【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体生产，尤其涉及一种特气输送供应装置、特气输送供应系统、特气输送供应方法及半导体工艺系统。
技术介绍
1、超高流量气体供应设备bsgs主要应用于半导体等产业中，为工艺机台输送工艺气体。超高流量气体供应设备bsgs的气源一般采用钢瓶存储。由于钢瓶的存储体积较小，导致在输送工艺气体时，需要经常更换钢瓶。然而，在更换钢瓶的过程中，通常需要中断工艺流程，导致生产效率低。
2、为了解决上述问题，中国技术专利cn214369272u公开了一种用于特殊气体超高流量输送的设备。其通过设计增设工艺气体供应单元，实现切换供应和换瓶流程，通过程式控制气动阀自己完成工作，从而避免因人为误操作引起的设备损害和人身危害。然而，该技术方案仍存在如下缺陷：
3、1）气源仍采用钢瓶提供，导致仍需要频繁更换钢瓶，即需要频繁切换深度吹扫箱；
4、2）主柜体集成有吹扫单元，吹扫单元需要对主柜体、深度吹扫箱进行吹扫工艺，导致吹扫长度较长，气体排放多，容易污染环境；
5、3）工艺气体和吹扫气体采用同一出口排放，导致尾气处理工序的压力较大；
6、4）在主柜体的管路压力较大时，无法进行主动泄压，容易产生爆炸风险；
7、5）仅对气源气体进行测试，没有对调压过滤后的工艺气体进行测试，容易出现不符合工艺要求，导致生产良率低；
8、6）仅能输出单一标准的工艺气体，无法满足不同工艺要求；
9、7）没有对吹扫气体和保压气体进行区分，导致吹扫保压效果较差。
10、目
技术实现思路
1、本专利技术的目的是针对现有技术中的不足，提供一种特气输送供应装置、特气输送供应系统、特气输送供应方法及半导体工艺系统，以解决相关技术中存在的需要频繁切换气源、吹扫长度长、气体排放多、尾气处理工序压力大、无法对调压过滤后的工艺气体检测、无法满足不同工艺要求、没有没有对吹扫气体和保压气体进行区分等问题。
2、为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案是：
3、第一方面，提供一种特气输送供应装置，用于槽车输送特殊气体，包括：
4、第一气体输入单元，所述第一气体输入单元与吹扫装置连通，用于获取吹扫装置输送的特殊气体；
5、加热单元，所述加热单元与所述第一气体输入单元连接，用于对特殊气体进行加热；
6、过滤单元，所述过滤单元与所述第一气体输入单元连通，用于对特殊气体进行过滤；
7、调压单元，所述调压单元与所述过滤单元连通，并位于所述过滤单元的上游和/或下游，用于对特殊气体进行调压；
8、过流量保护单元，所述过流量保护单元分别与所述过滤单元、所述调压单元连通；
9、检测单元，所述检测单元与所述过滤单元连通，用于对特殊气体进行检测；
10、第一气体输出单元，所述第一气体输出单元与所述过滤单元连通，用于输出特殊气体；
11、第一排放单元，所述第一排放单元分别与所述过滤单元、所述过流量保护单元连通，用于排放气体。
12、在其中的一些实施例中，所述第一气体输入单元包括：
13、至少一第一气体输入元件，所述第一气体输入元件分别与吹扫装置、所述过滤单元连通，并与所述加热单元连接，用于获取吹扫装置输送的特殊气体、输送特殊气体至所述过滤单元。
14、在其中的一些实施例中，所述加热单元包括：
15、至少一加热元件，所述加热元件与所述第一气体输入单元连接，并位于所述过滤单元的上游和/或下游、所述调压单元的上游和/或下游，用于对特殊气体进行加热。
16、在其中的一些实施例中，所述过滤单元包括：
17、至少一第一过滤元件，所述第一过滤元件分别与所述第一气体输入单元、所述调压单元连通，并位于所述调压单元的上游，用于对特殊气体进行一次过滤；
18、至少一第二过滤元件，所述第二过滤元件分别与所述过流量保护单元、所述第一气体输出单元、所述检测单元、所述第一排放单元连通，并位于所述调压单元的下游，用于对特殊气体进行二次过滤。
19、在其中的一些实施例中，所述调压单元包括：
20、至少一第一调压元件，所述第一调压元件与所述过滤单元、所述过流量保护单元连通，并位于所述过流量保护单元的上游，用于对特殊气体进行一次调压；
