本发明公开了一种基于深度学习的晶圆预对准方法及系统，涉及晶圆检测技术领域。本发明的技术要点包括：基于晶圆脏污图像数据集训练基于深度学习的脏污检测模型；将待检测晶圆图像输入训练好的脏污检测模型中进行检测，获取晶圆脏污位置数据；基于晶圆脏污...

本发明公开了一款带调平功能的隔振器，属于振动控制技术领域，该隔振器包括：底座、平台、弹性件以及磁性机构，平台设于底座上方，弹性件有至少四个且均匀布设于底座侧方，弹性件位于平台底部，磁性机构的上部连接平台，磁性机构的下部连接底座，弹性件包...

本发明公开了一种集成式升降旋转机构，属于机械制造技术领域，该机构包括基座，基座滑动连接有第一平台，第一平台滑动连接有第二平台，第一平台在两侧转动设置有丝杠，一侧的丝杠与基座配合连接，另一侧的丝杠与第二平台配合连接，第一平台顶部设有带动丝...

本发明公开了一种平面运动台，包括运动基板，运动基板上侧设有基台，运动基板两侧分别对接有不少于三个的气浮轴承，运动基板布设有与气浮轴承对应设置的引导槽，气浮轴承包括气浮基体，气浮基体一侧连通有气浮基管，气浮基体内设有转动件，转动件与气浮基...

本发明公开了一种带正压回收的气浮直线台，涉及精密仪器技术领域，本装置包括气浮导轨，气浮导轨上配合设有气浮台，气浮台朝向气浮导轨一侧设有气浮轴承，气浮导轨布设有回收孔，气浮轴承包括气浮基体，气浮基体同轴贯穿开设第一通道，气浮基体朝向气浮导...

本发明涉及一种晶圆吸附载盘，具体涉及半导体设备技术领域。该晶圆校正吸附装置设置有辅助吸附组件，通过在辅助吸盘基体表面加设透气膜实现对晶圆底面进行保护，透气膜可以截留灰尘颗粒，避免颗粒物污染晶圆表面。该装置能够避免吸盘基体抽吸的时候，抽吸...

本发明公开了高速高精度搬运装置，涉及半导体制备设备技术领域，高速高精度搬运装置包括基体，顶侧设有机械臂组件，机械臂组件端部转动设有搬运组件，搬运组件包括上下设置的第一支撑板和第二支撑板，搬运组件包括转动轴，第一支撑板和第二支撑板之间设有...

本发明公开了用于传送晶圆的双叉式机械臂和传送装置，属于半导体传输技术领域，该机械臂包括自下而上平行布设的基座、第一摆臂、第二摆臂和转台，第一摆臂两端分别与基座和第二摆臂相连，转台与第二摆臂末端相连，转台连接有用于装载晶圆的第一叉臂和第二...

本发明公开了大行程晶圆搬运机器人，涉及晶圆搬运技术领域，大行程晶圆搬运机器人包括运移组件和搬运组件，运移组件用于搬运组件在空间上移动，搬运组件包括搬运基板，搬运基板一端延伸设有平行设置的搬运杆，搬运杆套设有吸附件，吸附件包括第一套体，搬...

本发明公开了一种高精度晶圆分选机，属于晶圆分选技术领域，包括分选本体，分选本体的内部配置有分选腔室，分选腔室内设有移动台和检测组件，检测组件设于移动台的上方；移动台配置吸附组件；吸附组件包括支撑盘，支撑盘的底部与移动台相配合，支撑盘内部...

本发明公开了自动晶圆分选机精密顶出机构，属于晶圆分选技术领域，包括检测基板，检测基板设置吸附区域用于与晶圆相配合；吸附区域配置有第一通孔，检测基板的下方设置顶出组件；顶出组件包括顶针，顶针上下移动并能伸入或伸出第一通孔；顶针的顶部配置有...

本发明公开了一种晶圆分选设备及分选方法，属于晶圆分选技术领域，该晶圆分选设备包括分选本体，分选本体内部配置有分选腔室，分选本体配置有上下料口，用于进料和出料；分选腔室的内部配置有机械手，用于实现晶圆的转移；分选本体的外壁配置有进气口和出...

本发明提供了一种高承载精密气浮转台，具体涉及气浮转台技术领域

本发明提供了一种多自由度的运动控制平台，涉及运动平台技术领域

本发明公开了一种具有高精度定位的垂直移动平台，涉及精密仪器技术领域，一种具有高精度定位的垂直移动平台包括基座和第二移动模组，基座顶侧相对设置两第一移动模组，第二移动模组两端分别可滑动的安装在两第一移动模组上方，第二移动模组设有第三移动模...

本发明公开了多维超精密微驱动器及控制系统，涉及精密仪器技术领域，多维超精密微驱动器包括减震基台，减震基台上设有两对向设置的气浮导轨，气浮导轨上对应设置有气浮台，相对气浮台之间连接有承重台，减震基台包括上下间隔相对设置的第一板体和第二板体...

本发明公开了一种高精度微小型空气静压气浮转台，涉及超精密加工技术，一种高精度微小型空气静压气浮转台包括转台基体，转台基体底侧设有转台基座，转台基座包括上基板和下基板，下基板与上基板相对侧设有平衡基台，平衡基台侧方环绕设有多个稳定件，平衡...

本发明公开了一种多行程运动结构及具有该结构的运动控制平台，属于精密移动平台技术领域，该多行程运动结构包括定子组件和动子组件，动子组件相对于定子组件直线往复移动，定子组件包括若干直线排列的定子基体，相邻两个定子基体之间设有插接结构，插接结...

本发明提供了一种纳米定位精度控制器及运动平台，涉及运动平台技术领域

本发明提供了一种高精密气浮直线平台，涉及运动平台技术领域，本发明的直线平台包括：承载台，气浮台，气浮轴承以及过滤器等，过滤器能够实现降低气流流速，截留部分细小颗粒，避免气流流入气浮轴承时空气中含有的灰尘堵塞气浮轴承的技术效果；气浮轴承能...