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本发明公开了一种用于电容式微机械加速度计电容检测的结构，第一质量块和第二质量块均与第三质量块连接，第三质量块对第一质量块和第二质量块进行电气隔离，检测电容C1的动极板和检测电容C3的动极板与第一质量块连接，检测电容C2的动极板和检测电容C4...
该专利属于四川知微传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川知微传感技术有限公司授权不得商用。

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