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上海铂世光半导体科技有限公司专利技术
上海铂世光半导体科技有限公司共有33项专利
MPCVD设备中衬底支架的定位装置及定位方法制造方法及图纸
本发明提出了一种MPCVD设备中衬底支架的定位装置及定位方法,该装置包括:固定支架,用于定位衬底支架,为圆环结构,其内圆环面嵌套到基台的外圆环面上,衬底支架位于固定支架的镂空区域;至少3个定位单元,沿着固定支架的周向分布,每个定位单元的...
MPCVD在线调节等离子体球位置的设备及方法技术
本发明提出了一种MPCVD在线调节等离子体球位置的设备及方法,该设备包括底板;外壳其下端面固定于底板,其顶部开设气孔;内腔壳用于生成等离子体球并调节等离子体球的位置,其位于外壳内,其下端面抵住底板并可沿着底板移动,内腔壳与外壳、底板共同...
基于多个微波源叠加的等离子体反应装置及加强方法制造方法及图纸
本发明提出了一种基于多个微波源叠加的等离子体反应装置及加强方法,该装置包括:谐振腔;若干微波电源和微波传输系统,微波电源和微波传输系统对应设置;微波传输系统的前段腔体连通微波电源,后段腔体连通耦合腔;转换天线,置于微波传输系统的后段连接...
一种等离子体反应室和微波等离子体化学气相沉积装置制造方法及图纸
本发明提供了一种等离子体反应室和微波等离子体化学气相沉积装置。该等离子体反应室包括:真空腔室,真空腔室中包括从外部伸入腔体的基台结构,真空腔室的顶部在基台结构上方位置设有微波窗,真空腔室包括第一均流环和/或第二均流环,其中,第一均流环设...
真空腔室密封结构制造技术
本发明提供了一种用于真空腔室的密封结构、一种用于等离子体反应室,以及一种微波等离子体化学气相沉积装置。该真空腔室包括从外部伸入腔体的基台结构,基台结构能绕轴线旋转并上下运动,密封结构用于基台结构与腔体壁之间的动密封,密封结构至少包括设于...
一种钢珠装填工具制造技术
本实用新型公开了一种钢珠装填工具,包括钢珠槽、钢珠槽底部连通设置的活动腔体、活动腔体侧壁连通的真空发生器和活动腔体底部连接的气缸,真空发生器在活动腔体内部设有真空腔室,真空腔室内设有中空连接杆,真空连接杆一端与气缸的气缸杆连接,另一端伸...
一种附带气动密封的CVD真空反应器制造技术
本发明属于化学气相沉积技术领域,具体为一种附带气动密封的CVD真空反应器,包括:壳体、进气管、调节单元和置物单元,所述置物单元包括弹簧,通过判断置物单元中弹簧的变形量,若弹簧的压缩量较大,则需要镀膜的基材较多,基材从置物单元的中心分布至...
一种CVD金刚石生长在线检测装置制造方法及图纸
本发明公开了一种CVD金刚石生长在线检测装置,属于金刚石生长检测技术领域。本发明包括沉积器、底座,所述沉积器设置在底座上,沉积器的上方设置有输气管、转动盘,沉积器的外侧缠绕有电磁线圈,所述输气管向沉积器中输入高温等离子气体,所述转动盘与...
一种非接触式光学高温计制造技术
本发明公开了一种非接触式光学高温计,涉及光学高温计技术领域,包括主体和滑动变阻器,所述主体的内部设置有物镜,所述主体内部设置有颜色匹配部件,所述颜色匹配部件内部设置有若干个灯丝,所述颜色匹配部件包括有选择组件和控制组件,主体的下端安装有...
一种全自动外圆抛光设备制造技术
本实用新型公开了一种全自动外圆抛光设备,包括机架和机架两侧中部一体向上延伸的集尘管道,机架上表面中部向内凹设有第一接尘盘,机架内部设有集尘仓和电柜仓,第一接尘盘和集尘仓连通,第一接尘盘的两侧的机架表面固定有两个十字滑轨平台,两个十字滑轨...
