【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空泵，具体涉及一种改进型低温泵。
技术介绍
1、低温泵尤其其较高的真空度、较高的清洁度以及气体容量大、抽气速率快等优势，逐渐广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等行业领域。尤其是真空镀膜，需要在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜，因此对稳定的真空度环境需求较高。目前低温泵在使用过程中，容易发生温度或真空度的波动，影响镀膜的加工精度，同时在制冷气体中容易存在有杂质，影响真空度；需要对低温泵内部经常清理，操作步骤比较繁琐，拆装不方便，影响工作效率。现在的低温泵技术很多还依赖进口，因此研究一种装配简单、方便操作和维护的低温泵结构具有重要的意义。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种改进型低温泵，以解决上述
技术介绍
中存在的现有技术问题。
2、为解决上述的技术问题，本专利技术提供的技术方案为：提供了一种改进型低温泵，包括外壳体、冷屏、冷伞以及制冷装置；所述外壳体设置为一端开口的中空结构，所述冷屏固定设置在外壳体的内部且结构相适配，所述冷伞设置在冷屏内，所述冷伞的表面涂覆有吸附剂，所述制冷装置与冷伞连接，为冷屏内提供制冷作用。
3、在上述技术方案基础上，所述制冷装置包括一级冷头、二级冷头以及驱动机构，所述一级冷头用于冷却冷屏，所述二级冷头用于冷却冷伞，所述一级冷头内设置有一段活塞，所述二级冷头内设置有二段活塞，
4、在上述技术方案基础上，所述一段活塞内部设置有多层铜网，所述铜网内填充有铅粒，所述一段活塞和/或二段活塞的两端设置有进气孔和出气孔。
5、在上述技术方案基础上，所述驱动机构包括驱动马达、偏心轴、偏心轮以及驱动框架，所述偏心轴由驱动马达驱动转动，所述偏心轮固定套设在偏心轴上，所述偏心轮设置在驱动框架中，所述驱动框架与一段活塞连接。
6、在上述技术方案基础上，所述冷伞包括第一冷伞结构和第二冷伞结构，所述第二冷伞结构设置在第一冷伞结构的顶端；所述第一冷伞结构包括多个第一冷伞片且从上至下依次固定设置，所述第二冷伞结构包括多个第二冷伞片，所述第二冷伞片的直径由内向外依次增大。
7、在上述技术方案基础上，所述第一冷伞片包括一个设置为平面的端面以及一个圆环形的侧面且固定连接，所述端面和侧面之间倾斜设置；所述第二冷伞片由两个镜像设置的圆环片固定拼接而成。
8、在上述技术方案基础上，所述第一冷伞片均固定设置在冷伞支架上，位于顶端的一个第一冷伞片的端面上开设有多个第一通孔，所述冷伞支架上开设有多个第二通孔。
9、在上述技术方案基础上，所述吸附剂为改性活性炭或生物质炭。
10、在上述技术方案基础上，所述驱动机构上设置有减震器或隔振器。
11、在上述技术方案基础上，还包括加热装置，所述加热装置设置在气缸壳体内且端部固定设置在二级冷头的首端，所述气缸壳体固定设置在外壳体的一侧且贯通连接，所述一级冷头和二级冷头设置在气缸壳体内。
12、在上述技术方案基础上，所述外壳体上设置有吹气阀，所述吹气阀的输出端设置在冷屏内。
13、在上述技术方案基础上，还包括检测装置设置在外壳体上，所述检测器装置包括温度检测器和真空度检测器。
14、本专利技术提供的技术方案产生的有益效果在于：
15、1、本专利技术中提供了一种改进型低温泵，尤其适用于半导体行业中芯片镀膜等加工过程中，提供纯净的真空环境且真空度可达到10-9pa，不引入其他的杂质，保证加工精度。通过制冷装置进行制冷，主要对冷屏以及冷伞结构进行降温，形成低温环境尤其是冷伞结构可达到超低温即10k的温度，在低温环境下，冷伞上设置的吸附剂可以将环境中气体分子进行吸附并凝固在其上，实现真空环境。所述冷屏采用铜材质制成且内侧壁上镀覆有镍涂层，即在冷屏内壁上设置有黑色涂层，反射辐射的热能，防止热量反射至冷伞上，减少热辐射对真空环境可能造成的波动。
16、2、本申请制冷装置中冷头的活塞中填充有铅粒，具有蓄冷吸热的作用，实现通过的氦气的换热，减少温度和真空度的漂移和波动，保证加工环境的稳定性；尤其内部填充的铅粒还具有过滤的作用，在氦气的流动过程中，可以实现氦气中杂质的清除，改善氦气的做功效率。
17、3、本申请的冷伞结构中通过设置有多个第一冷伞片，配合其上设置的吸附剂，在低温下可以快速对气体中分子进行吸附并提供凝固的位置，实现环境内较高的真空度；所述第二冷伞片也可以吸附相应的气体分子，还可以有效减少气体直流直接冲击第一冷伞结构，同时第二冷伞片倾斜设置且由对称的两片拼接而成，可以对环境的中热辐射进行反射，避免温度对真空度的不利影响，从而进一步保证整体的真空度需求。
