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本技术属于晶圆取片技术领域，公开了一种翘曲晶圆取片装置，包括：叉臂，所述叉臂上设置有气道；吸盘，所述吸盘均匀分布在所述叉臂上且所有的所述吸盘均与所述气道连通；均匀布设的吸盘，通过一条气道进行控制，可以在对晶圆进行取片时，避免真空度有差异，进...
该专利属于上海诺银机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海诺银机电科技有限公司授权不得商用。

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