一种具有均布生长功能的MPCVD设备制造技术
本发明公开了一种具有均布生长功能的MPCVD设备,属于金刚石生长技术领域。本发明包括机座,所述机座上设置有生长室,所述生长室上安装有燃烧器,生长室的内壁中设置有主线圈,所述燃烧器与含碳气体源相连接,燃烧器与生长室之间设置有若干个进气管,...
一种全自动内圆抛光设备制造技术
本实用新型公开了一种全自动内圆抛光设备,包括机架以及固定在机架框架上的第一传动机构和第二传动机构,第一传动机构上固定且传动连接有主轴总成;第二传动机构固定且传动连接有第一工件夹持模块和第二工件夹持模块,第一工件夹持模块和第二工件夹持模块...
一种车床自动送料装置制造方法及图纸
本实用新型公开了一种车床自动送料装置,包括气缸、气缸支架、吹气嘴、送料通道、液压卡盘和配电柜,气缸包括第一气缸气管和第二气缸气管;吹气嘴设有吹气管;配电柜包括开关电源、液压站和延时继电器,延时继电器包括第二和第三电磁阀,本实用通过气缸和...
一种小型轴卡簧安装器制造技术
实用新型公开了一种小型轴卡簧安装器,包括压套、螺纹固定于压套上端面的顶盖,以及设于牙套内由上往下同轴依次布置的弹簧、滑杆连接件和滑杆,滑杆下端伸出压套,且下端面内倒角设计,弹簧套设于滑杆连接件顶部外周,且设于滑杆连接件和顶盖之间,滑杆连...
一种O型圈安装笔制造技术
本实用新型公开了一种O型圈安装笔,包括笔壳、灯照模块和O型圈安装模块,笔壳包括外壳和笔头,灯照模块包括开关装置、电池组和光源,光源包括发光组件和灯珠,O型圈安装模块包括设于外壳内部的连接块、顶料装置和弹簧,连接块包括聚光孔和沉孔,顶料装...
一种管接头安装治具制造技术
本实用新型公开了一种管接头安装治具,包括底座、安装于底座一端的台钳、另一端的快夹座和设于快夹座上方的大型快夹,大型快夹和所述快夹座之间设有调整大型快夹中心的垫高块。大型快夹尾部设有加力杆,加力杆通过连接元件连接街头转接装置,台钳为双动台...
一种浮动套筒制造技术
本实用新型公开了一种浮动套筒,包括套筒、连接套、连接杆和弹簧,连接套包括扳手位和内凸沿;套筒包括内四角凹槽,六角凹槽、通孔和外凸沿;连接杆设有插接头,弹簧套设于插接头外周,并制成连接杆和套筒的外凸沿,形成内四角凹槽和插接头的活动间距与外...
一种字模滚印机制造技术
本实用新型公开了一种字模滚印机,包括底座、导轨模块、钢印模块、滚子模块和传动模块,导轨模块包括设于滑轨上的滑块,摄于滑块上的滑板;滚子模块包括设于滑板上滚子支架,设于滚子支架内部用于放置工件的滚子;钢印模块设有置于滚子上空的字模装置;传...
一种螺纹顶高器制造技术
本实用新型公开了一种螺纹顶高器,包括升降杆、设于所述升降杆下方的底座、设于所述升降杆和所述底座之间的降阻钢珠和套设与所述升降杆和底座之间的调节套,所述升降杆侧面下半部表面和所述底座侧面上半部表面设有螺纹,所述调节套内表面分别设有各自与所...
一种腔体焊接治具制造技术
本实用新型公开了一种腔体焊接治具,包括直拉治具和斜拉治具,直拉治具包括门板保持架、观察窗保持架和直拉顶盖板,直拉顶盖板和门板保持架连接直角处设有加强筋;斜拉治具包括4个对称设置且结构设置相同的小观察窗保持架,小观察窗保持架包括保持架、小...
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