一种前置吹扫装置及特气输送供应系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种前置吹扫装置及特气输送供应系统，前置吹扫装置包括第一气体输入单元

【技术实现步骤摘要】
一种前置吹扫装置及特气输送供应系统


[0001]本专利技术涉及半导体生产
，尤其涉及一种前置吹扫装置
、
特气输送供应系统
、
特气输送供应方法及半导体工艺系统
。

技术介绍

[0002]超高流量气体供应设备
BSGS
主要应用于半导体等产业中，为工艺机台输送工艺气体
。
一般地，需要在超高流量气体供应设备
BSGS
设置前置吹扫箱，用于在装载特殊气体的钢瓶或槽车消耗殆尽时，更换钢瓶或槽车时，将原来管路中的残余特殊气体吹扫干净的设备
。
[0003]然而，槽车是一种具有超高容量装载特殊气体能力的容器，但其同时又具有体积巨大，占地空间大，气源不稳定等问题，目前并没有大规模使用
。
[0004]为了解决无法使用槽车进行特殊气体供应的问题，中国技术专利
CN214369312U
公开了一种用于特殊气体超高流量输送设备的深度吹扫箱
。
通过设计增设深度吹扫箱工艺气体供应单元，实现满足特殊气体超高流量运输的需求
。
然而，该技术方案仍存在如下缺陷：1）没有设置主动泄压的结构，只适用于大容量钢瓶的特殊气体输送，无法适用于槽车系统的特殊气体输送；2）工艺气体和吹扫气体采用同一出口排放，导致尾气处理工序的压力较大；3）测试系统设计不合理，对气源气体进行测试，而不是对特殊气体超高流量输送设备进行调压后的供应气体进行测试，对实际生产的帮助意义不大；4）没有对吹扫气体和保压气体进行区分，导致吹扫保压效果较差
。
[0005]目前针对相关技术中存在的吹扫长度长
、
气体排放多
、
尾气处理工序压力大
、
没有没有对吹扫气体和保压气体进行区分等问题，尚未提出有效的解决方案
。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的是针对现有技术中的不足，提供一种前置吹扫装置
、
特气输送供应系统
、
特气输送供应方法及半导体工艺系统，以解决相关技术中存在的吹扫长度长
、
气体排放多
、
尾气处理工序压力大
、
没有没有对吹扫气体和保压气体进行区分等问题
。
[0007]为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案是：第一方面，提供一种前置吹扫装置，用于槽车输送特殊气体，包括：特殊气体输入单元，所述特殊气体输入单元与至少一槽车装置连通，用于获取槽车装置传输的特殊气体；特殊气体输出单元，所述特殊气体输出单元分别与所述特殊气体输入单元
、
特气输送供应装置连通，用于传输特殊气体至特气输送供应装置；低压吹扫单元，所述低压吹扫单元分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通，用于低压吹扫；高压保压单元，所述高压保压单元分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体
输出单元连通，用于高压保压；真空单元，所述真空单元分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通；泄压单元，所述泄压单元分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通；特殊气体排放单元，所述特殊气体排放单元分别与所述真空单元
、
所述泄压单元连通，用于排放特殊气体；一般气体排放单元，所述一般气体排放单元分别与所述真空单元
、
所述泄压单元连通，用于排放一般气体
。
[0008]在其中的一些实施例中，所述特殊气体输入单元包括：特殊气体输入元件，所述特殊气体输入元件分别与槽车装置
、
所述特殊气体输出单元
、
所述低压吹扫单元
、
所述高压保压单元
、
所述真空单元
、
所述泄压单元连通
。
[0009]在其中的一些实施例中，所述特殊气体输入单元还包括：第一开关阀元件，所述第一开关阀元件设置于分别与所述特殊气体输入元件
、
所述特殊气体输出单元连通的管路，用于控制管路的开闭
。
[0010]在其中的一些实施例中，所述特殊气体输出单元包括：特殊气体输出元件，所述特殊气体输出元件分别与所述特殊气体输入单元
、
特气输送供应装置
、
所述低压吹扫单元
、
所述高压保压单元
、
所述真空单元
、
所述泄压单元连通
。
[0011]在其中的一些实施例中，所述特殊气体输出单元还包括：第二开关阀元件，所述第二开关阀元件设置于分别与所述特殊气体输出元件
、
所述特殊气体输入单元连通的管路，用于控制管路的开闭
。
[0012]在其中的一些实施例中，所述低压吹扫单元包括：吹扫气体输入元件，所述吹扫气体输入元件分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通，用于供应低压吹扫气体
。
[0013]在其中的一些实施例中，所述低压吹扫单元还包括：微漏阀元件，所述微漏阀元件设置于分别与所述吹扫气体输入元件
、
所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通的管路；第一单向阀元件，所述第一单向阀元件设置于分别与所述吹扫气体输入元件
、
所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通的管路，并位于所述微漏阀元件的下游；第三开关阀元件，所述第三开关阀元件设置于分别与所述吹扫气体输入元件
、
所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通的管路，并位于所述第一单向阀元件的下游，用于控制管路的开闭
。
[0014]在其中的一些实施例中，所述低压吹扫单元还包括：第一压力检测元件，所述第一压力检测元件设置于分别与所述吹扫气体输入元件
、
