【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体低温泵，具体为一种应用于半导体低温泵冷凝装置。
技术介绍
1、在半导体元器件的制造工艺中，许多需要高真空、高清洁度或低温的环境，在这些方面半导体低温泵具有非常明显的优势。半导体低温泵在设备的真空腔体内部没有运动部件，无需润滑和密封，不会给真空腔体带入任何外来物质，因此可以获得高清洁度的真空环境。
2、现有的半导体低温泵有如下缺陷：
3、现有半导体低温泵设备中，低温泵运转过程中出现超低温，使气体中的分子冷凝，且气体流通时会出现反流现象,这就需要给低温泵一个合理的冷凝装置。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本技术提供了一种应用于半导体低温泵冷凝装置，解决了现有有半导体低温泵设备中，低温泵运转过程中出现超低温，使气体中的分子冷凝，且气体流通时会出现反流现象,这就需要给低温泵一个合理的冷凝装置的技术问题。
3、(二)技术方案
4、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种应用于半导...
【技术保护点】
1.一种应用于半导体低温泵冷凝装置，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括冷凝盖板(2)、流通块组(3)和流通口组(4)，所述流通块组(3)设有三个，三个所述流通块组(3)和流通口组(4)呈环状等距方式安装在冷凝盖板(2)底部；
2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵冷凝装置，其特征在于：所述冷凝盖板(2)顶部和底部均设有一组呈对称方式分布的坐标标识(11)和宣传标识(12)。
3.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵冷凝装置，其特征在于：所述冷凝盖板(2)底部设有两组呈环状等距方式分布的定位块(13)，所述定位块...
【技术特征摘要】
1.一种应用于半导体低温泵冷凝装置，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括冷凝盖板(2)、流通块组(3)和流通口组(4)，所述流通块组(3)设有三个，三个所述流通块组(3)和流通口组(4)呈环状等距方式安装在冷凝盖板(2)底部；
2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵冷凝装置，其特征在于：所述冷凝盖板(2)顶部和底部均设有一组呈对称方式分布的坐标标识(11)和宣...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，
申请(专利权)人：上海优尊真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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