21、至少一第二调压元件，所述第二调压元件分别与所述第一调压元件、所述过流量保护单元连通，并位于所述过流量保护单元的下游，用于对特殊气体进行二次调压。
22、在其中的一些实施例中，所述过流量保护单元包括：
23、至少一过流量保护元件，所述过流量保护元件分别与所述过滤单元、所述调压单元、所述第一排放单元连通。
24、在其中的一些实施例中，所述检测单元包括：
25、至少一第一检测元件，所述第一检测元件分别与所述过滤单元、所述第一气体输出单元连通，用于对特殊气体进行检测。
26、在其中的一些实施例中，所述第一气体输出单元包括：
27、至少一第一气体输出元件，所述第一气体输出元件分别与所述过滤单元、所述检测单元、工艺腔室连通，用于输出特殊气体至工艺腔室；
28、至少一第二气体输出元件，所述第二气体输出元件分别与所述过滤单元、所述检测单元连通，用于输出特殊气体。
29、在其中的一些实施例中，所述第一排放单元包括：
30、第一排放元件，所述第一排放元件分别与所述过滤单元、所述过流量保护单元连通，用于排放气体。
31、在其中的一些实施例中，还包括：
32、纯化单元，所述纯化单元分别与所述过滤单元、所述检测单元、所述第一气体输出单元、所述第一排放单元连通，用于对特殊气体进行纯化。
33、在其中的一些实施例中，所述检测单元还包括：
34、第二检测元件，所述第二检测元件分别与所述纯化单元、所述第一气体输出单元连通，用于对纯化后的特殊气体进行检测。
35、在其中的一些实施例中，所述纯化单元包括：
36、至少一纯化元件，所述纯化元件分别与所述过滤单元、所述检测单元、所述第一气体输出单元、所述第一排放单元连通，用于对特殊气体进行纯化。
37、在其中的一些实施例中，还包括：
38、第一泄压单元，所述第一泄压单元分别与所述第一气体输入单元、所述第一排放单元连通，用于泄压。
39、在其中的一些实施例中，所述第一泄压单元包括：
40、至少一第一泄压元件，所述第一泄压元件分别与所述第一气体输入单元、所述第一排放单元连通，用于泄压。
41、第二方面，提供一种特气输送供应系统，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种特气输送供应装置，用于槽车输送特殊气体，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的特气输送供应装置，其特征在于，所述第一气体输入单元包括：
3.根据权利要求1或2所述的特气输送供应装置，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的特气输送供应装置，其特征在于，所述检测单元还包括：
5.一种特气输送供应系统，其特征在于，包括：
6.根据权利要求5所述的特气输送供应系统，其特征在于，所述吹扫装置包括：
7.根据权利要求6所述的特气输送供应系统，其特征在于，还包括：
8.一种特气输送供应方法，应用于如权利要求1~4任一所述的特气输送供应装置。
9.一种特气输送供应方法，应用于如权利要求5~7任一所述的特气输送供应系统。
10.一种半导体工艺系统，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
1.一种特气输送供应装置，用于槽车输送特殊气体，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的特气输送供应装置，其特征在于，所述第一气体输入单元包括：
3.根据权利要求1或2所述的特气输送供应装置，其特征在于，还包括：
4.根据权利要求3所述的特气输送供应装置，其特征在于，所述检测单元还包括：
5.一种特气输送供应系统，其特征在于，包括：
...【专利技术属性】
技术研发人员：纪雪峰，陈亮，范威威，
申请(专利权)人：上海良薇机电工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
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