一种晶圆机器人定位轨道机构制造技术

本申请属于半导体制造技术领域，公开了一种晶圆机器人定位轨道机构，包括轨道驱动单元，负载支架和晶圆机器人本体，轨道驱动单元包括一安装基座，安装基座的内侧壁横向固定安装有一直线电机，直线电机的底部固定连接有线缆拖链，用于容纳供电和信号传输线缆，负载支架与直线电机的动子滑座可拆卸地固定连接，晶圆机器人本体与负载支架可拆卸地固定连接。通过轨道驱动单元对晶圆机器人本体进行水平方向的驱动，可在晶圆加工平台中用于晶圆机器人的扩展运动定位，能够有效扩展机械手取片范围。通过各组件的模块化设计，可适应各系列晶圆机器人和机械手，安装方便，进一步节省了设备的占地面积和装配运行成本。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体制造，更具体地说，涉及一种晶圆机器人定位轨道机构。

技术介绍

1、在晶圆生产制造过程中，通常采用晶圆机器人对晶圆片进行夹取传输。晶圆机器人的机械手可以为关节机械手或直角坐标机械手，关节机械手或直角坐标机械手可以从腔室侧面传输晶圆，晶圆从侧面进出腔室。其中，关节机械手具有滑轨、本体、手臂、手爪等几部分。直角坐标机械手可采用导轨与同步带组合实现xyz轴的运动。

2、但是，上述晶圆机器人在传输晶圆过程中，存在以下问题：取片范围有限，在较长的工艺平台上通常需要设置多个晶圆机器人，大大增加设备的占地面积和装配运行成本。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本申请提供一种晶圆机器人定位轨道机构。

2、本申请提供的一种晶圆机器人定位轨道机构采用如下的技术方案：

3、一种晶圆机器人定位轨道机构，包括轨道驱动单元，负载支架和晶圆机器人本体，所述轨道驱动单元包括一安装基座，所述安装基座的内侧壁横向固定安装有一直线电机，所述直线电机的底部固定连接有线缆拖链，用于容纳供电和信号传输线缆，所述负载支架与直线电机的动子滑座可拆卸地固定连接，所述晶圆机器人本体与负载支架可拆卸地固定连接。

4、进一步的，所述安装基座的内侧壁在对应直线电机轨道首末两端的上方均固定安装有限位光电传感器，所述直线电机的动子滑座的顶部固定连接有光电开关触发板。

5、通过上述技术方案，用于对直线电机的水平运行位置进行限位。

6、进一步的，所述安装基座的内侧壁在对应直线电机轨道的两端可拆卸地固定连接有盖板支撑架，两侧所述盖板支撑架之间可拆卸的固定连接有电机盖板，电机盖板横向贯穿直线电机的动子滑座，用于对其轨道和定子排进行遮挡。

7、通过上述技术方案，对直线电机的轨道和定子排部位进行遮挡保护，保证洁净度，进而提高直线电机的运行稳定性。

8、进一步的，所述安装基座在位于线缆拖链的外侧可拆卸地固定连接有拖链盖板。

9、通过上述技术方案，对线缆拖链部位进行遮挡保护。

10、进一步的，所述负载支架包括一l形的负载安装板和固定安装在其两侧的负载加强筋板，所述晶圆机器人本体可拆卸地固定安装在负载安装板上。

11、通过上述技术方案，结构强度更高，进一步提高了晶圆机器人本体的安装稳定性。

12、综上所述，本申请包括以下至少一个有益技术效果：

13、通过轨道驱动单元对晶圆机器人本体进行水平方向的驱动，可在晶圆加工平台中用于晶圆机器人的扩展运动定位，能够有效扩展机械手取片范围。通过各组件的模块化设计，可适应各系列晶圆机器人和机械手，安装方便，进一步节省了设备的占地面积和装配运行成本。采用直驱直线电机驱动，非机械式传动，洁净度高，响应速度快，能够提高晶圆生产中的机械传输稳定性和传动效率，进而提高了生产效率和生产质量。

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【技术保护点】

1.一种晶圆机器人定位轨道机构，包括轨道驱动单元(1)，负载支架(2)和晶圆机器人本体(3)，其特征在于：所述轨道驱动单元(1)包括一安装基座(11)，所述安装基座(11)的内侧壁横向固定安装有一直线电机(12)，所述直线电机(12)的底部固定连接有线缆拖链(13)，用于容纳供电和信号传输线缆，所述负载支架(2)与直线电机(12)的动子滑座可拆卸地固定连接，所述晶圆机器人本体(3)与负载支架(2)可拆卸地固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人定位轨道机构，其特征在于：所述安装基座(11)的内侧壁在对应直线电机(12)轨道首末两端的上方均固定安装有限位光电传感器(14)，所述直线电机(12)的动子滑座的顶部固定连接有光电开关触发板(15)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人定位轨道机构，其特征在于：所述安装基座(11)的内侧壁在对应直线电机(12)轨道的两端可拆卸地固定连接有盖板支撑架(16)，两侧所述盖板支撑架(16)之间可拆卸的固定连接有电机盖板(17)，电机盖板(17)横向贯穿直线电机(12)的动子滑座，用于对其轨道和定子排进行遮挡。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人定位轨道机构，其特征在于：所述安装基座(11)在位于线缆拖链(13)的外侧可拆卸地固定连接有拖链盖板(18)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人定位轨道机构，其特征在于：所述负载支架(2)包括一L形的负载安装板(21)和固定安装在其两侧的负载加强筋板(22)，所述晶圆机器人本体(3)可拆卸地固定安装在负载安装板(21)上。

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【技术特征摘要】

1.一种晶圆机器人定位轨道机构，包括轨道驱动单元(1)，负载支架(2)和晶圆机器人本体(3)，其特征在于：所述轨道驱动单元(1)包括一安装基座(11)，所述安装基座(11)的内侧壁横向固定安装有一直线电机(12)，所述直线电机(12)的底部固定连接有线缆拖链(13)，用于容纳供电和信号传输线缆，所述负载支架(2)与直线电机(12)的动子滑座可拆卸地固定连接，所述晶圆机器人本体(3)与负载支架(2)可拆卸地固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆机器人定位轨道机构，其特征在于：所述安装基座(11)的内侧壁在对应直线电机(12)轨道首末两端的上方均固定安装有限位光电传感器(14)，所述直线电机(12)的动子滑座的顶部固定连接有光电开关触发板(15)。

3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：司步超，高志远，张刊，王瑞锋，潘武，
申请(专利权)人：上海诺银机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：