一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置，包括隔温套、气缸、润滑油箱和固定柱，本实用新型专利技术通过设置有隔温套，隔温套底部设置有安装盘，安装盘顶部开设有一圈螺丝孔，通过螺丝将隔温套安装后，低温泵气缸位于隔温套内部，隔温套外壁设置有回流盒，回流盒内部与隔温套内部连通，当气缸工作时，隔温套对气缸与外界温度进行隔离，同时气缸产生的温度在回流盒内部进行回流，保证了使用时产生低温导致温度不稳定。低温导致温度不稳定。低温导致温度不稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置


[0001]本技术涉及低温泵
，具体为一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置。

技术介绍

[0002]低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。在半导体低温泵设备中，低温泵气缸在使用中会有低温，导致温度不稳定，这就需要增加气缸温度隔离装置。

技术实现思路

[0003]本部分的目的在于概述本技术的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和技术名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本技术的范围。
[0004]鉴于上述和/或现有一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置中存在的问题，提出了本技术。
[0005]因此，本技术的目的是提供一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置，通过设置有隔温套，隔温套底部设置有安装盘，安装盘顶部开设有一圈螺丝孔，通过螺丝将隔温套安装后，低温泵气缸位于隔温套内部，隔温套外壁设置有回流盒，回流盒内部与隔温套内部连通，当气缸工作时，隔温套对气缸与外界温度进行隔离，同时气缸产生的温度在回流盒内部进行回流，保证了使用时产生低温导致温度不稳定。
[0006]为解决上述技术问题，根据本技术的一个方面，本技术提供了如下技术方案：
[0007]一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置，其包括：
[0008]隔温套，所述隔温套侧壁安装有回流盒，所述回流盒内部与所述隔温套内部连通，所述隔温套底部安装有固定盘，所述固定盘顶部开设有螺丝孔；
[0009]气缸，所述气缸位于所述隔温套内部，所述气缸顶部安装有气缸杆。
[0010]作为本技术所述的一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置的一种优选方案，其中，所述气缸杆杆身安装有固定板，所述固定板外圈伸出设置有延伸板。
[0011]作为本技术所述的一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置的一种优选方案，其中，还包括润滑油箱，所述润滑油箱侧壁安装有第一软管，所述第一软管杆身安装有第一单向阀，所述润滑油箱侧壁安装有观测窗。
[0012]作为本技术所述的一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置的一种优选方案，其中，还包括固定柱，所述固定柱位于所述固定盘顶部，所述固定柱顶部开设有气压
腔，所述气压腔内部安装有活塞板，所述活塞板顶部安装有移动杆，所述移动杆伸出所述固定柱顶部并与所述延伸板底部连接，所述第一软管另一端伸入所述气压腔内部。
[0013]作为本技术所述的一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置的一种优选方案，其中，所述固定柱外壁安装有第二软管，所述第二软管杆身安装有第二单向阀。
[0014]作为本技术所述的一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置的一种优选方案，其中，所述隔温套顶部安装有第二固定板，所述第二软管另一端贯穿伸出所述第二固定板顶部并安装有喷头。
[0015]与现有技术相比：通过设置有隔温套，隔温套底部设置有安装盘，安装盘顶部开设有一圈螺丝孔，通过螺丝将隔温套安装后，低温泵气缸位于隔温套内部，隔温套外壁设置有回流盒，回流盒内部与隔温套内部连通，当气缸工作时，隔温套对气缸与外界温度进行隔离，同时气缸产生的温度在回流盒内部进行回流，保证了使用时产生低温导致温度不稳定。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将将结合附图和详细实施方式对本技术进行详细说明，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：
[0017]图1为本技术一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置整体结构图；
[0018]图2为本技术一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置部分结构图；
[0019]图3为本技术一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置部分结构图。
具体实施方式
[0020]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。
[0021]其次，本技术结合示意图进行详细描述，在详述本技术实施方式时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本技术保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
[0022]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术的实施方式作进一步地详细描述。
[0023]本技术提供一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置，通过设置有隔温套，隔温套底部设置有安装盘，安装盘顶部开设有一圈螺丝孔，通过螺丝将隔温套安装后，低温泵气缸位于隔温套内部，隔温套外壁设置有回流盒，回流盒内部与隔温套内部连通，当气缸工作时，隔温套对气缸与外界温度进行隔离，同时气缸产生的温度在回流盒内部进行回流，保证了使用时产生低温导致温度不稳定。
[0024]图1
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3示出的是本技术一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置实施方式的一种结构示意图，请参阅图1
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图3，本实施方式的一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置包括隔温套100、气缸200、润滑油箱300和固定柱400。
[0025]隔温套100侧壁安装有回流盒110，回流盒110内部与隔温套100内部连通，隔温套
100底部安装有固定盘120，固定盘120顶部开设有螺丝孔130，通过螺丝贯穿螺丝孔130将固定盘120与气温泵内部连接，隔温套100和回流盒110均为隔温材料，增加对气缸200的温度隔离效果。
[0026]气缸200位于隔温套100内部，气缸200顶部安装有气缸杆210，气缸杆210杆身安装有固定板220，固定板220外圈伸出设置有延伸板230，延伸板230在气缸杆210杆身靠近气缸杆210顶端位置。
[0027]润滑油箱300侧壁安装有第一软管310，第一软管310杆身安装有第一单向阀320，润滑油箱300侧壁安装有观测窗330，观测窗330表面设置有刻度线，方便对润滑油箱300内部润滑油余量进行观测。
[0028]固定柱400位于固定盘120顶部，固定柱400顶部开设有气压腔410，气压腔410内部安装有活塞板420，活塞板420顶部安装有移动杆430，移动杆430伸出固定柱400顶部并与延伸板230底部连接，第一软管310另一端伸入气压腔410内部，固定柱400外壁安装有第二软管440，第二软管440杆身安装有第二单向阀460，隔温套100顶部安装有第二固定板140，第二软管440另一端贯穿伸出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置，其特征在于，包括：隔温套(100)，所述隔温套(100)侧壁安装有回流盒(110)，所述回流盒(110)内部与所述隔温套(100)内部连通，所述隔温套(100)底部安装有固定盘(120)，所述固定盘(120)顶部开设有螺丝孔(130)；气缸(200)，所述气缸(200)位于所述隔温套(100)内部，所述气缸(200)顶部安装有气缸杆(210)。2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置，其特征在于，所述气缸杆(210)杆身安装有固定板(220)，所述固定板(220)外圈伸出设置有延伸板(230)。3.根据权利要求2所述的一种应用于半导体低温泵气缸温度隔离装置，其特征在于，还包括润滑油箱(300)，所述润滑油箱(300)侧壁安装有第一软管(310)，所述第一软管(310)杆身安装有第一单向阀(320)，所述润滑油箱(300)侧壁安装有观测窗(330)。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，
申请(专利权)人：上海优尊真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：