本发明公开了一种集成超材料的红外传感器阵列芯片及应用其的混合气体传感器，包括衬底、信号电路、红外传感组件和超材料，所述信号电路通过CMOS工艺制作于所述衬底上，所述红外传感器组件设置于衬底上，所述超材料集成于红外传感组件上。本发明将滤光...

本发明公开了一种微型光声光谱气体传感器包括MEMS麦克风、MEMS红外光源、基板和光声池，所述MEMS麦克风、MEMS红外光源和基板依次叠放设置，所述MEMS麦克风和MEMS红外光源内设置有光声池，用于接收气体，通过MEMS红外光源发出...

本实用新型公开了一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释电传感器，包括钽酸锂晶圆、底部电极、硅衬底、顶部电极和吸收层。本实用新型对钽酸锂晶圆顶部金属电极进行图案化处理，对于单个芯片而言，顶部电极通过硬掩膜设计一分为二，和底部金属电极共同构成了...

本实用新型公开了一种硅基MEMS红外光源，包括衬底、阻挡支撑层、阻挡层、加热电极支撑层、加热电极层、绝缘保护层、电极层和辐射层，所述阻挡支撑层设置于衬底上，所述阻挡支撑层的表面设置有阻挡层，所述阻挡层悬浮上方设置有依次连接的加热电极支撑...

本发明公开了一种红外发射单元、红外光源及应用其的混合气体传感器，包括红外光源、PCB基板、声学传感器、壳体、过滤膜和引脚，所述红外光源和声学传感器固定在PCB基板上，并进行电气连接，所述过滤膜安装在壳体的透气孔上，气体分子通过扩散的方式...

本发明公开了一种硅基MEMS红外光源及其制备方法，包括衬底、阻挡支撑层、阻挡层、加热电极支撑层、加热电极层、绝缘保护层、电极层和辐射层，所述阻挡支撑层设置于衬底上，所述阻挡支撑层的表面设置有阻挡层，所述阻挡层悬浮上方设置有依次连接的加热...

本实用新型公开了一种线性可变滤光片及应用其的连续光谱气体传感器，包括衬底、锥形腔体、水平布拉格反射层和倾斜布拉格反射层，所述水平布拉格反射层和倾斜布拉格反射层设置于锥形腔体的上下两侧，所述衬底的一侧与倾斜布拉格反射层连接。本实用新型通过...

本实用新型公开了一种红外吸收层及应用其的红外热电堆探测器，包括钨层、第一氮化硅层、第一二氧化硅层和第二氮化硅层，所述钨层、第一氮化硅层、第一二氧化硅层和第二氮化硅层依次设置。本实用新型使用钨、氮化硅、二氧化硅材料构红外吸收层，引入CMO...

本实用新型公开了一种天然气报警装置，安装于厨房内，包括内置于开设有透气口的盒体、甲烷气体浓度检测模块、控制模块、气体浓度报警模块和显示模块，所述甲烷气体浓度检测模块用于检测空气中的甲烷浓度，其将检测到的信号传输至控制模块；所述控制模块用...

本实用新型公开了一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器，包括钽酸锂晶圆、底部电极、硅衬底、顶部电极和吸收层。本实用新型对钽酸锂晶圆顶部金属电极进行图案化处理，对于单个芯片而言，通过硬掩膜设计将顶部电极一分为二，和底部金属电极共同构成了...

本实用新型公开了一种压阻式压力传感器，包括硅应变膜片、压敏电阻条、重掺杂接触区、电极孔、金属引线和玻璃底座，所述硅应变膜片为硅晶圆经过正面刻蚀和背面刻蚀后减薄在正面和背面形成蜂巢结构的硅片，所述压敏电阻条包括四组，分别位于硅应变膜片顶层...

本发明公开了一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释电传感器、制备方法，包括钽酸锂晶圆、底部电极、硅衬底、顶部电极和吸收层。本发明对钽酸锂晶圆顶部金属电极进行图案化处理，对于单个芯片而言，顶部电极通过硬掩膜设计一分为二，和底部金属电极共同构成...

本发明公开了一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器、制作方法，包括钽酸锂晶圆、底部电极、硅衬底、顶部电极和吸收层。本发明对钽酸锂晶圆顶部金属电极进行图案化处理，对于单个芯片而言，通过硬掩膜设计将顶部电极一分为二，和底部金属电极共同构成...

本发明公开了一种红外吸收层及应用其的红外热电堆探测器、制作方法，包括钨层、第一氮化硅层、第一二氧化硅层和第二氮化硅层，所述钨层、第一氮化硅层、第一二氧化硅层和第二氮化硅层依次设置。本发明使用钨、氮化硅、二氧化硅材料构红外吸收层，引入CM...

本发明公开了一种线性可变滤光片及应用其的连续光谱气体传感器，包括衬底、锥形腔体、水平布拉格反射层和倾斜布拉格反射层，所述水平布拉格反射层和倾斜布拉格反射层设置于锥形腔体的上下两侧，所述衬底的一侧与倾斜布拉格反射层连接。本发明通过使用单一...

本发明公开了一种压阻式压力传感器及其制备方法，包括硅应变膜片、压敏电阻条、重掺杂接触区、电极孔、金属引线和玻璃底座，所述硅应变膜片为硅晶圆经过正面刻蚀和背面刻蚀后减薄在正面和背面形成蜂巢结构的硅片，所述压敏电阻条包括四组，分别位于硅应变...

本实用新型公开了一种二氧化碳气体浓度调节装置，包括内置于开设有透气口的盒体、CO2气体浓度检测模块、控制模块，所述CO2气体浓度检测模块与控制模块连接；当CO2气体通过透气口进入盒体内并接触所述CO2气体浓度检测模块后，所述CO2气体浓...

本发明公开了一种天然气报警装置及其控制方法，安装于厨房内，包括内置于开设有透气口的盒体、甲烷气体浓度检测模块、控制模块、气体浓度报警模块和显示模块，所述甲烷气体浓度检测模块用于检测空气中的甲烷浓度，其将检测到的信号传输至控制模块；所述控...

本发明公开了一种多功能空气质量检测装置及其检测方法，包括内置于开设有进气口的盒体、颗粒物浓度检测模块、二氧化碳气体浓度检测模块、温湿度传感器、控制模块和显示器。本发明装置功能丰富，可将测量的二氧化碳气体浓度、颗粒物浓度和环境温湿度实时显...

本发明公开了一种颗粒物传感器及其控制方法，包括内置于开设有进气口的盒体、颗粒物浓度检测模块和控制模块。本发明采用激光散射原理，利用基于米氏理论的算法，得出颗粒物的等效粒径及单位体积内不同粒径的颗粒物数量；并在装置内置屏幕上显示当前测量的...