伸缩内轴(44)和侧滑块(45)；/n伸缩内轴(44)穿过并设置在双层固定架(43)底部，伸缩内轴(44)下部为向下收缩的圆台，四个所述的侧滑块(45)滑动设置在双层固定架(43)底部的四边，所述侧滑块(45)上...

【技术特征摘要】
1.一种蓝膜剥离装置，包括机架(1)，其特征在于：机架(1)上按铁环加工顺序依次设置有第一蓝膜剥离机构(4)、第二蓝膜剥离机构(5)和脱模机构(6)；所述第一蓝膜剥离机构(4)和第二蓝膜剥离机构(5)分别从两个不同的十字方向将蓝膜边缘脱离铁环，
所述第一蓝膜剥离机构(4)和第二蓝膜剥离机构(5)均包括固定底座(41)和移动剥膜装置(42)，移动剥膜装置(42)包括双层固定架(43)、伸缩内轴(44)和侧滑块(45)；
伸缩内轴(44)穿过并设置在双层固定架(43)底部，伸缩内轴(44)下部为向下收缩的圆台，四个所述的侧滑块(45)滑动设置在双层固定架(43)底部的四边，所述侧滑块(45)上设置有与伸缩内轴(44)接触的滑轮(451)，所述侧滑块(45)底部设置有供铁环上蓝膜接触的摩擦片(452)；所述伸缩内轴(44)向下运动时，伸缩内轴(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢传播，
申请(专利权)人：厦门市弘瀚电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35