【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶圆分选，具体涉及一种晶圆分选设备及分选方法。
技术介绍
1、晶圆在生产过程中，需要根据晶圆是否合格将晶圆分选，其中合格晶圆进入后续流程，不合格晶圆通常包括多种不同状态的晶圆，针对不同的晶圆需要进行不同方式的处理。现有的晶圆分选方式通常将晶圆分装为合格和不合格两种，不能实现对不合格晶圆的分别分装，使用较为不便。
2、授权号为twi806605b的专利技术专利提供一种晶圆分选系统与晶圆分选方法，该系统具有输送装置、抓取装置、多个晶圆储存盒与控制装置。多个晶圆储存盒分为良品区、无分类劣品区及已分类劣品区。已分类劣品区具有分别对应多个瑕疵类型的多个瑕疵区。系统输送良品晶圆至良品区记录劣品晶圆的瑕疵类型并输送至无分类劣品区。系统还对无分类劣品区的多个劣品晶圆执行分类处理拿取劣品晶圆并基于分类结果输送至已分类劣品区中对应的瑕疵区。该专利技术可大幅增加良品区的容量并实现全自动的晶圆分选功能。
3、然而，上述晶圆分选设备及分选方法中并未针对分选环境进行改进，分选系统容易因工作环境的不稳定性而影响分选结果的准确性。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种结构简单的晶圆分选设备及分选方法，通过对进入分选腔室的气体进行过滤提高分选腔室内部环境的均衡度，提高分选结果的准确性。
2、本专利技术为实现上述目的所采取的技术方案为：
3、一种晶圆分选设备，包括分选本体，分选本体内部配置有分选腔室，分选本体的侧壁配置有用于进料的上料口和用于出料
4、分选本体的外壁配置有进气口和出气口，进气口与出气口均与分选腔室连通；进气口配置有预处理组件；
5、预处理组件包括壳体，壳体配置有进风口和出风口，壳体的出风口与分选本体的进气口对应设置；壳体的内部配置有过滤组件，用于对进入分选腔室内部的气体进行过滤；过滤组件包括依序设置的多级滤芯，多级滤芯配置有分隔结构，用于引导气流分割和汇合。过滤组件与壳体的出风口之间还配置有温控件，用于调控进入分选腔室内部的气流的温度。
6、采用上述技术方案，利用预处理组件中的过滤组件实现对进入分选腔室内部的气流的过滤，从而滤除气流中可能存在的尘粒，保证分选环境无尘化，防止因设备运行过程中磨损产生的尘粒进入分选腔室而影响分选设备的精准度，从而保证分选工序顺利进行。此外，气流经过过滤组件时由分隔结构进行多次分割和汇合，从而提高气流的均衡度，尤其是能够保证进入分选腔室的气流温度趋于恒定，该部分气流在分选腔室内部流动有助于促使分选腔室内部不同区域的温度快速趋于一致。如此，在因为晶圆材质、型号等因素需要调控晶圆分选工序的环境温度时，可利用过滤组件的设置实现快速升温或降温，并避免局部区域温度过高或过低。此外，利用过滤组件向分选腔室内部输入气流还有助于快速吸收并扩散分选设备运作过程中产生的热量，避免相关设备因局部温度过高而影响工作效率。
7、根据本专利技术的一种实施方式，过滤组件包括过滤箱体，过滤箱体的侧壁配置有进气口、顶部配置有出气口；过滤箱体的内部依序配置有第一过滤件、第二过滤件和第三过滤件，第一过滤件的输入端与过滤箱体的进气口相对设置，第三过滤件的输出端与过滤箱体的出气口相对设置，也就是说进入过滤箱体的气流能够依序通过第一过滤件、第二过滤件和第三过滤件。
8、进一步的，第一过滤件能够旋转，并从侧方将气流传递至第二过滤件。
9、进一步的，第一过滤件包括第一基体，第一基体为一端开口的柱形结构，第一基体的开口端与过滤箱体的进气口相对设置，用于进气。第一基体的侧壁环绕设置多个出风口，且该多个出风口为沿轴线延伸的长条状细缝结构。第一基体的内部设有第一滤芯。第一基体能够绕水平方向的轴线转动。如此，进入过滤箱体内部的气流首先进入第一基体的内部，经过第一滤芯过滤后从第一基体侧壁上的出风口排出。
10、进一步的，第二过滤件包括第二基体，设于第一过滤件的下方。第二基体的顶部设有进风口，侧方设有出风口。如此，第一基体转动，也有助于促进排出的气流向第二基体的进风口方向流动。
11、第二基体的内部并排设置多个隔板，隔板之间填充有第二滤芯，隔板的一个边缘与出风口相对。如此，第一过滤件排出的旋流可从第二过滤件的顶部进入第二基体，经过隔板再次分割为多股气流，这多股气流经过第二过滤件的二级过滤后从第二基体的侧方排出。如此，在对气流进行二级过滤的同时实现了对气流的进一步分散，有助于提高气流的均衡度。
