【技术实现步骤摘要】
一种微型光声光谱气体传感器
[0001]本专利技术属于气体传感器
，具体涉及一种微型光声光谱气体传感器。
技术介绍
[0002]光声光谱是基于光声效应的光谱技术，当分子吸收波段的光源照射到气体样品上时，气体分子会吸收光能量，并跃迁至激发态，处于激发态的分子会通过碰撞弛豫返回基态，同时吸收的能量转换为分子内能，导致分子局部温度升高，当周期性的光源照射到气体样品上时，分子局部温度就可产生周期性变化，从而产生周期性的压力变化，使用麦克风等声音传感器比较声波信号和周期性光源从而得到气体分子的种类和浓度。
[0003]现有技术缺点：
[0004]现有光声光谱传感器需要将红外光源与麦克风固定在PCB基板上，并将外壳焊接或粘合到PCB基板上，起形成光声池，不可避免地使光声光谱气体传感器的体积增大。
技术实现思路
[0005]有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种微型光声光谱气体传感器、红外光源及应用其的混合气体传感器。
[0006]为了达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微型光声光谱气体传感器，其特征在于，包括MEMS麦克风、MEMS红外光源、基板和光声池，所述MEMS麦克风、MEMS红外光源和基板依次叠放设置，所述MEMS麦克风和MEMS红外光源内设置有光声池，用于接收气体，通过MEMS红外光源发出特定波长的间接性红外辐射，MEMS麦克风接收气体吸收红外线产生的声波信号检测气体。2.根据权利要求1所述的一种微型光声光谱气体传感器，其特征在于，所述MEMS麦克风和MEMS红外光源通过晶圆级键合，所述MEMS红外光源和基板通过晶圆级键合或固晶。3.根据权利要求1或2所述的一种微型光声光谱气体传感器，其特征在于，所述光声池包括第一空腔和第二空腔，所述MEMS麦克风上设置有第一空腔，所述MEMS红外光源上设置有第二空腔，所述第一空腔和第二空腔组成光声池。4.根据权利要求3所述的一种微型光声光谱气体传感器，其特征在于，所述第一空腔和第二空腔的任一边相通。5.根据权利要求4所述的一种微型光声光谱气体传感器，其特征在于，所述第一空腔远离第二空腔的一侧设置有声学换能薄膜，所述声学换能薄膜与MEMS麦克风为一体化设置，所述声学换能薄膜的至少一个边设置有第一间隙，所述第一间隙用于气体分子扩散进光声池内。6.根据权利要求5所述的一种微型光...
【专利技术属性】
技术研发人员：宏宇，武斌，
申请(专利权)人：深圳市美思先端电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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