一种高承载精密气浮转台制造技术

本发明专利技术提供了一种高承载精密气浮转台，具体涉及气浮转台技术领域

【技术实现步骤摘要】
一种高承载精密气浮转台


[0001]本专利技术属于气浮转台
，具体涉及一种高承载精密气浮转台
。

技术介绍

[0002]气浮转台是把主轴以及转动平台在空气中悬浮起来，并可以稳定地高精度地旋转，这种悬浮效果是通过导入压缩空气来实现的，泄压的缝隙极小，保证了主轴以及转动平台的悬浮，该结构具有高速度，高精确度，长寿命，摩擦因数小，无磨损，不需要润滑油，卓越的速度控制性能，无噪音等优点
。
现有技术中，常见的气浮转台厚度较厚，且无法进行垂直方向的运动
。
[0003]现有技术提供了一些解决方案，例如专利
JP2014224549A
，该专利提供了与旋转轴
A
同轴排列的第一部件
、
中间部件以及第二部件，第二轴承面在与第二中间轴承面间设置第二静压空气轴承，在工作过程中，第一轴承面和第一中间轴承面向接近方向对第一预压装置和第二轴承面以及第二中间轴承面向接近方向施力驱动轴体转动发生垂直位移，减少了轴体的倾斜
、
偏心以及轴偏移度，提高轴体的布尔旋转精度
。
但是该专利技术在实现上述技术效果的同时，通过轴体转动发生垂直位移的方法容易造成气膜分布不均匀，使得气膜不够稳定进而导致转台发生倾斜，在此，专利技术人认为还具有很大的改进空间
。

