本发明属于光学器件技术领域，具体涉及一种分束镜及其制备方法和应用。本发明提供的分束镜，包括由下到上依次层叠设置的打底层、若干分束膜单元和帽层；所述打底层和帽层均为锆层；每个分束膜单元包括层叠设置的钼层和钇层；所述若干分束膜单元为非周期性...

本发明属于偏振反射镜技术领域，提供了一种非铝基深紫外偏振反射镜及其制备方法。本发明的非铝基深紫外偏振反射镜可以在100nm～300nm范围内对入射深紫外线有着良好的偏振反射效率，特别是在240nm处，S光反射率为71％，P光反射率为15...

本实用新型公开了一种软X射线能谱仪，涉及X射线探测技术领域，包括壳体、探测部件以及至少两个分光部件，壳体具有探测腔，且壳体一端具有能够连通探测腔的开口，开口处用于通入至少两路软X射线，且开口能够连接用于对探测腔抽真空的真空设备；探测部件...

本发明公开了一种软X射线能谱仪，涉及X射线探测技术领域，包括壳体、探测部件以及至少两个分光部件，壳体具有探测腔，且壳体一端具有能够连通探测腔的开口，开口处用于通入至少两路软X射线，且开口能够连接用于对探测腔抽真空的真空设备；探测部件和各...

本发明涉及一种带通分光的X射线光学系统及膜层分布确定方法，该系统包括：多层膜子系统；多层膜子系统包括第一反射镜和第二反射镜；第一反射镜与第二反射镜均为非周期多层膜反射镜，且第一反射镜与第二反射镜的反射光谱互补；第一反射镜与第二反射镜采用...

本发明涉及一种多层膜偏振器及其制备方法。本发明提供的多层膜偏振器，通过在横向上不同位置镀制周期多层膜(即交替设置第一材料层和第二材料层，并使第一材料层与第二材料层的厚度和沿横向梯度递增)，以能够在针对不同的工作能点，在使用中只需要平移偏...

本发明公开了一种带通滤波的X射线光学系统及制备方法，该制备方法包括：根据设计目标能点确定滤片的材料和滤片的厚度；根据设计目标能点采用深度梯度法确定多层膜反射镜的膜层材料和各个膜层的初始膜层厚度；根据滤片的材料和滤片的厚度制备滤片；根据滤...

本发明提供了一种固体中子转换层及其制备方法和应用，属于碳化硼薄膜制造领域。本发明通过对基体经过离子轰击处理，然后加镀铝膜，很好的改善了应力特性，保证镀制的碳化硼薄膜具有足够高的强度不会破裂和脱落，同时铝膜为微米/纳米级铝膜，应力小，可以...

本发明涉及一种小型化的X射线二极管。该X射线二极管包括：光阴极、阳极网、储能电容、同轴输出结构和高压输入接口；所述光阴极固定设置在所述同轴输出结构的一端；所述光阴极与所述阳极网贴合设置；所述阳极网固定设置在所述储能电容的一端；所述储能电...

本发明涉及中子超反射镜技术领域，尤其涉及一种Ni/Ti非周期多层膜及其制备方法和应用、Ni/Ti非周期多层膜中子超反射镜。本发明提供了一种Ni/Ti非周期多层膜的制备方法，包括以下步骤：在N2、O2和Ar的混合气氛中，在基底表面溅射Ni...

本发明公开了一种宽带响应的软X射线偏振镜及其制备方法，涉及精密光学系统技术领域，所述软X射线偏振镜为非周期多层膜结构的偏振镜；所述软X射线偏振镜包括基底以及设置在所述基底上的膜层序列；所述膜层序列包括多个且非周期排列的膜层，分别为第一膜...

本发明提供了一种极紫外波段薄膜滤片及其制备方法和应用，属于环境功能材料和水污染控制技术领域。本发明在Al中掺Si，一定程度上可减小Al的应力，Si可以穿透Al的晶格，抑制Al的结晶，并且原子半径较小的Si占据Al膜中的空位而产生拉伸作用...

本发明提供了一种极紫外波段薄膜滤片及其制备方法和应用，属于环境功能材料和水污染控制技术领域。本发明在Mg中掺Si，一定程度上可减小Mg的应力，Si可以穿透Mg的晶格，抑制Mg的结晶，并且原子半径较小的Si占据Mg膜中的空位而产生拉伸作用...

本发明提供了一种用于X射线与软X射线能段的滤片及其制备方法，属于光学元件技术领域。本发明中含有Sc层的滤片透射率在K吸收边0.276nm(E＝4500eV)和L吸收边2.48nm(E＝500eV)前后有非常明显的对比。由于B的吸收边在1...

根据本实用新型的基于双光束频率调制的三维高分辨率成像装置，包括分束镜、频率调制器、第一反射镜、第二反射镜，二分之一波片，偏振分光棱镜、二向色镜，二维振镜、聚焦物镜、第一透镜单元、针孔组件、探测器。分束镜、第一反射镜沿第一光轴线依次设置，...

根据本实用新型的基于多面体棱镜及光束调频高分辨率高速成像装置，包括分束镜、频率调制器、第一反射镜、第二反射镜，第一透镜单元、第二透镜单元、二分之一波片，偏振分光棱镜、二向色镜，二维振镜、聚焦物镜、阵列探测器。分束镜、第一反射镜沿第一光轴...

根据本实用新型的基于多面体棱镜和频率调制的高速扫描成像装置，包括聚焦物镜、光束变换透镜单元、二维振镜、二向色镜、聚焦透镜单元、针孔组件、多面体棱镜、探测器、频率调制器。频率调制器、二向色镜、多面体棱镜以及二维振镜沿第一光轴线依次设置，二...

根据本发明的基于多面体棱镜及光束调频高分辨率高速成像方法与装置，装置包括分束镜、频率调制器、第一反射镜、第二反射镜，第一透镜单元、第二透镜单元、二分之一波片，偏振分光棱镜、二向色镜，二维振镜、聚焦物镜、阵列探测器。分束镜、第一反射镜沿第...

根据本发明的基于多面体棱镜和频率调制的高速扫描成像方法与装置，装置包括聚焦物镜、光束变换透镜单元、二维振镜、二向色镜、聚焦透镜单元、针孔组件、多面体棱镜、探测器、频率调制器。频率调制器、二向色镜、多面体棱镜以及二维振镜沿第一光轴线依次设...

根据本发明的基于双光束频率调制的三维高分辨率成像方法与装置，装置包括分束镜、频率调制器、第一反射镜、第二反射镜，二分之一波片，偏振分光棱镜、二向色镜，二维振镜、聚焦物镜、第一透镜单元、针孔组件、探测器。分束镜、第一反射镜沿第一光轴线依次...