【技术实现步骤摘要】
本技术涉及低温泵，具体为一种应用于半导体低温泵冷伞的固定装置。
技术介绍
1、在半导体元器件的制造工艺中，许多需要高真空、高清洁度或低温的环境，在这些方面半导体低温泵具有非常明显的优势。半导体低温泵在设备的真空腔体内部没有运动部件，无需润滑和密封，不会给真空腔体带入任何外来物质，因此可以获得高清洁度的真空环境。
2、现有的低温泵设备有如下缺陷：
3、现有半导体低温泵设备中，用于冷凝板的需要稳定固定在冷头上，而现有设备却没有将冷凝板固定在冷头上的，进一步导致安装不便捷，影响工作人员使用。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本技术提供了一种应用于半导体低温泵冷伞的固定装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种应用于半导体低温泵冷伞的固定装置，包括装置本体，所述装置本体包括连接套筒、固定柱杆和冷凝固定器，所述冷凝固定器固定在连接套筒顶部，所述固定柱杆固定在连接套筒底部；
5、优选的，所述冷凝固定器呈圆柱状结构，所述冷凝固定器顶部左右两侧分别开设有第一卡口和第二卡口，所述第一卡口和第二卡口呈内凹状结构，所述冷凝固定器顶部中心处开设有安装口，所述安装口呈贯通式结构。
6、优选的，所述连接套筒呈圆柱状结构，所述连接套筒内部设有穿入连接通道，所述穿入连接通道两端为贯通式结构，所述穿入连接通道内部设有若干组内螺纹
7、优选的，所述固定柱杆呈圆柱状结构，所述固定柱杆表面设有若干组外螺纹。
8、(三)有益效果
9、本技术提供了一种应用于半导体低温泵冷伞的固定装置。具备以下
10、有益效果：
11、该种应用于半导体低温泵冷伞的固定装置可以有效地对低温泵内的冷凝板进行固定，且该种装置结构简单，制造成本低，且操作方式便捷，只需要通过卡接方式就可以对冷凝板进行固定，通过这样的方式，就可以提高工作人员的工作效率，减轻了工作人员的作业负担。
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1.一种应用于半导体低温泵冷伞的固定装置，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括连接套筒(2)、固定柱杆(3)和冷凝固定器(4)，所述冷凝固定器(4)固定在连接套筒(2)顶部，所述固定柱杆(3)固定在连接套筒(2)底部；
2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵冷伞的固定装置，其特征在于：所述连接套筒(2)呈圆柱状结构，所述连接套筒(2)内部设有穿入连接通道(9)，所述穿入连接通道(9)两端为贯通式结构，所述穿入连接通道(9)内部设有若干组内螺纹(10)。
3.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵冷伞的固定装置，其特征在于：所述固定柱杆(3)呈圆柱状结构，所述固定柱杆(3)表面设有若干组外螺纹(8)。
【技术特征摘要】
1.一种应用于半导体低温泵冷伞的固定装置，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括连接套筒(2)、固定柱杆(3)和冷凝固定器(4)，所述冷凝固定器(4)固定在连接套筒(2)顶部，所述固定柱杆(3)固定在连接套筒(2)底部；
2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵冷伞的固定装置，其特征在于：所述连...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，
申请(专利权)人：上海优尊真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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