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本技术涉及一种振镜系统，有是一种基于MEMS振镜的光电反馈系统，包括依次设置的激光发射模块、光束整形模块和MEMS振镜模块以及与所述MEMS振镜模块相对设置的光电传感模块；所述光束整形模块用于对所述激光反射模块发射的线激光进行准直并沿所述M...
该专利属于苏州知芯传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州知芯传感技术有限公司授权不得商用。

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