本实用新型公开了一种红外测温装置，包括用于将红外线信号汇聚以延长测量距离的聚焦光路模块、用于将红外线信号转换成电信号的光电转换模块以及用于将电信号处理成温度数据的信号处理模块，所述聚焦光路模块下方安装光电转换模块，所述聚焦光路模块和光电...

本实用新型公开了一种MEMS压阻式压力传感器，包括具有栅齿结构和梁膜结构的硅应变膜、压敏电阻、重掺杂接触区、金属引线和玻璃底座，硅应变膜为硅衬底的正面经过刻蚀和背面经过背腔腐蚀工艺后形成的具有正面梁膜、背腔结构的硅膜，栅齿结构位于硅应变...

本实用新型提供了一种压力传感器，包括玻璃底座和位于玻璃底座上的硅应变膜片，玻璃底座的一面设有凹陷空腔，硅应变膜片包括位于正面的绝缘介质层和绝缘介质层覆盖的硅衬底；硅应变膜片的正面朝向空腔处设有十字梁结构的梁膜结构，梁膜结构的各个端部设有...

本实用新型提供了一种压力传感器，包括玻璃底座和位于所述玻璃底座上的硅应变膜片，该玻璃底座的一面设有凹陷空腔，该硅应变膜片包括位于正面的绝缘介质层和绝缘介质层覆盖的硅衬底；所述硅应变膜片的正面朝向所述空腔处设有鱼骨形的十字梁膜件，所述十字...

本实用新型公开了一种窄带滤光片，其膜系结构为满足λ/4周期对称的膜系(0.5HL0.5H)

本发明公开了一种线性渐变梁结构的MEMS压阻式压力传感器及其制备方法，其中，压力传感器包括具有线性渐变梁膜结构的硅应变膜、压敏电阻、重掺杂接触区域、金属引线和玻璃底座，硅应变膜为硅衬底的正面经过光刻刻蚀和背面经过背腔刻蚀工艺后形成的具有...

本发明公开了一种二氧化碳气体浓度调节装置及其控制方法，其中，调节装置包括内置于开设有透气口的盒体、CO2气体浓度检测模块、控制模块，CO2气体浓度检测模块与控制模块连接；当CO2气体通过所述透气口进入盒体内并接触所述CO2气体浓度检测模...

本实用新型公开了一种FOV测试装置，其包括半球形穹顶、支撑组件、光源组件、驱动组件、信号处理组件、用于固定待测传感的传感器插座以及控制器；支撑组件固定在半球形穹顶外周，光源组件分布在半球形穹顶外侧，驱动组件使设置在半球形穹顶内的传感器插...

本实用新型公开了一种光声学气体浓度检测装置，包括调制光源模块、光声腔模块、声音检测模块和信号处理模块。本实用新型的一种光声学气体浓度检测装置，通过调制光源模块周期性产生红外调制光，通过光声腔模块利用内部待测气体吸收红外调制光并转变成声音...

本发明公开了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法，其中，压力传感器包括具有线性渐变梁膜结构的硅应变膜、压敏电阻、重掺杂接触区域，金属引线，所述硅应变膜为硅衬底的正面经过腐蚀工艺并键合硅片层所形成的，所述压敏电阻位于梁膜结构的端部，所...

本实用新型公开了一种气体浓度检测装置，包括光源模块、气室模块、红外热电堆模块和信号处理模块，光源模块和红外热电堆模块均安装在信号处理模块上，气室模块安装在信号处理模块上方。本实用新型的一种气体浓度检测装置，通过光源模块产生红外光并发射至...

本发明提供了一种压力传感器，包括玻璃底座和位于所述玻璃底座上的硅应变膜片，该玻璃底座的一面设有凹陷空腔，该硅应变膜片包括位于正面的绝缘介质层和绝缘介质层覆盖的硅衬底；所述硅应变膜片的正面朝向所述空腔处设有鱼骨形的十字梁膜件，所述十字梁膜...

本实用新型公开了一种双带通滤光片，包括膜系结构为满足λ/4周期对称的膜系(0.5HL0.5H)

本发明公开了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法，其中，压力传感器包括具有栅齿结构和梁膜结构的硅应变膜、压敏电阻、重掺杂接触区、金属引线和玻璃底座，硅应变膜为硅衬底的正面经过刻蚀和背面经过背腔腐蚀工艺后形成的具有正面梁膜、背腔结构的...

本发明公开了一种气体检测用双带通窄带滤光片及制作方法。一种气体检测用双带通窄带滤光片，包括基板、主膜系结构以及截止膜系结构，所述的主膜系结构和截止膜系结构分别设置于所述基板的两侧。在同一片基板上同时实现中心波长3.95um

本发明提供了一种压力传感器及其制备方法，包括玻璃底座和位于玻璃底座上的硅应变膜片，玻璃底座的一面设有凹陷空腔，硅应变膜片包括位于正面的绝缘介质层和绝缘介质层覆盖的硅衬底；硅应变膜片的正面朝向空腔处设有十字梁结构的梁膜结构，梁膜结构的各个...

本实用新型公开了一种用于红外传感器的测试系统，其包括依次设置的输入组件、识别组件、进料组件、测试组件和输出组件，红外传感器经过所述输入组件后进入识别组件中，所述识别组件对红外传感器的引脚位置进行识别后将其送入进料组件，在所述进料组件中，...

本发明公开了一种窄带滤光片及其制备方法，其中，窄带滤光片，其膜系结构为满足λ/4周期对称的膜系(0.5HL0.5H)

本实用新型公开了一种数字式热电堆红外传感器，包括滤光模块、热电堆模块、数字模块和引脚柱，数字模块的输入端与热电堆模块连接，数字模块的输出端和引脚柱连接；被测物体发出红外辐射能量经过所述滤光模块后，由热电堆模块吸收并产生热电信号，热电信号...

本实用新型公开了一种集成模拟前端的热电堆红外传感器，包括滤光模块、热电堆模块、模拟前端模块和引脚柱，所述模拟前端模块的输入端与热电堆模块连接，输出端和引脚柱连接；本实用新型使用时，被测物体发出红外辐射能量经过所述滤光模块后，由所述热电堆...