一种软X射线能谱仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种软X射线能谱仪，涉及X射线探测技术领域，包括壳体、探测部件以及至少两个分光部件，壳体具有探测腔，且壳体一端具有能够连通探测腔的开口，开口处用于通入至少两路软X射线，且开口能够连接用于对探测腔抽真空的真空设备；探测部件和各分光部件设置于探测腔内，且探测部件沿软X射线传输方向位于分光部件的后方，各分光部件分别用于接收并分解一路的软X射线，以反射出特定波长的软X射线至探测部件，探测部件用于对接收的软X射线进行能谱探测，各分光部件反射出的软X射线具有不同波长。本实用新型专利技术提供的软X射线能谱仪，能够减少软X射线传输过程中的衰弱，且能够实现不同波长的软X射线的探测。实现不同波长的软X射线的探测。实现不同波长的软X射线的探测。

【技术实现步骤摘要】
一种软X射线能谱仪


[0001]本技术涉及X射线探测
，尤其是涉及一种软X射线能谱仪。

技术介绍

[0002]软X射线能谱探测是ICF实验中重要的一部分，通过对入射软X射线的能谱进行分析，得到产生软X射线的相关物质信息，包括X射线总通量，辐射温度，转换效率等等；通常软X射线探测仪包括入射光阑孔、分光系统及探测部件等构成，如专利CN109164120A公开的一种高时间分辨软X射线能谱仪，但是该能谱仪的软X射线在传输过程中，可能会受到空气介质的阻挡，导致软X射线产生衰弱，影响探测结果的准确性。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种软X射线能谱仪，以解决上述现有技术存在的问题，减少软X射线传输过程中的衰弱，且能够实现不同波长的软X射线的探测。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：
[0005]本技术提供一种软X射线能谱仪，包括壳体、探测部件以及至少两个分光部件，所述壳体具有探测腔，且所述壳体一端具有能够连通所述探测腔的开口，所述开口处用于通入至少两路软X射线，且所述开口能够连接用于对所述探测腔抽真空的真空设备；所述探测部件和各所述分光部件设置于所述探测腔内，且所述探测部件沿所述软X射线传输方向位于所述分光部件的后方，各所述分光部件分别用于接收并分解一路的所述软X射线，以反射出特定波长的所述软X射线至所述探测部件，所述探测部件用于对接收的所述软X射线进行能谱探测，各所述分光部件反射出的所述软X射线具有不同波长。
[0006]优选地，各所述分光部件通过转动部件转动连接于所述探测腔内壁，所述分光部件能够通过所述转动部件调节相对于所述探测腔内壁的角度以调节与所述软X射线的入射角度和反射角度，且所述转动部件与所述探测腔的相对位置能够固定。
[0007]优选地，还包括滤光组件，所述滤光组件设置于所述探测腔内，且所述滤光组件位于所述分光部件和所述探测部件之间，所述滤光组件用于对各所述分光部件和所述探测部件之间的所述软X射线进行杂散光过滤。
[0008]优选地，所述滤光组件包括遮光板，所述遮光板与所述探测腔内壁固定连接，且所述遮光板上具有多个尺寸不同的通光孔，不同的所述通光孔用于使不同的所述分光部件反射后的所述软X射线通过，且通过所述通光孔后的所述软X射线均能够照射至所述探测部件上。
[0009]优选地，各所述通光孔内均用于能够拆卸地连接有滤光片，各所述滤光片均用于过滤所述软X射线中的杂散光。
[0010]优选地，所述滤光组件还包括滤光镜，所述滤光镜位于所述遮光板和所述探测部件之间，所述滤光镜与所述探测腔内壁固定连接；所述滤光镜用于对所述遮光板和所述探测部件之间的所述软X射线进行杂散光过滤。
[0011]优选地，所述壳体沿所述软X射线传输方向包括依次连接且连通的锥形筒体和柱形筒体，所述锥形筒体的小径端为所述开口，各所述分光部件沿所述壳体的周向分布，且所述开口处设置有法兰，所述法兰用于连接所述真空设备。
[0012]优选地，各所述分光部件设置为晶体单色器或多层膜单色器；所述探测部件采用Si光电二极管，且所述探测部件设置于所述壳体背离所述开口的一端，所述探测部件通过固定且伸出于所述壳体端面的电缆接头与处理组件通信连接。
[0013]优选地，所述壳体上设置有能够连通所述探测腔的阀门。
[0014]优选地，所述壳体的轴向尺寸不超过400mm，直径尺寸不超过60mm，且所述壳体采用遮光材质。
[0015]本技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
[0016]本技术提供的软X射线能谱仪，通过真空设备对探测腔抽真空，减少射入探测腔内的软X射线在传输过程中的衰弱；当分光部件接收软X射线后对软X射线分解，以将特定波长的软X射线反射至探测部件对特定波长的软X射线进行能谱探测，由于设置有至少两个分光部件，且不同分光部件分解反射出的软X射线具有不同波长，因此能够同时进行至少两个波长的软X射线的能谱探测。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为实施例一提供的软X射线能谱仪的结构示意图；
[0019]图2为实施例一提供的软X射线能谱仪中软X射线的传输示意图。
[0020]图标：1
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软X射线能谱仪；10
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壳体；11