所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通的管路，用于检测管路的压力
。
[0015]在其中的一些实施例中，所述高压保压单元包括：保压气体输入元件，所述保压气体输入元件分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通，用于供应高压保压气体
。
[0016]在其中的一些实施例中，所述高压保压单元还包括：
第四开关阀元件，所述第四开关阀元件设置于分别与所述保压气体输入元件
、
所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通的管路，用于控制管路的开闭；第二单向阀元件，所述第二单向阀设置于分别与所述保压气体输入元件
、
所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通的管路，并位于所述第四开关阀元件的下游
。
[0017]在其中的一些实施例中，所述真空单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种前置吹扫装置，用于槽车输送特殊气体，其特征在于，包括：特殊气体输入单元，所述特殊气体输入单元与至少一槽车装置连通，用于获取槽车装置传输的特殊气体；特殊气体输出单元，所述特殊气体输出单元分别与所述特殊气体输入单元
、
特气输送供应装置连通，用于传输特殊气体至特气输送供应装置；低压吹扫单元，所述低压吹扫单元分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通，用于低压吹扫；高压保压单元，所述高压保压单元分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通，用于高压保压；真空单元，所述真空单元分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通；泄压单元，所述泄压单元分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通；特殊气体排放单元，所述特殊气体排放单元分别与所述真空单元
、
所述泄压单元连通，用于排放特殊气体；一般气体排放单元，所述一般气体排放单元分别与所述真空单元
、
所述泄压单元连通，用于排放一般气体
。2.
根据权利要求1所述的前置吹扫装置，其特征在于，所述特殊气体输入单元包括：特殊气体输入元件，所述特殊气体输入元件分别与槽车装置
、
所述特殊气体输出单元
、
所述低压吹扫单元
、
所述高压保压单元
、
所述真空单元
、
所述泄压单元连通；和
/
或所述特殊气体输出单元包括：特殊气体输出元件，所述特殊气体输出元件分别与所述特殊气体输入单元
、
特气输送供应装置
、
所述低压吹扫单元
、
所述高压保压单元
、
所述真空单元
、
所述泄压单元连通；和
/
或所述低压吹扫单元包括：吹扫气体输入元件，所述吹扫气体输入元件分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通，用于供应低压吹扫气体；和
/
或所述高压保压单元包括：保压气体输入元件，所述保压气体输入元件分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通，用于供应高压保压气体；和
/
或所述真空单元包括：真空元件，所述真空元件分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元
、
所述特殊气体排放单元
、
所述一般气体排放单元连通；和
/
或所述泄压单元包括：泄压元件，所述泄压元件分别与所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元
、
所述特殊气体排放单元
、
所述一般气体排放单元连通；和
/
或所述特殊气体排放单元包括：特殊气体排放元件，所述特殊气体排放元件分别与所述真空单元
、
所述泄压单元连通，用于排放特殊气体；和
/
或所述一般气体排放单元包括：一般气体排放元件，所述一般气体排放元件分别与所述真空单元
、
所述泄压单元连通，
用于排放一般气体
。3.
根据权利要求2所述的前置吹扫装置，其特征在于，所述特殊气体输入单元还包括：第一开关阀元件，所述第一开关阀元件设置于分别与所述特殊气体输入元件
、
所述特殊气体输出单元连通的管路，用于控制管路的开闭；和
/
或所述特殊气体输出单元还包括：第二开关阀元件，所述第二开关阀元件设置于分别与所述特殊气体输出元件
、
所述特殊气体输入单元连通的管路，用于控制管路的开闭；和
/
或所述低压吹扫单元还包括：微漏阀元件，所述微漏阀元件设置于分别与所述吹扫气体输入元件
、
所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通的管路；第一单向阀元件，所述第一单向阀元件设置于分别与所述吹扫气体输入元件
、
所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通的管路，并位于所述微漏阀元件的下游；第三开关阀元件，所述第三开关阀元件设置于分别与所述吹扫气体输入元件
、
所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通的管路，并位于所述第一单向阀元件的下游，用于控制管路的开闭；和
/
或所述高压保压单元还包括：第四开关阀元件，所述第四开关阀元件设置于分别与所述保压气体输入元件
、
所述特殊气体输入单元
、
所述特殊气体输出单元连通的管路，用于控制管路的开闭；第二单向阀元件，所述第二单向阀设置于分别与所述保压气体输入元件
...

【专利技术属性】
技术研发人员：纪雪峰，陈亮，范威威，
申请(专利权)人：上海良薇机电工程有限公司，
类型：发明
国别省市：