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1.一种改进型低温泵，其特征在于，包括外壳体(1)、冷屏(2)、冷伞(3)以及制冷装置；所述外壳体(1)设置为一端开口的中空结构，所述冷屏(2)固定设置在外壳体(1)的内部且结构相适配，所述冷伞(3)设置在冷屏(2)内，所述冷伞(3)的表面涂覆有吸附剂，所述制冷装置与冷伞(3)连接，为冷屏(2)内提供制冷作用。
2.根据权利要求1所述的一种改进型低温泵，其特征在于，所述制冷装置包括一级冷头(4)、二级冷头(5)以及驱动机构(6)，所述一级冷头(4)用于冷却冷屏(2)，所述二级冷头(5)用于冷却冷伞(3)，所述一级冷头(4)内设置有一段活塞(41)，所述二级冷头(5)内设置有二段活塞(51)，所述二段活塞(51)固定设置在一段活塞(41)的顶端，所述一段活塞(41)的末端连接有驱动机构，所述一级冷头(4)和二级冷头(5)内流动有制冷气体。
3.根据权利要求2所述的一种改进型低温泵，其特征在于，所述一段活塞(41)内部设置有多层铜网(42)，所述铜网(42)内填充有铅粒，所述一段活塞(41)和/或二段活塞(51)的两端设置有进气孔和出气孔。
4.根
5.根据权利要求1所述的一种改进型低温泵，其特征在于，所述冷伞(3)包括第一冷伞结构和第二冷伞结构，所述第二冷伞结构设置在第一冷伞结构的顶端；所述第一冷伞结构包括多个第一冷伞片(31)且从上至下依次固定设置，所述第二冷伞结构包括多个第二冷伞片(32)，所述第二冷伞片(32)的直径由内向外依次增大。
6.根据权利要求5所述的一种改进型低温泵，其特征在于，所述第一冷伞片(31)包括一个设置为平面的端面(311)以及一个圆环形的侧面(312)且固定连接，所述端面(311)和侧面(312)之间倾斜设置；所述第二冷伞片(32)由两个镜像设置的圆环片(321)固定拼接而成。
7.根据权利要求5所述的一种改进型低温泵，其特征在于，所述第一冷伞片(31)均固定设置在冷伞支架(33)上，位于顶端的一个第一冷伞片(31)的端面上开设有多个通孔，所述冷伞支架(33)上开设有多个通孔。
8.根据权利要求1所述的一种改进型低温泵，其特征在于，所述吸附剂为改性活性炭或生物质炭。
9.根据权利要求2所述的一种改进型低温泵，其特征在于，所述驱动机构(6)上设置有减震器或隔振器。
10.根据权利要求2所述的一种改进型低温泵，其特征在于，还包括加热装置(8)，所述加热装置(8)设置在气缸壳体(11)内且端部固定设置在二级冷头(5)的首端，所述气缸壳体(11)固定设置在外壳体(1)的一侧且贯通连接，所述一级冷头(4)和二级冷头(5)设置在气缸壳体(11)内。
11.根据权利要求1所述的一种改进型低温泵，其特征在于，所述外壳体(1)上设置有吹气阀(9)，所述吹气阀(9)的输出端设置在冷屏(2)内。
...【技术特征摘要】
1.一种改进型低温泵，其特征在于，包括外壳体(1)、冷屏(2)、冷伞(3)以及制冷装置；所述外壳体(1)设置为一端开口的中空结构，所述冷屏(2)固定设置在外壳体(1)的内部且结构相适配，所述冷伞(3)设置在冷屏(2)内，所述冷伞(3)的表面涂覆有吸附剂，所述制冷装置与冷伞(3)连接，为冷屏(2)内提供制冷作用。
2.根据权利要求1所述的一种改进型低温泵，其特征在于，所述制冷装置包括一级冷头(4)、二级冷头(5)以及驱动机构(6)，所述一级冷头(4)用于冷却冷屏(2)，所述二级冷头(5)用于冷却冷伞(3)，所述一级冷头(4)内设置有一段活塞(41)，所述二级冷头(5)内设置有二段活塞(51)，所述二段活塞(51)固定设置在一段活塞(41)的顶端，所述一段活塞(41)的末端连接有驱动机构，所述一级冷头(4)和二级冷头(5)内流动有制冷气体。
3.根据权利要求2所述的一种改进型低温泵，其特征在于，所述一段活塞(41)内部设置有多层铜网(42)，所述铜网(42)内填充有铅粒，所述一段活塞(41)和/或二段活塞(51)的两端设置有进气孔和出气孔。
4.根据权利要求2所述的一种改进型低温泵，其特征在于，所述驱动机构(6)包括驱动马达(61)、偏心轴(62)、偏心轮(63)以及驱动框架(64)，所述偏心轴(62)由驱动马达(61)驱动转动，所述偏心轮(63)固定套设在偏心轴(62)上，所述偏心轮(63)设置在驱动框架(64)中，所述驱动框架(64)与一段活塞(41)连接。
5.根据权利要求1所述的一种改进型低温泵，其特征在于，所述冷伞...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，王占杰，
申请(专利权)人：上海优尊真空设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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