一种气相沉积设备反应气体集中控制系统的辅助装置，包括母头连接件、波纹管、气路集合管、氦气检漏接口及公头丝堵。多个波纹管通过气路集合管并联，气路集合管的末端连接氦气检漏接口。波纹管的上端连接母头连接件，公头丝堵与母头连接件通过螺纹连接。本...

一种气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，包括环形的陶瓷环，在陶瓷环上均布抽气小孔，抽气小孔的内壁为圆角。本实用新型可针对不同沉积反应的真空要求可匹配不同的小孔数量及小孔孔径的陶瓷环，且保证抽气泵抽气时，腔室内部向外部抽气的气流均匀稳定。另外腔室...

一种涡旋形表面结构的可控温加热盘，主要解决现有的加热盘及静电卡盘所存在的无法快速、均匀、准确控制晶圆温度的问题。该加热盘采用在加热盘表面设计一种涡旋形的沟槽结构形式，中间作为气体导入的入口，有一个圆形空间用来释放气体进入时压力及将其通过...

一种通过调整宝石球高度获得不同性能氮化硅薄膜的方法，该方法能够在半导体等离子体处理装置中实现不改变工艺参数而实现不同薄膜性能。该方法是采用宝石球作为衬底与加热盘间的支撑及通过选择宝石球的高度来实现间距的调整，并将其设置于半导体镀膜设备的...

腔体支撑专用工具，包括上支撑、下支撑、移动件、螺栓及垫片。移动件处于上支撑和下支撑之间，螺栓通过垫片与移动件连接。本实用新型结构紧凑合理，由于采用上下支撑的方式，能够使腔体与下方框架起到支撑的目的，满足设备运输时腔稳定的新型结构。通过旋...

一种气相沉积膜设备用射频导入系统，包括能量输出装置，金属导通杆，极板和腔室。能量输出装置通过金属导通杆与极板连接，极板设置在腔室的上端。本实用新型可以根据能量输入系统的安装布局使用不同形状的金属导通杆，确保整个系统能量的正常导入。金属导...

显示器移动支架，包括主体支架，显示器连接件，键盘连接件和脚轮。显示器连接件和键盘连接件滑动连接在主体支架的上端，脚轮固定在主体支架的底部。本实用新型结构紧凑合理，由于采用支架下方安装四个脚轮可以方便移动，同时可以方便的定位显示器和键盘的...

简易型手动式气动元件控制装置，主要解决现有的半导体薄膜沉积设备控制气动元件需要进行检测时，由于气动元件在长距离、多路数控制时，所造成的管路过多、混乱、安全性差等问题。该控制装置采用在一个气体分配阀岛或气体分配阀体上安装多组阀的结构形式。...

一种新型加热盘与腔体定位工装，包括上支撑，下支撑，定位销轴，上滑块和下滑块。三角形的上支撑通过定位销轴与下支撑连接。上滑块固定在上支撑上，下滑块固定在下支撑上。上支撑的末端设有与腔体内表面接触的上接触块。下支撑的末端设有与加热盘外表面接...

一种晶圆升降机构，包括连接件(1)、顶针(2)、支板(3)、加热盘(4)和气缸(5)。支板(3)固定在气缸(5)活塞上。连接件(1)处于支板(3)的上端。顶针(2)固定在支板(3)上。顶针(2)的上端穿过加热盘(4)。本发明结构紧凑合理...

一种新型抽气管路连接件，包括双孔法兰盘，锥形法兰管，底部法兰盘和法兰接头。双孔法兰盘固定在锥形法兰管粗的一端，底部法兰盘固定在锥形法兰管细的一端。法兰接头固定在锥形法兰管的外面。本实用新型有两个入口端，一个出口端，采用流线型过渡，减少了...

一种可加热衬底的承载装置，包括L型支架，螺栓，顶丝和锁紧螺栓。螺栓和顶丝设置在L型支架上端。锁紧螺栓固定在L型支架上。本发明结构紧凑合理，加热盘及PIN机构通过螺栓安装在L型支架上，L型支架安装腔体下方。在进行设备调试时可以先松开锁紧螺...

半导体镀膜设备控温系统，包括加热盘，加热盘为一体式结构，加热盘内部并不是普通的加热丝结构，而是设置有媒介管道实现对加热盘温度的控制。上述的加热结构采用将媒介管道以铸造的方式布置在加热盘内部或采用机械加工的方式加工出相应的沟槽，再将媒介管...

加热盘安装或取出工装，主要解决现有技术中加热盘没有专用工装进行安装和取出的技术问题。它包括把手与立柱。所述的立柱上制有扳手口；所述的立柱通过下端所制的螺纹与把手上的凸台内螺纹连接；所述的立柱下部制有扳手口，通过工具拧动扳手口将立柱与凸台...

三点联动定位工装，包括移动支架，连接件，连杆，销轴和锁紧螺栓。移动支架通过锁紧螺栓和连接件固定在连杆的末端的滑槽内。销轴处于连杆的中心。本发明结构紧凑合理，由于采用三个移动支架可以同时径向移动机构，通过销轴上下位移使工装定位在被测工件上...

一种用于陶瓷环的弧形取出工装，主要解决现有陶瓷环没有专用工装进行安装和取出的技术问题。该工装包括定位柱、弧形工装支架、握把及弹簧。上述弧形工装支架上制有定位柱孔，定位柱孔为通孔；上述弧形工装支架的中间镂空，镂空的下部制有曲面结构，曲面结...

一种半导体沉积设备腔体对接方法，主要解决现有半导体薄膜沉积设备中存在的对接难度大，精度调整不方便，影响设备产能及产品良率的问题。该方法是通过将对接装置放置在设备主体框架上，并通过固定结构将其固定在主体框架上作为整个对接装置及对接过程中的...

一种可观察半导体薄膜设备传片腔室结构，包括升降机构连接板、传片腔室盖板及密封圈。所述传片腔室盖板上设有多个圆形透明单元；所述圆形透明单元通过密封圈及螺钉A与传片腔室盖板密封连接，整个结构呈一体；所述升降机构连接板通过螺钉B与传片腔室盖板...

一款加热盘检验及拆装时存放专用车，包括车体、水晶软垫和万向轮，万向轮固定在车体的下面，车体是由横梁、端横梁和立柱组成的四方体，在上端和中间的横梁上设有支臂，水晶软垫放置在支臂上，水晶软垫上设有开口，开口的宽度小于两个支臂的间距。在加热盘...

一种温流室出气的可控温加热盘，包括设有中心进气管路及气体出口的加热盘。所述加热盘的内部分布有加热丝及在中心所设置的导热介质储存及稳流空间的稳流室。上述稳流室可采用铸造、焊接或预埋管路的结构方式。上述气体出口沿加热盘的圆周均匀分布。可通过...