一种翘曲晶圆取片装置制造方法及图纸

本技术属于晶圆取片技术领域，公开了一种翘曲晶圆取片装置，包括：叉臂，所述叉臂上设置有气道；吸盘，所述吸盘均匀分布在所述叉臂上且所有的所述吸盘均与所述气道连通；均匀布设的吸盘，通过一条气道进行控制，可以在对晶圆进行取片时，避免真空度有差异，进而使晶圆受力均匀避免晶圆破裂。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆取片，更具体地说，涉及一种翘曲晶圆取片装置。

技术介绍

1、晶圆在经过研磨工艺之后，由于自身的厚度减薄，尤其是边缘的厚度特别小，在将晶圆放入晶圆盒之后，会造成翘曲现象的发生，进而容易造成对晶圆的损坏。

2、尤其是晶圆在加工过程中涉及对于晶圆的持取。目前对晶圆的持取过程中，晶圆的传输方式主要是利用机械手夹持传输或吸气式吸盘传输。

3、对于机械手夹持式传输而言，需与晶圆表面进行直接机械接触，并依靠摩擦力进行夹持和传输，不可避免地会产生应力集中问题，易造成晶圆破碎。

4、吸气式吸盘传输为吸盘表面直接接触晶圆表面后再抽真空吸附，两者之间的相对姿态难以保持绝对平行，使吸盘表面触碰到晶圆表面时的碰触力不易控制，导致应力集中，出现晶圆破碎。其次，普通的吸气式吸盘通常包括多个小吸盘，而各个小吸盘之间的实际真空度有差异，导致晶圆表面受力不均匀，从而导致晶圆破碎。

5、为此，本申请提出一种翘曲晶圆取片装置，以解决上述存在的问题。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种翘曲晶圆取片装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种翘曲晶圆取片装置，其特征在于：所述叉臂(1)与所述吸盘(3)的连通处设置有凸台(8)；所述吸盘(3)通过紧固螺钉设置在所述凸台(8)上并与所述气道(2)连通。

3.根据权利要求1所述的一种翘曲晶圆取片装置，其特征在于：所述叉臂(1)为弧形形状，在其首端、末端与中心点处均连通设置有所述吸盘(3)。

【技术特征摘要】

1.一种翘曲晶圆取片装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种翘曲晶圆取片装置，其特征在于：所述叉臂(1)与所述吸盘(3)的连通处设置有凸台(8)；所述吸盘(3)通过紧固螺钉...

【专利技术属性】
技术研发人员：司步超，高志远，张刊，王瑞锋，潘武，
申请(专利权)人：上海诺银机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：