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本实用新型公开了一种软X射线能谱仪，涉及X射线探测技术领域，包括壳体、探测部件以及至少两个分光部件，壳体具有探测腔，且壳体一端具有能够连通探测腔的开口，开口处用于通入至少两路软X射线，且开口能够连接用于对探测腔抽真空的真空设备；探测部件和各...
该专利属于苏州闻道电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州闻道电子科技有限公司授权不得商用。

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