X射线探测器和X射线探测器制造方法技术

一种Ｘ射线探测器，包括：荧光板和光电转换板，所述荧光板上有包含沟槽的晶体硅层；第一屏蔽层，形成于晶体硅层上；硬掩膜层，形成于第一屏蔽层上；第二屏蔽层，沉积于沟槽侧壁；荧光层，填充于沟槽内，覆盖第二屏蔽层；选择反射层，覆盖硬掩膜层及荧光层；钝化层，形成于选择反射层上；氧化硅层，形成于晶体硅层上，用于荧光板和光电转换板间键合；微透镜，形成于氧化硅中。上述探测器可以使得荧光沟槽阵列与光电二极管阵列一一对应，荧光沟槽内的屏蔽层可以防止Ｘ射线产生串扰。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐德铮，
申请(专利权)人：唐德铮，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]