【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体外延机台的附属设备，尤其涉及一种基于液态气源的特殊气体输送设备、方法及半导体工艺系统。
技术介绍
1、在为工艺机台提供特殊气体气源的过程中，特殊气体气源按照其在钢瓶内的状态可分为液态源和气态源，主要由其物理性质决定，但由于现在硅外延生长技术都是利用气相沉积，所以即使是液态气源也最终是由气态的形式进行供应。
2、中国专利技术专利(cn217584034u)公开了一种特殊气体输送设备(如图1、图2所示)，包括柜体，柜体中设有两个气源瓶和供气管路，供气管路包括与两个气源瓶连接的tcs管及与tcs管连通的氢气管及氩气管，tcs管、氢气管及氩气管上设有多个气动隔膜阀，柜体中设有烟雾探测器和火焰探测器，烟雾探测器、火焰探测器和多个气动隔膜阀均与控制器电连接；其中2为气态源钢瓶，主要用于储存气源，32为载气输入管路，由于液态特殊气体，不能被机台直接使用，所以一般做法为通过不与气源反应的载气使其与气源混合进行混气，再将混气输送到工艺机台，混气输送管路为31，另外33为吹扫管路，5和8为尾气排放管路。
3、然而，现有技术方案存在以下缺陷：
4、1、缺少安全泄压功能，由于高温、输送管路堵塞等问题，可能会出现管道内超压的情况，如若没有泄压功能，很容易造成管道破损，导致泄漏，造成人员、设备及环境的危害；
5、2、排放系统设计不完善，只有一个出口，不能做到对有害工艺气体和常规惰性气体的单独排放，会增大后端尾气处理的压力，不利于环保；
6、3、无测试系统，无法提前预知气源气体是
7、4、钢瓶剩余的余液无法被完全使用，会造成浪费和污染。
8、目前针对相关技术中存在的缺少安全泄压功能、无法分别对有害工艺气体和常规惰性气体的单独排放、无法提前预知气源气体是否可以被使用、钢瓶剩余的余液无法被完全使用等问题，尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是针对现有技术中的不足，提供一种基于液态气源的特殊气体输送设备及方法，以解决相关技术中存在的缺少安全泄压功能、无法分别对有害工艺气体和常规惰性气体的单独排放、无法提前预知气源气体是否可以被使用、钢瓶剩余的余液无法被完全使用等问题。
2、为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案是：
3、第一方面，本专利技术提供一种基于液态气源的特殊气体输送设备，包括：
4、载气供应单元，所述载气供应单元分别与载气源、液态源存储设备连通，用于向液态源存储设备供应载气，以在液态源存储设备的内部使载气与液态源气体混合形成混合气体；
5、混气输出单元，所述混气输出单元分别与液态源存储设备、工艺机台连通，用于向工艺机台输出混合气体；
6、检测单元，所述检测单元与所述混气输出单元连通，用于在载气未被供应至液态源存储设备的情况下，检测所述混气输出单元输出的液态源气体；
7、吹扫单元，所述吹扫单元分别与所述载气供应单元、所述混气输出单元连通，用于使用吹扫气体分别对所述载气供应单元、所述混气输出单元吹扫；
8、排放单元，所述排放单元分别与所述载气供应单元、所述混气输出单元连通，用于排放所述载气供应单元、所述混气输出单元的气体；
9、第一泄压单元，所述第一泄压单元分别与所述载气供应单元、所述排放单元连通，用于对所述载气供应单元泄压；
10、第二泄压单元，所述第二泄压单元分别与所述混气输出单元、所述排放单元连通，用于对所述混气输出单元泄压。
11、在其中的一些实施例中，还包括：
12、反向鼓泡单元，所述反向鼓泡单元与液态源存储设备连通，用于使液态源存储设备残存的液态源气体被输送至工艺机台或尾气处理设备。
13、第二方面，本专利技术还提供一种基于液态气源的特殊气体输送方法，应用于如权利要求1～6任一所述的特殊气体输送设备，包括：
14、载气供应单元获取载气并输送至液态源存储设备，以在液态源存储设备的内部使载气与液态源气体混合形成混合气体；
15、混气输出单元获取混合气体并向工艺机台输出混合气体；
16、在液态源存储设备的载气进口处压力过大的情况下，第一泄压单元可进行泄压；
17、在液态源存储设备的混合气体出口处压力过大的情况下，第二泄压单元可进行泄压。
18、在其中的一些实施例中，还包括：
19、反向鼓泡单元获取推动气体并将推动气体通过液态源存储设备的出气口通入液态源存储设备，推动气体可将液态源存储设备内残留的特殊气体通过液态源存储设备进气口输送至尾气处理设备或者工艺机台。
20、在其中的一些实施例中，还包括：
21、在一液态源存储设备的液态源气体的体积达到最低预设阈值的情况下，开启检测单元，对另一液态源存储设备的液态源气体进行检测；
22、在检测合格的情况下，吹扫单元和排放单元对整体设备的管路进行吹扫置换；
23、在吹扫置换的情况下，吹扫单元和排放单元对液态源存储设备进行吹扫；
24、在吹扫完成的情况下，对液态源存储设备进行更换；
25、在更换完成的情况下，吹扫单元和排放单元对整体设备进行吹扫保压。
26、第三方面，本专利技术还提供一种半导体工艺系统，包括：
27、如第一方面所述的特殊气体输送设备。
28、本专利技术采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：
29、本专利技术的一种基于液态气源的特殊气体输送设备、方法及半导体工艺系统，通过设置排放单元，可对混合气体和吹扫气体进行分区排放，可以减少后端尾气处理的压力，还能保护环境，防止尾气泄露的危害；还通过设置第一泄压单元和第二泄压单元，可对载气进口和混合气体出口进行泄压，提高设备和系统的安全性，保护人员生命和财产安全，确保生产工艺的稳定性；再有，通过设置检测单元，可预先做到对下瓶气进行测试，可以在正式使用前就知道未使用钢瓶是否达到工艺条件，可节省时间成本，提高效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种液态气源的特殊气体输送设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的特殊气体输送设备，其特征在于，所述载气供应单元包括：
3.根据权利要求2所述的特殊气体输送设备，其特征在于，所述载气供应单元还包括：
4.根据权利要求1～3任一所述的特殊气体输送设备，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的特殊气体输送设备，其特征在于，所述反向鼓泡单元包括：
6.根据权利要求5所述的特殊气体输送设备，其特征在于，所述反向鼓泡单元还包括：
7.一种基于液态气源的特殊气体输送方法，其特征在于，应用于如权利要求1～6任一所述的特殊气体输送设备，包括：
8.根据权利要求7所述的特殊气体输送方法，其特征在于，还包括：
9.根据权利要求7或8所述的特殊气体输送方法，其特征在于，还包括：
10.一种半导体工艺系统，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
1.一种液态气源的特殊气体输送设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的特殊气体输送设备，其特征在于，所述载气供应单元包括：
3.根据权利要求2所述的特殊气体输送设备，其特征在于，所述载气供应单元还包括：
4.根据权利要求1～3任一所述的特殊气体输送设备，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求4所述的特殊气体输送设备，其特征在于，所述反向鼓泡单元包括：
<...【专利技术属性】
技术研发人员：纪雪峰，范威威，宋泳良，
申请(专利权)人：上海良薇机电工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。