本发明涉及一种MEMS高功率光机的开环热冲击补偿方法，针对主激光器L1射出光脉冲到达MEMS高功率光机中MEMS微镜正面反射镀层发生反射，引入互补激光器L2向MEMS微镜进行热辐射，并控制MEMS微镜分别受主激光器L1光脉冲、互补激光器...

本技术涉及一种车灯，尤其是一种MEMS微镜的远光车灯，包括：MEMS微镜；不少于两个的光源模组，设于MEMS微镜的两侧或同一侧；反射镜，分别与MEMS微镜和光源模组相对设置，且与光源模组一一对应，用于将光源模组的发出的光反射至MEMS微...

本技术涉及一种MEMS振镜，尤其是一种用于MEMS振镜扫描的光路模组，包括激光器以及依次设置用于传播所述激光器发出的激光的透镜一、MEMS振镜和透镜二；其中，所述透镜一的第二个表面为双锥面或自由曲面，用于在X方向将光线聚焦到所述MEMS...

本发明涉及基于多尺度图像重建和融合的结构光图像光斑优化方法，以多尺度特征提取模块、反卷积图像重建模块、图像融合模块，构建待训练网络，基于预设数量激光投射图像的灰度图像、以及分别对应预设光斑优化后激光投射灰度图像，对待训练网络进行训练，获...

本发明涉及一种线激光测量系统的标定方法，针对包括彼此位置、姿态相对固定的主激光器与图像捕获装置的线激光测量系统，结合辅助激光器、以及标定板，搭建标定平台，基于标定板在图像捕获装置景深范围内的移动，依次执行图像捕获装置内外参的获得与验证、...

本技术涉及一种基于DAC复用的多路电压基准阵列电路，采用全新结构设计，基于多路复用器MUX，结合电容阵列单元，构建多通道基准电压路径，进而应用数模转换器DAC关于预设大小电压的输出，实现各通道关于预设大小电压基准信号的构建与输出，即实现...

本发明涉及一种实时可调电流的激光器驱动电路，首先由预处理电路控制输入阻抗、整理输入电压信号的幅值范围，向闭环电流供给电路输送电压信号，然后由闭环电流供给电路接收来自预处理电路的电压信号作为参考信号，结合输出电压反馈，获得Sink电流输送...

本发明涉及一种压电驱动微镜，包括边框衬底（1）、镜面（2）、以及两个第一运动梁装置与两个第二运动梁装置彼此一一对应组合构建的两组运动组合梁装置，通过在折叠梁（3）两侧对应位置设置多段压电片（4）构成运动梁装置，如此通过对折叠梁（3）两侧...

本发明涉及一种MEMS移动微镜及干涉仪，采用全新梳齿驱动方案，通过反射镜（1）、载镜体（2）、推杆（3）、以及两个侧驱动装置组之间的组合结构设计，通过对推杆（3）两侧所布设侧驱动装置组中梳齿结构的供电，获得推杆（3）延其所在直线向该静杆...

本实用新型公开了一种二维MEMS微镜，该二维MEMS微镜包括镜面、框架、驱动装置、转轴，采用框架悬置，内部键合的结构，该结构可获得更大的静电力矩，使镜面具有更大的转角，且不需要电隔离槽，不需要多次梳齿刻蚀，该二维MEMS微镜的生产工艺简...

本实用新型涉及半导体封装技术领域，具体是一种用于陶瓷基板装引脚的治具装置，包括成对配置的引脚填装模块，所述引脚填装模块包括限位座，和可套设所述限位座的限位套；所述限位座与所述限位套之间通过锁紧件锁紧形成装配，装配后构成至少一个可填装引脚...

本实用新型涉及一种具备压阻反馈的静电MEMS微镜，包括衬底（1）、镜面（2）、定梳齿装置、两组动梳齿装置和两个压阻模块（3），通过压阻模块（3）上所设各金属电极（6）与对应扭转梁（4）之间惠斯通电桥的建立与应用，应用惠斯通电桥所具备检测...

本发明涉及一种具备压阻反馈的静电MEMS微镜及制造方法，包括衬底（1）、镜面（2）、定梳齿装置、两组动梳齿装置和两个压阻模块（3），通过压阻模块（3）上所设各金属电极（6）与对应扭转梁（4）之间惠斯通电桥的建立与应用，应用惠斯通电桥所具...

本实用新型涉及一种混合驱动的二维MEMS微镜，采用全新驱动结构设计，将压电驱动结构和静电驱动结构相结合，实现了混合驱动操作，其中设计基于环形外衬底（1），应用静电驱动结构实现对环形内衬底（2）的驱动，并进一步应用环形内衬底（2）与镜面支...

本发明涉及一种混合驱动的二维MEMS微镜及其制作方法，采用全新驱动结构设计，将压电驱动结构和静电驱动结构相结合，实现了混合驱动操作，其中设计基于环形外衬底（1），应用静电驱动结构实现对环形内衬底（2）的驱动，并进一步应用环形内衬底（2）...

本实用新型涉及一种MEMS开关，应用桥式结构，在驱动力作用下，使开关的中间部分产生最大位移，进而将接触区域设计为面接触，取消了现有技术中的点接触设计，由此避免点接触的缺点，获得了更高的MEMS开关工作效率，与此同时，针对所设计MEMS开...

本实用新型涉及一种双向驱动微镜芯片，克服现有技术中采用两层梳齿结构，只能单向驱动，使得微镜受力不对称、无法完全绕中心轴转动的问题，应用全新设计结构，拥有上中下三层梳齿结构，为微镜提供双向驱动力，使得被驱动对象的受力完全对称，获得更加优良...

本实用新型涉及一种精简工艺的微镜芯片，采用SOI硅片，驱动器布置于第三层，质量块与转轴布置在第一层，第二层布置支持结构，其中驱动器采用面内驱动器结构，可以实现面内驱动，通过中层支撑结构产生面外驱动转矩，带动质量块运动，可以实现快速扫描和...

本发明涉及一种双向驱动微镜芯片及制造方法，克服现有技术中采用两层梳齿结构，只能单向驱动，使得微镜受力不对称、无法完全绕中心轴转动的问题，应用全新设计结构，拥有上中下三层梳齿结构，为微镜提供双向驱动力，使得被驱动对象的受力完全对称，获得更...

本发明提供一种压力传感器及其制造方法，在压力敏感膜中形成了掺杂的压阻条，该压阻条的旁侧的压力敏感膜中形成有凹陷区，这样，使得压阻条与同一平面上的压力敏感膜分隔开，在纵向上仅形成压阻条与衬底之间的理想平行平面PN结，阻止压阻条与横向的压力...