本实用新型公开了一种电荷调制器加速度计电容检测装置，所述装置包括：敏感结构电容模块、载波发生模块、基础电容补偿模块、输入共模补偿模块、开关电容积分器模块、一位的数模转换模块、加法器模块、后端数字处理与补偿模块、数字处理与补偿参数调整模块...

本实用新型公开了一种多量程的MEMS闭环加速度计，所述MEMS闭环加速度计包括：基片、敏感器件层，基片与敏感器件层之间有绝缘层；敏感器件层包括：固定框架、锚点、敏感质量块、多个折叠梁、多个固定检测梳齿、多个可动检测梳齿、多个固定平衡梳齿...

本实用新型公开了一种易于实现的微机械陀螺仪正交误差补偿结构，所述补偿结构包括：2个梳齿结构，梳齿结构包括：定齿、定齿、动齿、连接件，其中，定齿与动齿之间加载有直流电压VDC，实现了结构设计合理，简单的实现了补偿正交误差的技术效果。

本实用新型公开了一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路，所述接口电路包括：电荷转换器电路、PI控制器电路、差分驱动电路，MEMS加速度计的检测正极SP和检测负极SN分别输入相位相反的脉冲电压，MEMS加速度计的驱动正极和驱动负极分别接...

本发明公开了一种用于数字加速度计基础电容补偿电路，所述电路包括：加速度计敏感结构、开关电容积分器、基础电容补偿阵列、载波信号发生电路、输出共模检测、数模转换器D/A1和D/A2、加法器add1和add2；解决了现有的加速度计基础电容补偿...

本发明公开了一种电荷调制器加速度计电容检测系统，所述系统包括：敏感结构电容模块、载波发生模块、基础电容补偿模块、输入共模补偿模块、开关电容积分器模块、一位的数模转换模块、加法器模块、后端数字处理与补偿模块、数字处理与补偿参数调整模块、电...

本发明公开了一种加速度计电容检测电路，所述电路包括：调制器结构模块；电容补偿阵列模块；数模转换电路模块；输入共模补偿电路模块，其中，电容补偿阵列连接在调制器模块第一级开关电容积分器的前端，数模转换电路在一位数字输出的控制下连接到第一级开...

本实用新型公开了一种降低力矩的微机械陀螺仪正交误差补偿结构，补偿结构位于质量块(7)内部空腔中，所述补偿结构包括：动齿(2)、动齿(4)、动齿(5)、动齿(7)、定齿(3)、定齿(6)、连接件(10)；实现了结构设计合理，简单的实现了补...

本发明公开了一种微机械惯性传感器抗温漂结构，应用于微机械惯性传感器中，所述抗温漂结构包括：三个紧固直梁和一个环形弹性连接结构，其中，三个紧固直梁的一端分别与微机械惯性传感器中的锚点连接，三个紧固直梁的另一端均与环形弹性连接结构连接，微机...

本发明公开了一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，第一质量块和第二质量块均与第三质量块连接，第三质量块对第一质量块和第二质量块进行电气隔离，检测电容C1的动极板和检测电容C3的动极板与第一质量块连接，检测电容C2的动极板和检测电容...

本发明公开了一种多量程的MEMS闭环加速度计，所述MEMS闭环加速度计包括：基片、敏感器件层，基片与敏感器件层之间有绝缘层；敏感器件层包括：固定框架、锚点、敏感质量块、多个折叠梁、多个固定检测梳齿、多个可动检测梳齿、多个固定平衡梳齿、多...

本发明公开了一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路，所述接口电路包括：电荷转换器电路、PI控制器电路、差分驱动电路，MEMS加速度计的检测正极SP和检测负极SN分别输入相位相反的脉冲电压，MEMS加速度计的驱动正极和驱动负极分别接差分...