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探测腔；12
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开口；13
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锥形筒体；14
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柱形筒体；15
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法兰；20
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探测部件；21
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电缆接头；30
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分光部件；40
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转动部件；50
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滤光组件；51
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遮光板；511
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通光孔；52
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滤光镜；2
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软X射线。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]本技术的目的是提供一种软X射线能谱仪，以解决上述现有技术存在的问题，减少软X射线传输过程中的衰弱，且能够实现不同波长的软X射线的探测。
[0023]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0024]实施例一
[0025]本实施例提供一种软X射线能谱仪1，请参见图1和图2，包括壳体10、探测部件20以及至少两个分光部件30，壳体10具有探测腔11，且壳体10一端具有能够连通探测腔11的开
口12，开口12处用于通入至少两路软X射线2，且开口12能够连接用于对探测腔11抽真空的真空设备；探测部件20和各分光部件30设置于探测腔11内，且探测部件20沿软X射线2传输方向位于分光部件30的后方，各分光部件30分别用于接收并分解一路的软X射线2，以反射出特定波长的软X射线2至探测部件20，探测部件20用于对接收的软X射线2进行能谱探测，各分光部件30反射出的软X射线2具有不同波长。
[0026]通过真空设备对探测腔11抽真空，减少射入探测腔11内的软X射线2在传输过程中的衰弱；当分光部件30接收软X射线2后对软X射线2分解，以将特定波长的软X射线2反射至探测部件20对特定波长的软X射线2进行能谱探测，由于设置有至少两个分光部件30，且不同分光部件30分解反射出的软本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种软X射线能谱仪，其特征在于：包括壳体(10)、探测部件(20)以及至少两个分光部件(30)，所述壳体(10)具有探测腔(11)，且所述壳体(10)一端具有能够连通所述探测腔(11)的开口(12)，所述开口(12)处用于通入至少两路软X射线(2)，且所述开口(12)能够连接用于对所述探测腔(11)抽真空的真空设备；所述探测部件(20)和各所述分光部件(30)设置于所述探测腔(11)内，且所述探测部件(20)沿所述软X射线(2)传输方向位于所述分光部件(30)的后方，各所述分光部件(30)分别用于接收并分解一路的所述软X射线(2)，以反射出特定波长的所述软X射线(2)至所述探测部件(20)，所述探测部件(20)用于对接收的所述软X射线(2)进行能谱探测，各所述分光部件(30)反射出的所述软X射线(2)具有不同波长。2.根据权利要求1所述的软X射线能谱仪，其特征在于：各所述分光部件(30)通过转动部件(40)转动连接于所述探测腔(11)内壁，所述分光部件(30)能够通过所述转动部件(40)调节相对于所述探测腔(11)内壁的角度以调节与所述软X射线(2)的入射角度和反射角度，且所述转动部件(40)与所述探测腔(11)的相对位置能够固定。3.根据权利要求2所述的软X射线能谱仪，其特征在于：还包括滤光组件(50)，所述滤光组件(50)设置于所述探测腔(11)内，且所述滤光组件(50)位于所述分光部件(30)和所述探测部件(20)之间，所述滤光组件(50)用于对各所述分光部件(30)和所述探测部件(20)之间的所述软X射线(2)进行杂散光过滤。4.根据权利要求3所述的软X射线能谱仪，其特征在于：所述滤光组件(50)包括遮光板(51)，所述遮光板(51)与所述探测腔(11)内壁固定连接，且所述遮光板(51)上具有多个尺寸不同的通光孔(511)，不同...

【专利技术属性】
技术研发人员：张秀霞，何月静，白宏博，
申请(专利权)人：苏州闻道电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：