一种镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置及镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置，涉及薄膜光学加工技术领域，包括：磁力导轨和磁力导滑块，磁力导轨和磁力导滑块组成一个磁悬浮导轨运动副，磁力导轨用于固定设置于镀膜腔体顶部，磁力导滑块用于固定设置于样品架车顶部，磁力导滑块在磁力的作用下能够沿着磁力导轨移动；本实用新型专利技术还提供了一种镀膜设备，包括镀膜腔体、样品架车、底导轨和如上所述的镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置，样品架车和底导轨均设置于镀膜腔体内，样品架车能够沿着底导轨移动，磁力导轨固定设置于镀膜腔体顶部，磁力导滑块固定设置于样品架车顶部；本实用新型专利技术提供的方案能够提高镀膜效果。镀膜效果。镀膜效果。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置及镀膜设备


[0001]本技术涉及薄膜光学加工
，特别是涉及一种镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置及镀膜设备。

技术介绍

[0002]传统的镀膜设备中，样品基板架的固定方式大多采用两种方式：第一是样品架车下方和平板垂直紧固，上方不固定。样品架车在移动过程中上方无任何阻力，其优点是样品架车在步进电机或伺服电机牵引移动过程中只受链条牵引之外再无其他阻力，在低速状态下运行平稳顺畅。缺点是当样品架车较大较高时，镀膜期间如果高速运动，由于样品架车本身重心远离基板，位置较高，势必会因为动态不稳定因素而产生晃动，从而使其表面安装的样品产生前后位移，最终在镀膜过程中的沉积厚度出现偏差。第二种方式是样品架车与底座基板垂直固定，上端通过滚轮将样品架车上部抵住，使样品架车在通过时由于滚轮的对顶而保持稳定。优点是不管高速低速，样品架车本身将会在外部的控制之下保持平衡和稳定，因此基板距离靶枪的距离也会随之保持相对恒定的数值，从而大大提高成膜质量，特别是厚度均匀性会显著提高。同样这种固定方式的缺点也是相对比较明显的，滑轮本身带有滚轴，长时间运行后滚动的滑顺性会显著下降，此时对样品架车的摩擦阻力将会大大提高，滚轮的存在虽然保证了和靶枪之间的距离差，但在运动轴的方向由于滚轮的摩擦阻力会出现前后交错进动的情况，从而影响镀膜的均匀性，因此，亟需一种新型的方案来解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置及镀膜设备，以解决上述现有技术存在的问题，提高镀膜效果。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：
[0005]本技术提供一种镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置，包括：磁力导轨和磁力导滑块，所述磁力导轨和所述磁力导滑块组成一个磁悬浮导轨运动副，所述磁力导轨用于固定设置于镀膜腔体顶部，所述磁力导滑块用于固定设置于所述样品架车顶部，所述磁力导滑块在磁力的作用下能够沿着所述磁力导轨移动。
[0006]优选的，还包括多个侧滚轮，所述样品架车或所述磁力导滑块的两侧分别设置有多个所述侧滚轮，且所述侧滚轮的轴线竖直设置；
[0007]正常工作状态下，多个所述侧滚轮与所述样品架车或所述磁力导滑块间隙配合。
[0008]优选的，各所述侧滚轮均配备有一个滚轮支架，所述滚轮支架固定设置于所述磁力导轨的侧面，所述侧滚轮固定设置于所述滚轮支架上，且多个所述侧滚轮均匀布设。
[0009]优选的，所述磁力导轨包括多个依次排列的第一磁铁，所述磁力导滑块包括多个依次排列的第二磁铁，任意相邻的两个所述第一磁铁朝向所述磁力导滑块的一侧的极性均相反，任意相邻的两个所述第二磁铁朝向所述磁力导轨的一侧的极性均相反。
[0010]优选的，所述第一磁铁和所述第二磁铁均由内置稀土强磁体或磁性金属的铝合金材质的磁体盒组成。
[0011]优选的，还包括磁力导轨支撑板和磁力导滑块支撑板，多个所述第一磁铁依次固定于所述磁力导轨支撑板的底部，多个所述第二磁铁依次固定于所述磁力导滑块支撑板的顶部，所述磁力导轨支撑板的顶部可拆卸设置于所述镀膜腔体顶部，所述磁力导滑块支撑板的底部可拆卸设置于所述样品架车顶部。
[0012]本技术还提供了一种镀膜设备，包括镀膜腔体、样品架车、底导轨和如上所述的镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置，所述样品架车和所述底导轨均设置于所述镀膜腔体内，所述样品架车能够沿着所述底导轨移动，所述磁力导轨固定设置于镀膜腔体顶部，所述磁力导滑块固定设置于所述样品架车顶部。
[0013]本技术相对于现有技术取得了以下技术效果：
