本实用新型涉及一种红外滤光片镀膜的装置，包括依次连接的进样腔室(100)、镀膜单元以及能够进出所述镀膜单元的进样台(400)，为装置提供电子的外接电源。本实用新型提供的工艺方法简单，能够同时实现红外滤光片的双面镀膜，操作时间较现有技术缩...

本发明涉及一种红外滤光片镀膜的装置，包括依次连接的进样腔室(100)、镀膜单元以及能够进出所述镀膜单元的进样台(400)，为装置提供电子的外接电源。本发明提供的工艺方法简单，能够同时实现红外滤光片的双面镀膜，操作时间较现有技术缩短了至少...