【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种mems振镜，尤其是一种用于mems振镜扫描的光路模组。
技术介绍
1、mems扫描模组的视场角分为两个方向，一个是x方向即扫描方向，另一个y方向即线激光方向。入射光以45°入射到mems振镜上，在mems振镜振动扫描时，x方向的mems振镜有效面积将大大减小，因此若入射光斑的x方向尺寸大于振镜有效尺寸，会造成几点问题：
2、1、振镜在扫描过程中，光打到振镜以为的硅部分，造成扫描出来的光幕存在中心亮线问题；
3、2、打到振镜外其他结构上造成内杂散光，影响对比度；
4、3、最终的光幕左右两边存在亮度差异，不对称。
5、要想解决上述问题，可以增大振镜的面积，使振镜有效面积大于入射光斑尺寸，但增大振镜面积会增加成本，且振镜稳定性及精度会大大下降。
技术实现思路
1、为解决上述产生光斑以及不均匀的问题，本技术提供一种用于mems振镜扫描的光路模组，具体技术方案为：
2、一种用于mems振镜扫描的光路模组，包括激光器以及依次设置用于传播所述激光器发出的激光的透镜一、mems振镜和透镜二；其中，所述透镜一的第二个表面为双锥面或自由曲面，用于在x方向将光线聚焦到所述mems振镜上，在y方向将光线做一字展开，形成均匀的线激光；所述透镜一的第一个表面用于将入射激光在x及y方向准直；所述透镜二用于在x方向将振镜反射光在x方向准直，在y方向不作用。
3、优选的，所述透镜一的第一个表面为球面或者非球面，用于光路准直。p>
4、优选的，所述透镜二的第一面为非球面柱面或自由曲面，用于在x方向将光线准直。
5、优选的，所述透镜二的第二面为平面。
6、优选的，所示透镜一和所述透镜二均为玻璃透镜或光学树脂透镜。
7、优选的，所述mems振镜的机械转动半角度α为0～15°，所述mems振镜的光学扫描角度最大为60°。
8、优选的，还包括：光阑，设于所述透镜二的出光端，用于遮挡边缘杂散光。
9、优选的，还包括：窗口玻璃，设于所述透镜二的出光端。
10、与现有技术相比本技术具有以下有益效果：
11、本技术提供的一种用于mems振镜扫描的光路模组采用双锥透镜实现单颗透镜对入射光不同方向进行光路调制，使入射到镜面的光斑尺寸大大减小，可以解决扫描光幕在x方向不均匀的情况，减小所需的镜面尺寸，提高系统稳定性及重复性。
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1.一种用于MEMS振镜扫描的光路模组，其特征在于，包括激光器以及依次设置用于传播所述激光器发出的激光的透镜一、MEMS振镜和透镜二；
2.根据权利要求1所述的一种用于MEMS振镜扫描的光路模组，其特征在于，所述透镜一的第一个表面为球面或者非球面，用于光路准直。
3.根据权利要求1所述的一种用于MEMS振镜扫描的光路模组，其特征在于，所述透镜二的第一面为非球面柱面或自由曲面，用于在X方向将光线准直。
4.根据权利要求1所述的一种用于MEMS振镜扫描的光路模组，其特征在于，所述透镜二的第二面为平面。
5.根据权利要求1至4任一项所述的一种用于MEMS振镜扫描的光路模组，其特征在于，所示透镜一和所述透镜二均为玻璃透镜或光学树脂透镜。
6.根据权利要求1至4任一项所述的一种用于MEMS振镜扫描的光路模组，其特征在于，所述MEMS振镜的机械转动半角度α为0～15°，所述MEMS振镜的光学扫描角度最大为60°。
7.根据权利要求1至4任一项所述的一种用于MEMS振镜扫描的光路模组，其特征在于，还包括：光阑，设于所述透镜
8.根据权利要求1至4任一项所述的一种用于MEMS振镜扫描的光路模组，其特征在于，还包括：窗口玻璃，设于所述透镜二的出光端。
...【技术特征摘要】
1.一种用于mems振镜扫描的光路模组，其特征在于，包括激光器以及依次设置用于传播所述激光器发出的激光的透镜一、mems振镜和透镜二；
2.根据权利要求1所述的一种用于mems振镜扫描的光路模组，其特征在于，所述透镜一的第一个表面为球面或者非球面，用于光路准直。
3.根据权利要求1所述的一种用于mems振镜扫描的光路模组，其特征在于，所述透镜二的第一面为非球面柱面或自由曲面，用于在x方向将光线准直。
4.根据权利要求1所述的一种用于mems振镜扫描的光路模组，其特征在于，所述透镜二的第二面为平面。
5.根据权利要求1至4任一项所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王雪，周明珠，刘洪琼，陈巧，
申请(专利权)人：苏州知芯传感技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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