[0014]本技术提供的镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置通过磁悬浮导轨运动副对样品架车提供导向，不依靠滚轮的无接触式导向方式避免了接触式所带来的摩擦阻力，简化了结构。在长时间的镀膜运行后不会因为内部框架表面附着以及滚轮污染而带来样品架车运行的不顺畅，可使样品架车移动更加稳定，进而提高镀膜的均匀性，提高镀膜效果。此外，非接触式的结构也便于在出现故障时进行维护和修理。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为实施例一提供的镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置的结构示意图；
[0017]图2为图1的正视图；
[0018]图3为图1的侧视图；
[0019]图4为磁悬浮导轨运动副的磁铁极性设置示意图；
[0020]图5为样品架车和磁力导滑块的结构示意图；
[0021]图6为图5的侧视图；
[0022]图中：1
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磁力导轨、2
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磁力导滑块、3
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侧滚轮、4
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滚轮支架、5
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磁力导轨支撑板、6
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磁力导滑块支撑板、7
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样品架车。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]本技术的目的是提供一种镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置及镀膜设备，以解决现有技术存在的问题，提高镀膜效果。
[0025]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具
体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0026]实施例一
[0027]本实施例提供一种镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置，如图1～4所示，包括：磁力导轨1和磁力导滑块2，磁力导轨1和磁力导滑块2组成一个磁悬浮导轨运动副，磁力导轨1用于固定设置于镀膜腔体顶部，磁力导滑块2用于固定设置于样品架车7顶部，磁力导滑块2在磁力的作用下能够沿着磁力导轨1移动。
[0028]本实施例提供的镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置通过磁悬浮导轨运动副对样品架车7提供导向，不依靠滚轮的无接触式导向方式避免了接触式所带来的摩擦阻力，简化了结构。在长时间的镀膜运行后不会因为内部框架表面附着以及滚轮污染而带来样品架车7运行的不顺畅，可使样品架车7移动更加稳定，进而提高镀膜的均匀性，提高镀膜效果。此外，非接触式的结构也便于在出现故障时进行维护和修理。
[0029]进一步的，本实施例提供的镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置还包括多个侧滚轮3，样品架车7或磁力导滑块2的两侧分别设置有多个侧滚轮3，且侧滚轮3的轴线竖直设置；正常工作状态下，多个侧滚轮3与样品架车7或磁力导滑块2间隙配合，侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置，其特征在于：包括：磁力导轨和磁力导滑块，所述磁力导轨和所述磁力导滑块组成一个磁悬浮导轨运动副，所述磁力导轨用于固定设置于镀膜腔体顶部，所述磁力导滑块用于固定设置于所述样品架车顶部，所述磁力导滑块在磁力的作用下能够沿着所述磁力导轨移动。2.根据权利要求1所述的镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置，其特征在于：还包括多个侧滚轮，所述样品架车或所述磁力导滑块的两侧分别设置有多个所述侧滚轮，且所述侧滚轮的轴线竖直设置；正常工作状态下，多个所述侧滚轮与所述样品架车或所述磁力导滑块间隙配合。3.根据权利要求2所述的镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置，其特征在于：各所述侧滚轮均配备有一个滚轮支架，所述滚轮支架固定设置于所述磁力导轨的侧面，所述侧滚轮固定设置于所述滚轮支架上，且多个所述侧滚轮均匀布设。4.根据权利要求1所述的镀膜设备用磁悬浮样品架车导向装置，其特征在于：所述磁力导轨包括多个依次排列的第一磁铁，所述磁力导滑块包括多个依次排列的第二磁铁，任意相邻的...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱京涛，朱杰，朱东风，张秀霞，马军，
申请(专利权)人：苏州江泓电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：