本发明属于光学器件技术领域，具体涉及一种分束镜及其制备方法和应用。本发明提供了一种分束镜，包括层叠设置的打底层和若干分束膜单元；所述打底层包括铝层或Si3N4层；每个分束膜单元包括层叠设置的钼层和硅层；所述若干分束膜单元为非周期性多层膜...

本发明属于极紫外光光学元件技术领域，具体涉及一种多层膜材料、极紫外光反射镜及其制备方法和应用。本发明提供了一种多层膜材料，包括层叠的周期单元，所述周期单元包括依次层叠的B4C层、Mo层、Y层和Si层；所述多层膜材料的两面层分别为B4C层...

本发明属于光学薄膜技术领域，具体涉及一种反射镜及其制备方法和应用。本发明提供了一种反射镜，包括基底和依次层叠设置在所述基底表面的若干反射膜单元和氧化铝层；每个反射膜单元包括由下到上依次层叠设置的含硅材料层、金属铝层和碳层；所述反射膜单元...

本实用新型提供一种基于重型运动机构的光电传感软限位检测装置，涉及磁控溅射镀膜机技术领域，包括机械限位装置、第一光电开关组、第二光电开关组和第三光电开关组；第一光电开关组、第二光电开关组和第三光电开关组靠近运动机构的运动轨道末端且沿着运动...

本实用新型提供一种镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置，涉及薄膜光学加工技术领域，包括：磁力导轨和磁力导滑块，磁力导轨和磁力导滑块组成一个磁悬浮导轨运动副，磁力导轨用于固定设置于镀膜腔体顶部，磁力导滑块用于固定设置于样品架车顶部，磁力导滑块...

本发明提供了一种对直线运动物体进行运动检测和控制的装置，涉及运动控制检测技术领域，包括：光电测距仪、控制器和设置于直线运动物体上的反射面，控制器与光电测距仪通信连接，光电测距仪将检测到的直线运动物体的位置信息传输至控制器中，控制器还用于...

本发明提供一种镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置，涉及薄膜光学加工技术领域，包括：磁力导轨和磁力导滑块，磁力导轨和磁力导滑块组成一个磁悬浮导轨运动副，磁力导轨用于固定设置于镀膜腔体顶部，磁力导滑块用于固定设置于样品架车顶部，磁力导滑块在磁...

本发明提供了一种用于70～100nm真空紫外波段的偏振多层膜及其制备方法，属于薄膜制备技术领域。本发明采用“亚四分之一波长”设计思想，与非周期多层膜技术相结合，实现70～100nm的真空紫外波段，能量连续可调的宽带的偏振多层膜。横向梯度...

本发明提供了一种用于50~70nm真空紫外波段的偏振多层膜及其制备方法，属于薄膜制备技术领域。本发明采用“亚四分之一波长”设计思想，与非周期多层膜技术相结合，实现50~70nm的真空紫外波段，能量连续可调的宽带的偏振多层膜。横向梯度多层...

本发明提供了一种用于70～100nm真空紫外波段的偏振多层膜及其制备方法，属于薄膜制备技术领域。本发明采用“亚四分之一波长”设计思想，与非周期多层膜技术相结合，实现70～100nm的真空紫外波段，能量连续可调的宽带的偏振多层膜。横向梯度...

本发明提供了一种用于50～70nm真空紫外波段的偏振多层膜及其制备方法，属于薄膜制备技术领域。本发明采用“亚四分之一波长”设计思想，与非周期多层膜技术相结合，实现50～70nm的真空紫外波段，能量连续可调的宽带的偏振多层膜。横向梯度多层...