一种软X射线能谱仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种软X射线能谱仪，涉及X射线探测技术领域，包括壳体、探测部件以及至少两个分光部件，壳体具有探测腔，且壳体一端具有能够连通探测腔的开口，开口处用于通入至少两路软X射线，且开口能够连接用于对探测腔抽真空的真空设备；探测部件和各分光部件设置于探测腔内，且探测部件沿软X射线传输方向位于分光部件的后方，各分光部件分别用于接收并分解一路的软X射线，以反射出特定波长的软X射线至探测部件，探测部件用于对接收的软X射线进行能谱探测，各分光部件反射出的软X射线具有不同波长。本实用新型专利技术提供的软X射线能谱仪，能够减少软X射线传输过程中的衰弱，且能够实现不同波长的软X射线的探测。实现不同波长的软X射线的探测。实现不同波长的软X射线的探测。

【技术实现步骤摘要】
一种软X射线能谱仪


[0001]本技术涉及X射线探测
，尤其是涉及一种软X射线能谱仪。

技术介绍

[0002]软X射线能谱探测是ICF实验中重要的一部分，通过对入射软X射线的能谱进行分析，得到产生软X射线的相关物质信息，包括X射线总通量，辐射温度，转换效率等等；通常软X射线探测仪包括入射光阑孔、分光系统及探测部件等构成，如专利CN109164120A公开的一种高时间分辨软X射线能谱仪，但是该能谱仪的软X射线在传输过程中，可能会受到空气介质的阻挡，导致软X射线产生衰弱，影响探测结果的准确性。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种软X射线能谱仪，以解决上述现有技术存在的问题，减少软X射线传输过程中的衰弱，且能够实现不同波长的软X射线的探测。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：
[0005]本技术提供一种软X射线能谱仪，包括壳体、探测部件以及至少两个分光部件，所述壳体具有探测腔，且所述壳体一端具有能够连通所述探测腔的开口，所述开口处用于通入至少两路软X射线，且所述开口能够连接用于对所述探测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种软X射线能谱仪，其特征在于：包括壳体(10)、探测部件(20)以及至少两个分光部件(30)，所述壳体(10)具有探测腔(11)，且所述壳体(10)一端具有能够连通所述探测腔(11)的开口(12)，所述开口(12)处用于通入至少两路软X射线(2)，且所述开口(12)能够连接用于对所述探测腔(11)抽真空的真空设备；所述探测部件(20)和各所述分光部件(30)设置于所述探测腔(11)内，且所述探测部件(20)沿所述软X射线(2)传输方向位于所述分光部件(30)的后方，各所述分光部件(30)分别用于接收并分解一路的所述软X射线(2)，以反射出特定波长的所述软X射线(2)至所述探测部件(20)，所述探测部件(20)用于对接收的所述软X射线(2)进行能谱探测，各所述分光部件(30)反射出的所述软X射线(2)具有不同波长。2.根据权利要求1所述的软X射线能谱仪，其特征在于：各所述分光部件(30)通过转动部件(40)转动连接于所述探测腔(11)内壁，所述分光部件(30)能够通过所述转动部件(40)调节相对于所述探测腔(11)内壁的角度以调节与所述软X射线(2)的入射角度和反射角度，且所述转动部件(40)与所述探测腔(11)的相对位置能够固定。3.根据权利要求2所述的软X射线能谱仪，其特征在于：还包括滤光组件(50)，所述滤光组件(50)设置于所述探测腔(11)内，且所述滤光组件(50)位于所述分光部件(30)和所述探测部件(20)之间，所述滤光组件(50)用于对各所述分光部件(30)和所述探测部件(20)之间的所述软X射线(2)进行杂散光过滤。4.根据权利要求3所述的软X射线能谱仪，其特征在于：所述滤光组件(50)包括遮光板(51)，所述遮光板(51)与所述探测腔(11)内壁固定连接，且所述遮光板(51)上具有多个尺寸不同的通光孔(511)，不同...

【专利技术属性】
技术研发人员：张秀霞，何月静，白宏博，
申请(专利权)人：苏州闻道电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：