技术实现思路

[0004]为了提高气膜的生成速度，同时提供一种压强较高的气膜并保证转台的稳定性
。
本专利技术提供了一种高承载精密气浮转台，包括：底座，底座上方设有基体，基体上方设有伸缩台，伸缩台中心设置有转台，基体内设有缓流组件，缓流组件包括主通气柱，主通气柱上方固定连接有第一通气管道，第一通气管道上方连接有挡气板，挡气板下方连接有第二通气管道，第二通气管道环绕主通气柱设置
。
[0005]进一步地，在该高承载精密气浮转台工作时，伸缩台与转台的运动是可同时进行的，伸缩台的下端面设置有滑移条，该滑移条与装置内壁相配合，在支撑组件中丝杆的推动作用下，转动套件产生垂直方向的位移，在此情况下带动主通气柱同步位移，进而实现带动伸缩台垂直方向的运动，使得转台能够在垂直方向上发生位移，值得一提的是，输气管道采用的是软管结构，并不会因为转动套件发生位移而导致输气管道无法传输气体的现象发生，而且在基体侧面并排设置有多个滑槽，输气管道与外界气泵连接的气管穿过滑槽，在转动套件上下移动的时候，能够同步带动气管在滑槽范围内上下移动
。
[0006]此外，从气泵输入装置内的高压空气经由缓流组件进一步排出至转台底端，在缓流组件排出空气时能够在转台和伸缩台之间形成气膜，进而使得转台浮起，进一步地，伸缩台内设置有与第二通气管道连通的分流管道，分流管道各个输出端设于转台多个表面，转台呈“工”字形，在转台中部依次设置有驱动电机和制动电机，其中制动电机用于控制转台停止工作，驱动电机控制转台转动
。
[0007]本专利技术中，主通气柱侧开设有方形的入气通道，主通气柱包括有设置在该主通气
柱一端的台体，该台体一端固定连接有转动杆，台体外侧设有齿圈，齿圈上部设有通气外壳，并且通气外壳套设于主通气柱外侧，通气外壳顶部配合设置有挡气板
。
[0008]本专利技术中，缓流组件还包括转动套件，转动套件包括一基座，该基座底部连接有支撑组件，同时该基座底部连接有输气管道，并且该基座具有与输气管道连通的管路，且该管路与缓流组件内部连通
。
[0009]进一步地，转动套件包括一基座，该基座底部连接有支撑组件，同时该基座底部连接有输气管道，并且该基座具有与输气管道连通的管路，缓流组件底部设有与管路连通的通气连通口
。
[0010]本专利技术中齿圈外侧设有能够驱动齿圈旋转的齿盘，基座上设有用于驱动齿盘转动的第二电机，支撑组件外侧套设有定位基体，定位基体与基体内壁固定连接，支撑组件和定位基体均设于底座上
。
[0011]进一步地，齿圈外侧套设有的转动套件可使得缓流组件能够相对转动套件发生转动，基座上设有用于驱动齿盘转动的第二电机，第二电机与齿盘配合安装，齿盘与齿圈配合安装，第二电机工作带动齿盘转动，齿盘转动同步带动齿圈转动，进而带动缓流组件发生转动，由于齿圈与通气外壳固定连接，第二电机带动齿圈转动同步带动通气外壳转动，其中通气外壳与挡气板通过轴承连接，因此在通气外壳旋转的时候，通气外壳内部的第二通气管道不会随之运动，此外通气外壳内侧设置有叶板，在通气外壳转动时叶板随之转动使得内部气流形成旋流
。
[0012]本专利技术中，主通气柱还包括有与主通气柱同轴的第一柱体，第一柱体一端与主通气柱内底部连接，第一柱体另一端转动连接有第二柱体，第二柱体上端与主通气柱内壁转动连接，第一柱体和第二柱体同轴，主通气柱与第一通气管道连接处开设有通孔，伸缩台上开设有与第一通气管道和第二通气管道对应的通气通道通孔，且第一通气管道以及第二通气管道均穿过伸缩台，第一通气管道输出端抵接转台底端
。
[0013]进一步地，设置多个第二通气管道能够避免气流堆积堵塞在缓流组件内部，并且从多个通气管道中排出气流能够保证气流的均匀分布，使气流均布于转台下方进而形成空气膜
。
[0014]本专利技术中，通气外壳内壁侧面环绕布设有多个叶板，第二柱体外侧套设有多个分流板，分流板与主通气柱内壁固定连接，第二柱体可相对分流板转动
。
[0015]进一步地，在气泵通过输气管道进行输气时，气体从缓流组件底部进入到缓流组件内部，分别从第二通气管道和第一通气管道向上流动实现将气流进行分流，能够从不同方向向上方的转台进行输出气体，能够一次性在不同位置快速使伸缩台和转台之间形成气膜，相较于现有技术单方向输入气体的模式，本案提供的多通道输送气流的方式能够有效提高气膜的生成速度
。
[0016]由于是多点输入气体，伸缩台与转台之间会存在多股气流，多股气流汇聚有利于增强气膜的压强，并且确保伸缩台和转台各个位置的气膜厚度均匀
。
[0017]进一步地，缓流组件能够对进入缓流组件内部的气体进行整流，其中通气外壳的旋转运动能够对内部的紊流气流起到整流效果，使气流均匀流动，进而实现气流均匀分布且均匀向上方的第二通气管道以及第一通气管道移动
。
值得一提的是，第一通气管道设计位置位于转台中心正下方，为避免第一通气管道向上流动气流强度过大，通过在缓流组件
中部设计主通气柱的方式对第一通气管道排出的气流起到缓流的效果，以此实现转台底部中心处的气流流速相对低于四周环绕设置的第二通气管道排出气流的流速，并且四周环绕布设的第二通气管道气流流速均衡排出的方式能够确保转台悬浮的平稳度得到保障，不会因为底部中心处第一通气管道排出气体压力过强导致转台悬浮状态下出现倾斜的可能性
。
[0018]本专利技术中，分流板上开设有弧形的分流孔，分流板之间间隔布设有刮板，刮板与分流板上表面抵接，刮板与第二柱体固定连接
。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种高承载精密气浮转台，包括：底座（
11
），所述底座（
11
）上方设有基体（
12
），所述基体（
12
）上方设有伸缩台（
13
），所述伸缩台（
13
）中心设置有转台（
14
），其特征在于，所述基体（
12
）内设有缓流组件（3），所述缓流组件（3）包括主通气柱（
34
），所述主通气柱（
34
）上方固定连接有第一通气管道（
33
），所述第一通气管道（
33
）上方连接有挡气板（
31
），所述挡气板（
31
）下方连接有第二通气管道（
32
），所述第二通气管道（
32
）环绕主通气柱（
34
）设置
。2.
根据权利要求1所述的一种高承载精密气浮转台，其特征在于，所述主通气柱（
34
）侧开设有方形的入气通道（
341
），所述主通气柱（
34
）包括有设置在该主通气柱（
34
）一端的台体，该台体一端固定连接有转动杆（
342
），所述台体外侧设有齿圈（
36
），所述齿圈（
36
）上部设有通气外壳（
35
），并且所述通气外壳（
35
）套设于主通气柱（
34
）外侧，所述通气外壳（
35
）顶部配合设置有挡气板（
31
）
。3.
根据权利要求2所述的一种高承载精密气浮转台，其特征在于，所述缓流组件（3）下方设有转动套件（
37
），所述转动套件（
37
）包括一基座，该基座底部连接有支撑组件（2），同时该基座底部连接有输气管道（
371
），并且该基座具有与所述输气管道（
371
）连通的管路，且该管路与所述缓流组件（3）内部连通
。4.
根据权利要求3所述的一种高承载精密气浮转台，其特征在于，所述齿圈（
36
）外侧设有能够驱动齿圈（
36
）旋转的齿盘（
372
），所述基座上设有用于驱动齿盘（
372
）转动的第二电机...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆敏杰，姜燕燕，
申请(专利权)人：无锡星微科技有限公司杭州分公司，
类型：发明
国别省市：