一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构制造技术

本发明专利技术公开了一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，第一质量块和第二质量块均与第三质量块连接，第三质量块对第一质量块和第二质量块进行电气隔离，检测电容C1的动极板和检测电容C3的动极板与第一质量块连接，检测电容C2的动极板和检测电容C4的动极板与第二质量块连接，检测电容C1的定极板和检测电容C2的定极板与外部引脚A通过引线连接，检测电容C3的定极板和检测电容C4的定极板与外部引脚B通过引线连接，本结构不需要外接匹配电容就可以实现微机械加速度计电容差分检测，无需外接匹配电容，匹配性更好，可以避免由于匹配电容大小的不匹配以及匹配电容的变化引起的微机械加速度计性能恶化的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构
本专利技术涉及微机械加速度计检测领域，具体地，涉及一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构。
技术介绍
电容式微机械加速度计基于检测加速度引起的电容变化工作。如图1所示，为了抑制共模干扰的影响，加速度计常设计成差分检测结构，Cs1,Cs2构成差分检测电容，理想情况下，当质量块发生位移时，Cs1,Cs2会发生大小相等，符号相反的变化。如图2所示，采用图示的接口电路可将电容变化转化为电压变化。为使电路能正常工作，常需要在Cs1,Cs2两端接入匹配电容Cb1,Cb2；理想情况下，Cb1,Cb2的大小需要等于Cs1,Cs2的初始值。已有的研究和测试结果表明Cb1,Cb2对微机械加速度计的性能有重要的影响。遗憾的是，一是实际中，很难保证Cb1,Cb2的大小刚好等于Cs1,Cs的初始值；二是Cb1,Cb2的大小会随着温度、应力等外界因素变化，从而引起加速度计的输出变化，恶化加速度计的性能。综上所述，本申请专利技术人在实现本申请专利技术技术方案的过程中，发现上述技术至少存在如下技术问题：在现有技术中，现有的电容式微机械加速度计电容检测存在需要外接匹配电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，其特征在于，所述结构包括：第一质量块(1)、第二质量块(2)、第三质量块(3)、检测电容C1、C2、C3、C4，第一质量块(1)和第二质量块(2)均与第三质量块(3)连接，第三质量块(3)对第一质量块(1)和第二质量块(2)进行电气隔离，第一质量块(1)接电压信号V1，第二质量块(2)接电压信号V2，V1＝‑V2，检测电容C1的动极板和检测电容C3的动极板与第一质量块(1)连接，检测电容C2的动极板和检测电容C4的动极板与第二质量块(2)连接，检测电容C1的定极板和检测电容C2的定极板与外部引脚A通过引线连接，检测电容C3的定极板和检测电容C4的定极...

【技术特征摘要】
1.一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，其特征在于，所述结构包括：第一质量块(1)、第二质量块(2)、第三质量块(3)、检测电容C1、C2、C3、C4，第一质量块(1)和第二质量块(2)均与第三质量块(3)连接，第三质量块(3)对第一质量块(1)和第二质量块(2)进行电气隔离，第一质量块(1)接电压信号V1，第二质量块(2)接电压信号V2，V1＝-V2，检测电容C1的动极板和检测电容C3的动极板与第一质量块(1)连接，检测电容C2的动极板和检测电容C4的动极板与第二质量块(2)连接，检测电容C1的定极板和检测电容C2的定极板与外部引脚A通过引线连接，检测电容C3的定极板和检测电容C4的定极板与外部引脚B通过引线连接。2.根据权利要求1所述的用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，其特征在于，第一质量块(1)和第二质量块(2)为导体，第三质量块(3)为绝缘体。3.根据权利要求1所述的用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，其特征在于，检测电容C1、C2、C3、C4的初始电容值相等。4.根据权利要求1所述的用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，其特征在于，检测电容C1包括动极板(4)和定极板(5)；检测电容C2包括动极板(6)和定极板(7)；检测电容C3包括动极板(8)和定极板(9)；检测电容C4包括动极板(10)和定极板(11)。5.根据权利要求4所述的用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，其特征在于，动极板(4)和动极板(8)与第一质量块(1)连接；动极板(6)和动极板(10)与第二质量块(2)连接；定极板(5)和定极板(7)与外部引脚A通过引线连接在一起；定极板(9)和定极板(11)与外部引脚B通过引线连接在一起。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志，周骏，王龙峰，山永启，雷龙海，
申请(专利权)人：四川知微传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51