12、进一步的，第三过滤件包括第三基体，第三基体在高度上设于第二基体的上方；第三基体的底部或侧方设置进风口，顶部设置出风口，第三基体的内部并排设置多个隔板，隔板之间填充有第三滤芯。
13、根据本专利技术的一种实施方式，第二过滤件的输出端与第三过滤件的输入端之间配置有滑移件，具体的，第二过滤件设于滑移件的侧方，第三过滤件设于滑移件的上方。滑移件远离第二过滤件的一端与过滤箱体的内侧壁弹性连接。
14、如此，气流通过第二过滤件向第三过滤件流动的过程中流经滑移件，通过气流流速来推动滑移件移动，由于滑移件与过滤箱体的侧壁弹性连接，在滑移件往返移动的过程中，实现对滑移件以及第二过滤件两者的间距进行调节，进而控制进入第三过滤件的气流的流量，也就是实现对过滤组件整体过滤速度的调控。
15、根据本专利技术的一种实施方式，滑移件包括第三板体，第三板体远离第二过滤件的一侧与过滤箱体的内侧壁之间连接有弹簧；第三板体朝向第二过滤件的一侧并排设置多个第一空心管，相邻设置的两个第一空心管之间配置有第一板体。
16、进一步的，第一空心管为u型结构，第一空心管的开口端与第三板体相连。
17、经由第二过滤件排出的气流向滑移件方向吹动，气流经由第一板体再次实现分割，被分割的气流在第一空心管的导流作用下沿管壁流动，并通过第三板体实现对气流的拦截，滑移件在气流以及弹簧的双重作用下靠近或远离第二过滤件，从而实现对进入第三过滤件的气体的流量。此外，利用滑移件中的第一空心管、第一板体还能够对流经的气流提到均衡热量的作用。
18、根据本专利技术的一种实施方式，预处理组件包括出风组件；出风组件包括第一筒体，第一筒体通过轴承与壳体的出风口转动连接；第一筒体的外部环绕配置多个第二筒体，第二筒体的一端与第一筒体的侧壁相连通用于进气，第二筒体的另一端用于出气。
19、由此，利用出风组件对进入分选腔室内部的气流进行整流和分割，气流经由第一筒体向周围的多个第二筒体分散，分散而成的单股气流在汇合过程中流速与流向趋于一致，最终进入分选腔室，有助于提高气流的均衡度。此外，第一筒体能够转动，从而有助于促使进入分选腔室内部的气流形成旋流，如此可加速气流在分选腔室内部的扩散，促使分选腔室内部的不同区域的气体快速达到均衡。
20、根据本专利技术的一种实施方式，第一筒体与第二筒体的出气端均配置有导风套；导风套的侧壁环绕配置多个沿本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆分选设备，包括分选本体（10），所述分选本体（10）内部配置有分选腔室，所述分选本体（10）配置有用于进料的上料口（11）和用于出料的下料口（12）；所述分选腔室的内部配置有机械手（13），用于实现晶圆的转移；其特征在于，
2.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，
6.根据权利要求4所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，
7.一种晶圆分选方法，其特征在于，采用如权利要求1所述的晶圆分选设备，所述分选腔室的内部配置有校准单元、检测单元和工控机（14），校准单元、检测单元以及机械手（13）均与工控机（14）相连，所述一种晶圆分选方法包括如下步骤：
【技术特征摘要】
1.一种晶圆分选设备，包括分选本体（10），所述分选本体（10）内部配置有分选腔室，所述分选本体（10）配置有用于进料的上料口（11）和用于出料的下料口（12）；所述分选腔室的内部配置有机械手（13），用于实现晶圆的转移；其特征在于，
2.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，
4.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆敏杰，王兆昆，
申请(专利权)人：无锡星微科技有限公司杭州分公司，
类型：发明
国别省市：
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