深圳市大族半导体装备科技有限公司专利技术

深圳市大族半导体装备科技有限公司共有157项专利

  • 本技术公开了一种载台机构,包括底板、加工载台、气体匀化块和盖板,气体匀化块设置于加工载台的侧方,气体匀化块上设有相互连通的进气孔和第一出气孔,进气孔用于通入保护气体,第一出气孔的出气方向朝向加工载台,盖板罩设于加工载台和气体匀化块外,且...
  • 本技术提供了一种载台及激光巨量焊接设备,包括:发热板;承载板,设置于所述发热板上,所述承载板上设置有吸附孔,所述吸附孔用于吸附工件;以及隔板,设置于所述发热板与所述承载板之间。可看出,本申请的载台在对工件进行加热时,能够避免的工件升温过快。
  • 本申请提供了一种承载治具及激光加工设备,承载治具包括承载件,承载件具有第一表面,承载件的第一表面设有第一吸附件和第二吸附件,定义第一吸附件和第二吸附件的吸附方向为第一方向;沿第一方向,第一吸附件的吸附端距离第一表面的距离大于第二吸附件的...
  • 本技术公开了一种支撑组件及夹持定位机构,支撑组件包括底座、第一支撑单元和第二支撑单元,定义第一方向和第二方向,第一方向和第二方向相互垂直,且平行于底座的表面;第一支撑单元和第二支撑单元沿第一方向间隔设置于底座上,且形成的间距沿第二方向逐...
  • 本申请公开了一种动子安装座、动子组件及直线电机,动子安装座设有冷却通道,冷却通道用于通过冷却介质,设冷却介质通过冷却通道的方向为第一方向,设垂直于第一方向的面为第一平面,冷却通道包括第一通道和第二通道,第二通道与第一通道连通,第二通道与...
  • 本申请公开了一种转移装置及激光加工设备,包括翻转模组和取料模组。翻转模组包括托架和第一驱动组件,托架用于承托料箱,料箱设有插槽,插槽设有开口,插槽用于插设产品;第一驱动组件用于驱使托架转动,以使托架承托的料箱转动至第一位置或第二位置;当...
  • 本申请公开了一种拆卸装置及显示面板检测设备,拆卸装置用于拆卸显示面板连接的柔性电路板,拆卸装置包括工作台、压紧模组和拆卸模组。工作台用于承载显示面板;压紧模组包括第一驱动组件和压紧件,第一驱动组件用于驱使压紧件靠近工作台,以使压紧件和工...
  • 本申请公开一种清洗装置及加工设备,清洗装置包括两容器、供液管路、第一阀组、补液管路和第二阀组;两容器并联设置用于存储清洗液,供液管路分别与两容器连通,补液管路也与两容器连通设置;第一阀组用于控制其中一容器与供液管路连通,以及控制另一容器...
  • 本申请适用于激光加工技术领域,提供一种激光加工装置及激光解键合设备,该激光加工装置包括底座、移动组件、载台、测距组件和激光发射单元;移动组件、测距组件和激光发射单元均设置于底座;载台设置于移动组件的输出端,激光发射单元用于发射激光束;其...
  • 本技术公开一种晶圆清洗机的灭火系统和晶圆清洗机,其中,晶圆清洗机的灭火系统包括:清洗壳体,清洗壳体设有容置腔、上料开口以及排风口,上料开口与容置腔连通,排风口将容置腔与外界连通;检测装置,检测装置用于检测容置腔内的火情;灭火装置,灭火装...
  • 本申请提供了一种上料机构及加工设备,上料机构包括安装架、夹持件以及吸附件,安装架可移动设置;夹持件和/或吸附件可活动设置于安装架,夹持件可夹持工件,吸附件可吸附工件,吸附件与夹持件相对可避让,以使夹持件可单独夹持工件或吸附件可单独吸附工...
  • 本申请提供了一种光学系统,包括:入射组件,包括第一半波片和第一偏振分光棱镜,第一半波片用于调节激光束的偏振角度,第一偏振分光棱镜用于将激光束进行分光,生成第一偏振光束和第二偏振光束;第一整形组件,包括光强调节器和扩束器,光强调节器用于调...
  • 本申请公开一种载台装置及加工设备,载台装置包括承载座、密封组件、吸附组件和驱动机构,承载座具备承载面,密封组件包括设于承载面上的第一密封圈和第二密封圈,承载面位于第一密封圈与第二密封圈之间的区域构成第一吸附区,位于第二密封圈内部的区域构...
  • 本申请公开了一种转移装置及激光加工设备,包括机架、定位模组、第一转移模组和第二转移模组。机架设有中转位、加工位和下料位;定位模组安装于机架,定位模组包括载台和定位组件,载台用于承载产品,定位组件用于将载台承载的产品移动至中转位;第一转移...
  • 本申请公开了一种激光修复光路装置及激光修复设备,包括衰减模组、调节模组和振镜,衰减模组用于透过激光束,衰减模组还用于降低激光束的能量;调节模组用于接收从衰减模组出射的激光束,调节模组还用于调节激光束的光斑尺寸和光斑形状;振镜用于接收从调...
  • 本申请提供了一种收料装置及加工设备,收料装置包括载座、至少两驱动组件以及至少两存储件,各驱动组件设置于载座,定义收料装置的收料方向为第一方向,各驱动组件分别沿第一方向可驱动设置;每一驱动组件与一存储件沿第一方向驱动连接,不同存储件沿第一...
  • 本申请适用于半导体制造技术领域,提供一种晶片制造生产线,该晶片制造生产线包括研磨装置、激光改质装置、剥离装置和自行动装置,研磨装置用于研磨晶锭;激光改质装置用于将激光束的焦点聚焦晶锭的预设深度,以在晶锭的预设深度形成改质层;剥离装置用于...
  • 本技术公开了一种定位机构及激光加工设备,定义第一方向与加工平面形成夹角,第二方向平行于加工平面,定位机构包括导向块、定位组件、顶杆和驱动组件,定位组件沿第一方向滑动设于导向块上,顶杆设置于驱动组件的驱动端。定位机构工作时,可通过驱动组件...
  • 本申请提供了一种测试载台及点灯装置,测试载台,包括承载台,放置待测试工件;背光源,设置于所述承载台的下方;卷绕机构,设置于所述承载台的至少一侧,所述卷绕机构上卷绕有遮光布;驱动机构与所述遮光布的自由端连接,带动所述遮光布伸出至所述承载台...
  • 本申请适用于微发光二极管巨量转移技术领域,提供一种基板上下料装置及微发光二极管巨量转移设备,所述基板上下料装置包括:基板吸附载具;旋转驱动组件,连接于所述基板吸附载具,以驱动所述基板吸附载具旋转;升降组件,连接于所述旋转驱动组件。本申请...
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