唐德铮专利技术

唐德铮共有1项专利

  • 一种X射线探测器,包括:荧光板和光电转换板,所述荧光板上有包含沟槽的晶体硅层;第一屏蔽层,形成于晶体硅层上;硬掩膜层,形成于第一屏蔽层上;第二屏蔽层,沉积于沟槽侧壁;荧光层,填充于沟槽内,覆盖第二屏蔽层;选择反射层,覆盖硬掩膜层及荧光层...
1