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本申请属于半导体制造技术领域，公开了一种晶圆机器人定位轨道机构，包括轨道驱动单元，负载支架和晶圆机器人本体，轨道驱动单元包括一安装基座，安装基座的内侧壁横向固定安装有一直线电机，直线电机的底部固定连接有线缆拖链，用于容纳供电和信号传输线缆，...
该专利属于上海诺银机电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海诺银机电科技有限公司授权不得商用。

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