本技术涉及一种新型气动扳手，包括握持单元、外壳单元、扳手单元、传动单元、驱动单元和控制单元。其优点在于，在传动单元的内部设置扳手单元，可实现对流体介质工作系统长管路接头螺母的套接，从而使得新型气动扳手可适配于流体介质工作系统长管路的接头...

本发明涉及一种气体输送系统的尾气处理设备、方法及半导体工艺系统，尾气处理设备包括气体输送单元、分析单元、回收单元、吸附单元、排气单元、吹扫单元和真空单元。其优点在于，通过将分析单元与气体输送单元连通并增加回收单元，可实时检测气体输送单元...

本发明涉及一种基于液态气源的特殊气体输送设备、方法及半导体工艺系统，特殊气体输送设备包括载气供应单元、混气输出单元、检测单元、吹扫单元、排放单元、第一泄压单元和第二泄压单元。其优点在于，通过设置排放单元，可对混合气体和吹扫气体进行分区排...

本申请涉及一种基于特气换瓶的杂质气体排除系统及方法，方法包括：关闭钢瓶阀门并利用真空发生器将与钢瓶连接的管路抽真空；利用PLC画面控制器控制对所述管路进行吹扫；特气换瓶时利用微漏阀对所述钢瓶的接头处吹扫；换瓶完成后利用所述PLC画面控制...

本申请涉及一种基于特气换瓶的泄露测试系统及方法，方法包括：关闭钢瓶阀门并利用真空发生器将与钢瓶连接的管路抽真空；在预设时间中保持管路中的负压状态；气体压力传感器获取负压状态中管路中的最大压力波动值；PLC画面控制器确定最大压力波动值是否...

本发明涉及一种特气输送供应装置、系统、方法及半导体工艺系统，特气输送供应装置包括第一气体输入单元、加热单元、过滤单元、调压单元、检测单元、第一气体输出单元和第一排放单元。其优点在于，通过过滤单元和调压单元对特殊气体进行二次过滤和二次调压...

本发明提供一种液氨槽车卸氨供应系统，包括槽车储罐、蒸发罐、增压泵、氨气供应管路、冷凝装置和冷凝回收罐；所述槽车储罐的液氨出口与所述蒸发罐的入口连通，所述蒸发罐的氨气出口分别与所述氨气供应管路、所述冷凝装置的入口及所述增压泵的入口连通，所...

本发明提供一种液氨充装系统，包括成品罐、氮气吹扫系统、氦气保压系统、压力传感器、液氨充装容器、抽气泵、排气处理装置、氨气分析系统、第一冷凝装置、冷凝回收罐、第二冷凝装置和废液罐；氮气吹扫系统的出口及氦气保压系统的出口均与液氨充装容器的入...

本申请涉及一种基于特气供应设备的危害气体排除系统及方法，方法包括：响应于所述管路中危害气体浓度超过预设浓度阈值，所述特气供应设备触发停机机制；关闭钢瓶阀门和常开阀门；利用所述真空发生器将所述危害气体抽至所述尾气处理装置；利用PLC画面控...

本发明涉及一种钢瓶处理装置及方法，包括钢瓶处理单元

本发明涉及一种液氨充装装置

本发明提供一种液氨纯化系统，包括普氨存放装置

本发明提供了一种气体混合自动控制系统及方法，包括：当待混合的不同气体压力达到预设需求后，根据流量计控制不同气体需要的流量，并控制不同气体通过供应管路注入缓冲管进行混合，控制混合后的气体通入气体分析仪，利用气体分析仪监测当前混合气体中气体...

本发明涉及一种前置吹扫装置及特气输送供应系统，前置吹扫装置包括第一气体输入单元

本发明涉及一种特种气体充装装置

本发明提供了一种液体输送系统

本发明提供了一种恒温鼓泡桶夹层结构，包括：内胆

本发明涉及一种多用途气动力矩扳手，包括手柄部件

本发明涉及一种冷凝装置及方法，包括缓冲单元、冷凝单元、分析单元、回收单元、排废单元和泄压单元。其优点在于，通过在氨气源和冷凝单元之间设置缓冲单元，使得缓冲单元可以对进入冷凝单元内的氨气进行缓冲，可解决进入冷凝单元的氨气压力不稳定的情况，...

本发明涉及一种吸附过滤装置、方法及半导体工艺系统，包括气体供应单元、第一吸附单元、第二吸附单元、第三吸附单元、分析单元、冷凝回流单元、加热单元、第一气体输出单元、第二气体输出单元和吹扫单元。其优点在于，通过设置第一吸附单元、第二吸附单元...