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本技术公开了一种应用于半导体低温泵冷凝装置，包括装置本体，所述装置本体包括冷凝盖板、流通块组和流通口组，所述流通块组设有三个，三个所述流通块组和流通口组呈环状等距方式安装在冷凝盖板底部；所述流通块组包括小流通块、中流通块和大流通块，所述小流...
该专利属于上海优尊真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海优尊真空设备有限公司授权不得商用。

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