一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器，包括钽酸锂晶圆、底部电极、硅衬底、顶部电极和吸收层。本实用新型专利技术对钽酸锂晶圆顶部金属电极进行图案化处理，对于单个芯片而言，通过硬掩膜设计将顶部电极一分为二，和底部金属电极共同构成了两个热释电探测器敏感元，顶部电极通过图案化处理，预留引线键合区域，降低工艺制程风险，通过磁控溅射进行钽酸锂敏感元的沉积代替研磨抛光法，简化了制备工艺，降低了制程难度，兼容半导体工艺，并且可以通过沉积得到厚度更薄的敏感元，探测器的响应性能更优异，在底部电极和衬底之间增加热绝缘膜层，可以降低钽酸锂敏感元的热损耗，提高器件对红外辐射的吸收和响应。提高器件对红外辐射的吸收和响应。提高器件对红外辐射的吸收和响应。

【技术实现步骤摘要】
一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器


[0001]本技术属于探测器
，具体涉及一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器。

技术介绍

[0002]某些材料为了保持其表面电中性状态，会在材料表面吸附一定量电荷，当受到热辐射而导致其温度变化时，这些材料的电偶极矩也会随之发生相应的变化，为了保持其电中性状态，材料的表面会释放出电荷，这种现象被称为热释电效应。利用热释电效应制备的热释电红外探测器，广泛地用于火灾预警及报警、气体检测及分析、入侵报警、污染监测及探测、温差探测、微波探测、激光检测、光谱分析等。红外热释电敏感元组成包括：红外吸收材料，用于提高对红外辐射的吸收；具有热释电效应的单晶体、聚合物或陶瓷；上下电极，用于形成热释电电流；衬底，用于支撑热释电敏感元。
[0003]现有技术一般采用机械研磨抛光工艺来制备敏感元，减薄厚度有限且工艺难度大；减薄后的敏感元通过环氧树脂粘接到支撑的陶瓷基板上，操作复杂；敏感元多采用悬空结构，减少热损耗；此外，外围电路和电极部分采用引线键合方式进行电气连接，需要在红外吸收层上开孔，降低红外辐射的吸收。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种钽酸锂敏感元，其特征在于，包括硅衬底、多孔二氧化硅绝热层、底部电极、钽酸锂薄膜、顶部电极和吸收层，所述硅衬底的上方设置有多孔二氧化硅绝热层，所述多孔二氧化硅绝热层的上方设置有底部电极，所述底部电极的上方设置有钽酸锂薄膜，所述钽酸锂薄膜设置有顶部电极，所述顶部电极的上方设置有吸收层。2.根据权利要求1所述的一种钽酸锂敏感元，其特征在于，所述顶部电极包括左电极和右电极，所述左电极和右电极分别设置于钽酸锂薄膜的左右两端，所述吸收层设置于左电极或右电极上。3.根据权利要求2所述的一种钽酸锂敏感元，其特征在于，所述底部电极、所述左电极、所述右电极的材质为铂、金、铝、钛、铬或镍中的一种。4.根据权利要求3所述的一种钽酸锂敏感元，其特征在于，所述硅衬底和多孔二氧化硅绝热层的中心位置设置有空腔，所述空腔为梯形结构，用于降低热损耗。...

【专利技术属性】
技术研发人员：武斌，马龙全，申涛，
申请(专利权)人：深圳市美思先端电子有限公司，
类型：新型
国别省市：