一种掩模基板衬底抛光工艺的压力控制装置与方法及掩模基板衬底抛光系统，控制装置包括模块化气路集成单元与中央控制单元，气路单元集成了电气比例阀压力传感器及用于通路切换与精密排气泄压的阀组，构成可切换的正压施压与负压吸附通路；中央控制单元基于...

本发明公开了一种OLED显示面板发光层的制造方法及其应用，包括在基板上形成三个子像素的阳极；在基板上沉积第一牺牲层；对第一牺牲层进行图形化处理，以使第一子像素的阳极暴露，以及将覆盖第二子像素的阳极区域和第三子像素的阳极区域的第一牺牲层进...

本发明公开了一种密封除尘打孔装置，属于打孔设备技术领域。包括打孔机体及其驱动的钻孔头，本发明集成设置了密封、集尘与降尘组件，密封组件包括碗状透明的除尘防护罩，其通过连接杆与机体连接并罩住钻头，下端与工作面接触形成密闭作业空间，集尘组件包...

本发明公开一种高承载力的多维度光学调整架装置，包括调整架，其由沿X轴方向自上而下层叠设置的面外平移模块、俯仰模块、倾斜模块和面内平移模块组成，分别用于实现光学器件沿X轴平移、绕X轴旋转、绕Y轴俯仰、绕Z轴倾斜以及沿Y轴平移，各模块均设有...

本发明公开了一种基于视觉的非标零件质量检测系统及方法，该系统包括检测框架、视觉模块、升降旋转平台、分类桌及机器人模块，视觉模块固定于框架上以采集图像；升降旋转平台位于视觉模块下方，用于承载并调整零件的高度与水平角度；分类桌设有待检、合格...

本发明公开了一种基于负载端全闭环反馈的激光功率衰减器及方法，该衰减器包括固定架及集成于其上的驱动单元、偏振旋转元件、检偏单元、角度测量单元和控制器，所述角度测量单元用于直接测量所述偏振旋转元件绕其自身光轴旋转的实际角度，且所述控制器被配...

本发明公开了一种微调反射镜法线方向的三自由度调整机构，包括镜框，平移台、俯仰台、旋转台、底座和平移台顶座；其中，旋转台可旋转地安装于底座上；旋转台的一侧具有有旋转凸块，底座上还设置有两个凸座，旋转凸块位于两个凸座之间，凸座上横向螺纹穿设...

本发明公开了一种半球谐振子的激光烧蚀和参数优化系统及方法，该系统包括激光器、控制系统、频差测试模块、真空腔，以及设置在真空腔内的电动旋转底座、工作平台、测振夹具、电控激励小锤和止振阻尼器；所述工作平台安装于电动旋转底座上；所述止振阻尼器...

本申请涉及光刻胶材料领域，具体公开了一种分子量集中分布的深紫外光刻胶用树脂及制备方法和应用。深紫外光刻胶的制备方法包括以下步骤：在反应前期，将树脂单体及部分引发剂溶解于溶剂中，在加热的条件下进行自由基聚合反应；在反应中期，再加入一部分引...

本发明公开了一种基于CadencePspice软件的半球谐振陀螺仪电路模型，通过调用CadencePspice软件的内置元件实现；包括：驱动模块，用于提供一激励信号；第一转换模块，用于将激励信号转换为代表x轴的静电力的第一信号f(x)；...

本发明公开了一种半球谐振陀螺仪的双模控制方法，该方法通过先计算振型所处位置角度θ值，再通过θ计算在力反馈控制模式或全角控制模式下的旋转角速度Ω；如此，能够适用力反馈控制模式的计算，同时也能适用全角控制模式的计算。实现在不同工况下，控制系...

本发明公开了一种用于扫描镜头畸变和远心度的高精度检测装置及方法，装置包括光源组件、扫描装置、待测镜头、测试靶、位移平台、光电倍增管、信号采集模块和数据处理模块；其中，光源组件用于提供扫描光线；扫描装置具有一可活动的反射镜，反射镜用于将扫...

一种具有储水结构的沙粒及其制备方法和应用。本发明公开了S1、选取粒径0.1‑1mm的沙粒，且粒径分布符合D50=0.3mm，并筛除黏土杂质并清洗烘干后，置入到沙粒基板(1)上；S2、通过静电喷涂技术，在沙粒表面均匀喷涂纳米硅酸盐粉末，以...

本发明公开了一种基于线扫描的高斯光斑实时检测系统及方法，包括电动位移台、光源组件、半透半反镜、光电转换模块、数据接口模块以及信号处理模块；其中，电动位移台，其上面安装有掩模板，掩模板上布置有多斜率线条；光源组件用于提供高斯光束；电动位移...

本发明公开了一种基于深紫外激光的反射镜表面疏水微纳结构刻写装置及方法，装置包括：第一光源，用于提供白光源；第二光源，用于提供激光源，激光源为深紫外激光；激光扫描模块，包括第一压电控制分束镜、第二分束镜和第一压电偏转镜；探测器，用于从第二...

本发明公开了一种智能双补偿光纤耦合系统，包括底板、直线位移平台、两个压电偏转镜、光纤支架、温度传感器、加速度传感器和控制装置；其中，直线位移平台、至少两个压电偏转镜、光纤支架均通过单独的一块支撑基板固定在底板上；直线位移平台上安装有透镜...