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一种Ｘ射线探测器，包括：荧光板和光电转换板，所述荧光板上有包含沟槽的晶体硅层；第一屏蔽层，形成于晶体硅层上；硬掩膜层，形成于第一屏蔽层上；第二屏蔽层，沉积于沟槽侧壁；荧光层，填充于沟槽内，覆盖第二屏蔽层；选择反射层，覆盖硬掩膜层及荧光层；钝...
该专利属于唐德铮所有，仅供学习研究参考，未经过唐德铮授权不得商用。

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