本技术属于晶圆取片技术领域，公开了一种翘曲晶圆取片装置，包括：叉臂，所述叉臂上设置有气道；吸盘，所述吸盘均匀分布在所述叉臂上且所有的所述吸盘均与所述气道连通；均匀布设的吸盘，通过一条气道进行控制，可以在对晶圆进行取片时，避免真空度有差异...

本申请属于半导体制造技术领域，公开了一种晶圆机器人定位轨道机构，包括轨道驱动单元，负载支架和晶圆机器人本体，轨道驱动单元包括一安装基座，安装基座的内侧壁横向固定安装有一直线电机，直线电机的底部固定连接有线缆拖链，用于容纳供电和信号传输线...

本申请属于晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆传片机，包括设备框架组件、晶圆机械人组件、机器人水平驱动组件、Frame FOUP装载模块、Wafer FOUP装载模块、Frame对准模块、Wafer对准模块、晶圆ID读取模块、腔体洁净过滤模...

本技术公开了一种具有精度调节功能的直线导轨，涉及直线导轨技术领域；包括轨道座和滑块；所述轨道座上安装有主轨道和位于主轨道两侧的辅助轨道，所述滑块通过传动结构连接主轨道，所述滑块两侧分别安装有调节结构，所述调节结构连接辅助轨道；所述调节结...

本技术涉及直线导轨技术领域，具体是一种具有除杂功能的直线导轨，包括底座与滑块，所述底座与滑块滑动接触，滑块一侧固定连接有驱动机构，底座固定连接有连接装置，所述底座转动连接有除杂装置，除杂装置与驱动机构相啮合，该装置可以对杂物进行收集，避...

本申请属于晶圆加工技术领域，公开了一种非翘曲晶圆夹取装置，包括安装主体、驱动组件和夹持组件，夹持组件包括支撑部和夹持部，驱动组件和支撑部分别可拆卸地固定安装在安装主体的两端，夹持部滑动设置在支撑部的底部，驱动组件的动力输出端与夹持部的一...

本发明属于晶圆定位技术领域，公开了一种多功能晶圆定位装置，包括：底座中轴处设置有晶圆校准器，底座上对称设置有立板，相邻的立板上设置有顶板；承载座设置在顶板的上方；承载座上对称设置有承载台，承载座上对称设置有延长板；延长板上设置有导轨，导...

本实用新型公开了一种直线导轨防护装置，涉及直线导轨技术领域；包括防护套盒和安装支架；所述防护套盒两侧由内到外分别安装有内侧板和外侧板，所述内侧板上开有一级滑槽，所述外侧板上开有二级滑槽，所述二级滑槽的位置低于一级滑槽；所述安装支架包括安...

本实用新型涉及线性滑轨技术领域，且公开了一种用于线性滑轨的防滑块脱出的限位装置，包括线滑轨，所述线滑轨底部固定连接有固定板，所述固定板表面贯穿设有紧固螺栓，所述线滑轨外侧套接有导向滑块，所述导向滑块两侧设有调节式防脱块，且所述调节式防脱...

本实用新型涉及滑轨外轨测量技术领域，且公开了一种滑轨外轨测量装置，包括传送平台，所述传送平台顶面设置有安装框架，所述安装框架内通过调节机构连接有检测式测量机构，且所述调节机构对称设置于安装框架内腔两侧，所述安装框架内腔顶面设置有检测式摄...

本实用新型涉及线性滑轨技术领域，且公开了一种线性滑轨的调节装置，包括滑轨主体，所述滑轨主体内腔滑动连接有滑块，所述滑块顶部固定连接有放置座，所述滑轨主体内侧开设有调节槽，所述滑轨主体外侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔内通过紧固螺栓连接有加固调...

本实用新型属于滑轨设施技术领域，尤其为一种滑轨底脚保持器，包括滑轨本体以及安装在滑轨本体一侧的限位机构，当长期使用的过程中，会造成滑轨本体的偏移，此时通过固定块和压缩弹簧相配合，当滑轨本体有偏移趋势时，滑轨本体挤压固定块，固定块在防护套...

本实用新型属于滑轨技术领域，尤其为一种用于滑轨机械自锁结构的密封机构，包括滑轨外壳，滑轨外壳的上下两端内侧均固定连接有轨道，轨道的内侧转动连接有滚珠，滚珠的外侧转动接触有保持架，保持架的外侧固定连接有滑轨抽拉壳，所述滑轨外壳的后端外侧安...

本实用新型属于滑轨技术领域，尤其为一种三段式隐藏滑轨用轨道连接紧固机构，包括通过滚珠保持架相连接的一组两段式滑轨，两段式滑轨内侧的滑动连接有C形框，还包括导向限位组件和紧固组件，两段式滑轨的顶部与C形框的顶部通过导向限位组件滑动连接，两...

本实用新型涉及滑轨技术领域，且公开了一种具有滑块功能的滑轨支撑座，包括固定座，所述固定座顶部固定连接有滑块限位座，所述滑块限位座顶部表面开设有滑块槽，所述滑块槽内滑动连接有移动滑块，所述移动滑块顶部固定连接有支撑连接座，所述滑块限位座顶...

本实用新型属于滑轨技术领域，尤其为一种用于滑轨顶压开启结构的平面安装机构，包括三段式滑轨，三段式滑轨的一侧设置有安装板，还包括设置在安装板与三段式滑轨之间的辅助安装组件和位于三段式滑轨一端的顶压调节组件；可以在将三段式滑轨的底座安装在柜...

本发明属于线性滑轨加工技术领域，尤其为一种线性滑轨用自动涂油装置，包括操作箱，所述操作箱顶侧固定连接有安装台，所述安装台顶侧固定连接有调节机构，所述调节机构顶部右侧固定连接有储油箱，所述调节机构包括顶板和液压缸，所述顶板顶侧与液压缸固定...

本发明属于导轨组装技术领域，尤其为一种导轨组装用具有码齐排版功能的生产加工设备，包括底座以及依次固定在所述底座上端的电动推杆、电机和支撑板，所述支撑板的端面安装有夹持爪，所述夹持爪由第一夹板和第二夹板构成，且所述第一夹板和所述第二夹板转...

本实用新型公开了一种直线导轨加工搬运装置，属于直线导轨技术领域，包括推车，所述推车的一侧焊接固定有固定杆，所述固定杆的上方焊接固定有把手，所述推车的上方设置有轴承座，所述轴承座的内部设置有轴承，所述轴承的内部设置有连接杆，且连接杆延伸至...

本实用新型属于滚珠丝杠生产线领域，尤其是一种滚珠丝杠加工用送料装置，针对现有的滚珠丝杠零件输送装置难以平稳地输送滚珠丝杠零件，导致滚珠丝杠零件容易掉落至地面，工作质量较差；高度固定，难以适用于不同身高的工作人员，适用范围较小的问题，现提...