【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种振镜系统，有是一种基于mems振镜的光电反馈系统。
技术介绍
1、光电反馈的mems振镜角度检测系统是一种用于检测结构光投射模组中mems振镜的振动角度的技术。mems振镜是一种微型化的振动镜片，可通过电场或电流驱动来控制其振动角度。结构光投射模组通常使用mems振镜来调节光束的方向和角度，以实现光束的扫描或聚焦，还可以监控mems振镜是否正常工作。因此，准确测量mems振镜的振动角度对于保证光束的准确定位和投射稳定性至关重要。
2、目前的角度检测方法采用mems振镜背部光电传感器或正面窗口添加反射镜截取部分光幕作为正面光电传感器信号源。采用mems振镜背部光电传感器，需要在mems振镜背面添加一个辅助光源及其准直透镜，增加了整个结构光模组的尺寸，使之难以应用于微型应用场景中。为了缩小投射模组尺寸进而采用正面窗口添加反射镜截取部分光幕作为正面光电传感器信号源，窗口反射率较低，会导致光电传感器接受到的光信号对应的脉冲信号强度较低，信噪比不高，甚至不足以触发脉冲信号。现有方案由于采用窗口反射的激光光束作为光电传感器...
【技术保护点】
1.一种基于MEMS振镜的光电反馈系统，其特征在于，包括依次设置的激光发射模块、光束整形模块和MEMS振镜模块以及与所述MEMS振镜模块相对设置的光电传感模块；
2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS振镜的光电反馈系统，其特征在于，所述激光发射模块的中心与所述MEMS振镜模块的中心重合时，发散后的线激光投射在所述MEMS振镜模块的反射镜面以及所述反射镜面两侧的所述振镜动梳齿上；
3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS振镜的光电反馈系统，其特征在于，所述振镜动梳齿和所述振镜反射镜面均设有反射膜。
4.根据权利要求1所述的一种基于M...
【技术特征摘要】
1.一种基于mems振镜的光电反馈系统，其特征在于，包括依次设置的激光发射模块、光束整形模块和mems振镜模块以及与所述mems振镜模块相对设置的光电传感模块；
2.根据权利要求1所述的一种基于mems振镜的光电反馈系统，其特征在于，所述激光发射模块的中心与所述mems振镜模块的中心重合时，发散后的线激光投射在所述mems振镜模块的反射镜面以及所述反射镜面两侧的所述振镜动梳齿上；
3.根据权利要求1所述的一种基于mems振镜的光电反馈系统，其特征在于，所述振镜动梳齿和所述振镜反射镜面均设有反射膜。
4.根据权利要求1所述的一种基于mems振镜的光电反馈系统，其特征在于，所述振镜动梳齿的宽度为：
5.根据权利要求1所述的一种基于mems振镜的光电反馈系统，其特征在于，所述光电传感模块包括不少于三个的光电传感器。
6.根据权利要求5所述的一种基于...
【专利技术属性】
技术研发人员：周明珠，王雪，刘洪琼，陈巧，
申请(专利权)人：苏州知芯传感技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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