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芜湖启源微电子科技合伙企业有限合伙专利技术
芜湖启源微电子科技合伙企业有限合伙共有13项专利
MOSFET晶体管制造技术
本实用新型公开了一种MOSFET晶体管,MOSFET晶体管包括:衬底;缓冲层;漂移区;掺杂基区;帽层;多个沟槽;多个沟槽自帽层一侧向衬底一侧延伸,并延伸至漂移区内;多个重掺杂区,重掺杂区位于漂移区内且位于沟槽的底部,第一金属层,第一金属...
一种SiC IGBT器件制造技术
本实用新型提供的SiC IGBT器件从下至上依次为集电极、P+层、N+层、N‑电阻层、场终止层、N‑漂移层、N载流子储存层、P基区、N型JFET区、欧姆接触、栅极、肖特基接触和发射极,器件背面N+层与P+层之间形成交替设置的N+区与P+...
肖特基二极管制造技术
本实用新型公开了一种肖特基二极管,肖特基二极管包括:衬底;缓冲层;漂移区,漂移区位于缓冲层的一侧;第二外延层,第二外延层内具有沟槽;重掺杂区,重掺杂区位于沟槽的底部;结型场效应区,结型场效应区位于相邻的两个重掺杂区之间;第一金属层,第一...
一种集成栅保护结构的SiCMOSFET器件制造技术
本实用新型涉及半导体技术领域,尤其是涉及一种集成栅保护结构的SiC MOSFET器件,所述SiC MOSFET器件从边缘向中心依次包括划片槽区和终端区、p+主环、在所述p+主环上的栅跑道和源跑道、由多个原胞结构并联组成的有源区以及所述有...
一种带有保护结构的SiCMOSFET器件制造技术
本实用新型涉及半导体技术领域,尤其是涉及一种带有保护结构的SiC MOSFET器件,所述SiC MOSFET器件从边缘向中心依次包括终端区和划片槽区、p+主环、在所述p+主环上的栅跑道和源跑道、由多个原胞结构并联组成的有源区以及所述有源...
肖特基二极管制造技术
本实用新型公开了肖特基二极管。肖特基二极管包括:位于衬底一侧的外延层,包括漂移区、第二掺杂类型区和多个孤立的结型场效应区,漂移区和结型场效应区具有第一掺杂类型,第二掺杂类型区和结型场效应区位于漂移区远离衬底的一侧,第二掺杂类型区环绕结型...
一种结型场效应晶体管器件及其制备方法技术
本发明公开了一种结型场效应晶体管器件,所述器件包括:Ⅰ-
一种集成栅保护结构的SiC MOSFET器件制造技术
本发明涉及半导体技术领域,尤其是涉及一种集成栅保护结构的SiC MOSFET器件,所述SiC MOSFET器件从边缘向中心依次包括划片槽区和终端区、p+主环、在所述p+主环上的栅跑道和源跑道、由多个原胞结构并联组成的有源区以及所述有源区...
一种带有保护结构的SiC MOSFET器件制造技术
本发明涉及半导体技术领域,尤其是涉及一种带有保护结构的SiC MOSFET器件,所述SiC MOSFET器件从边缘向中心依次包括终端区和划片槽区、p+主环、在所述p+主环上的栅跑道和源跑道、由多个原胞结构并联组成的有源区以及所述有源区上...
一种SiC IGBT器件及其制备方法技术
本发明涉及半导体技术领域,尤其是涉及一种SiC IGBT器件及其制备方法。本发明提供的SiC IGBT器件通过在器件的表面设置肖特基二极管结构,并且在器件背面形成交替设置的N+区与P+区,使器件在进行续流工作时,正面的MPS二极管(嵌入...
肖特基二极管及其制作方法技术
本发明公开了肖特基二极管及其制作方法。肖特基二极管包括:位于衬底一侧的外延层,包括漂移区、第二掺杂类型区和多个孤立的结型场效应区,漂移区和结型场效应区具有第一掺杂类型,第二掺杂类型区和结型场效应区位于漂移区远离衬底的一侧,第二掺杂类型区...
肖特基二极管以及制备该肖特基二极管的方法技术
本发明公开了一种肖特基二极管以及制备该肖特基二极管的方法,肖特基二极管包括:衬底;缓冲层;漂移区,漂移区位于缓冲层的一侧;第二外延层,第二外延层内具有沟槽;重掺杂区,重掺杂区位于沟槽的底部;结型场效应区,结型场效应区位于相邻的两个重掺杂...
MOSFET晶体管制造技术
本发明公开了一种MOSFET晶体管,MOSFET晶体管包括:衬底;缓冲层;漂移区;掺杂基区;帽层;多个沟槽;多个沟槽自帽层一侧向衬底一侧延伸,并延伸至漂移区内;多个重掺杂区,重掺杂区位于漂移区内且位于沟槽的底部,第一金属层,第一金属层覆...
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