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本实用新型公开了一种钽酸锂敏感元及应用其的红外热释探测器,包括钽酸锂晶圆、底部电极、硅衬底、顶部电极和吸收层。本实用新型对钽酸锂晶圆顶部金属电极进行图案化处理,对于单个芯片而言,通过硬掩膜设计将顶部电极一分为二,和底部金属电极共同构成了两个...该专利属于深圳市美思先端电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市美思先端电子有限公司授权不得商用。
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