本发明涉及一种机械分子泵，包括底座、外壳、转轴、分子泵定子、分子泵转子和轴承，底座和外壳固定连接，转轴通过轴承与底座转动连接，分子泵定子位于外壳内部并与外壳固定连接，分子泵转子与转轴固定连接，还包括半导体制冷片，半导体制冷片的冷端通过第...

本发明涉及真空泵技术领域，具体涉及一种真空稳定性优异的低温真空泵，包括外壳体、冷屏、冷伞以及制冷装置；本发明中的改进型低温泵，尤其适用于半导体行业中芯片镀膜等加工过程中，提供纯净的真空环境且真空度可达到10<supgt;‑<...

本发明涉及真空泵技术领域，具体涉及一种方便控制的低温泵，包括外壳体、冷屏、冷伞以及制冷装置；本发明中的改进型低温泵，尤其适用于半导体行业中芯片镀膜等加工过程中，提供纯净的真空环境且真空度可达到10<supgt;‑9</sup...

本技术涉及真空泵技术领域，具体涉及一种低温真空泵的冷伞结构，包括第一冷伞组件和第二冷伞组件。本申请通过设置有多个第一冷伞片，配合其上设置的吸附剂，在制冷组装置提供的低温环境下，可以快速对气体中分子进行吸附并提供凝固的位置，实现环境内较高...

本技术涉及真空泵技术领域，具体涉及一种低温泵用冷头，包括一级冷头、二级冷头以及驱动装置。通过采用两级冷头配合制冷气体，实现超低温状态，从而保证稳定的真空状态，减少温度或真空度的波动，确保加工精度。通过在第一活塞或第二活塞或两个活塞上均设...

本技术涉及真空泵技术领域，具体涉及一种低温泵，包括外壳体、冷屏、冷伞、制冷装置以及检测装置；尤其适用于半导体行业中芯片镀膜等加工过程中，提供纯净的真空环境保证加工精度。通过制冷装置进行制冷，主要对冷屏以及冷伞结构进行制冷，低温下冷伞上设...

本技术公开了一种应用于半导体低温泵温度探头固定装置，包括装置本体，所述装置本体包括温度探头固定块和安装垫片，所述安装垫片安装在温度探头固定块后端；所述温度探头固定块呈矩形状结构，所述温度探头固定块顶部和底部均开设有小固定口和大固定口，所...

本技术公开了一种应用于半导体低温泵马达与活塞的连接调节装置，包括装置本体，所述装置本体包括安装块和活塞腔体，所述安装块中部为贯通式结构，所述活塞腔体安装在安装块内；所述安装块前后两侧呈平整状结构，所述安装块左右两端呈弧度状结构，所述安装...

本发明涉及真空泵技术领域，具体涉及一种改进型低温泵，包括外壳体、冷屏、冷伞以及制冷装置；本发明中的改进型低温泵，尤其适用于半导体行业中芯片镀膜等加工过程中，提供纯净的真空环境且真空度可达到10<supgt;‑9</supgt...

本技术公开了一种应用于半导体低温泵冷凝装置，包括装置本体，所述装置本体包括冷凝盖板、流通块组和流通口组，所述流通块组设有三个，三个所述流通块组和流通口组呈环状等距方式安装在冷凝盖板底部；所述流通块组包括小流通块、中流通块和大流通块，所述...

本技术公开了一种应用于半导体低温泵冷伞的固定装置，包括装置本体，所述装置本体包括连接套筒、固定柱杆和冷凝固定器，所述冷凝固定器固定在连接套筒顶部，所述固定柱杆固定在连接套筒底部；所述冷凝固定器呈圆柱状结构，所述冷凝固定器顶部左右两侧分别...

本技术公开了一种应用于半导体低温泵进排气口与马达的连接装置，包括装置本体，所述装置本体包括输送腔架和进气口调节连接装置，所述进气口调节连接装置安装在输送腔架内部；所述进气口调节连接装置包括驱动杆和活塞，所述驱动杆一端安装在输送腔架内部左...

本技术公开了一种应用于半导体低温泵氦气端固定装置，包括装置本体，所述装置本体包括腔体和固定块，所述固定块呈内部内贯通式结构，所述腔体安装在固定块内；所述固定块呈D字状结构，所述固定块右侧开设有第一卡口，所述固定块顶部上侧开设有第二卡口，...

本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵隔热装置，包括装置本体，装置本体包括隔热罩、进口管和隔热、隔冷垫层，进口管安装在隔热罩前端底部，隔热罩底部呈弧度状结构，隔热罩内部和顶部均为中空式结构，隔热、隔冷垫层安装在隔热罩内侧；隔热、隔冷垫层...

本实用新型公开一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置，包括隔温套、气缸、润滑油箱和固定柱，本实用新型通过设置有隔温套，隔温套底部设置有安装盘，安装盘顶部开设有一圈螺丝孔，通过螺丝将隔温套安装后，低温泵气缸位于隔温套内部，隔温套外壁设置有...

本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵腔体总成装置，属于半导体低温泵腔体技术领域,包括隔热筒和腔体板，所述隔热筒的一侧上固定有连接管，所述连接管的一端外边上固定有连接环一，所述腔体板的外边上固定有连接环二，所述腔体板的一侧上固定有联通管...

本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵吸附装置，包括装置本体，所述装置本体包括第一安装盖和第二安装盖，所述第一安装盖和第二安装盖呈拼接式对称方式安装，所述第一安装盖和第二安装盖均呈半圆状结构；所述第一安装盖和第二安装盖均包括外圈块和安装...

本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵气缸中部固定装置，包括装置本体，所述装置本体包括底座和稳定块，所述稳定块通过焊接方式安装在底座顶部；所述稳定块呈矩形状结构，所述稳定块为钢铁材质，所述稳定块顶部设有驱动孔，所述驱动孔上下两端均贯通式...

本实用新型公开了一种应用于半导体低温泵电机真空防护装置，包括装置本体，装置本体包括安装块、保护壳体和小固定盘，安装块安装在保护壳体前端，小固定盘安装在安装块前端；安装块、保护壳体和小固定盘内部均为中空式结构，小固定盘前端中部开设有驱动轴...

本实用新型公开的属于低温泵技术领域，具体为一种应用于半导体低温泵电机调节装置，包括安装板，所述安装板顶部右前端水平设置有第一安装座，两个所述第一安装座设置有第一圆形通孔，所述安装板顶部设置有第一安装槽口，所述安装板顶部后左端水平设置有第...