一种CVD金刚石生长在线检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种CVD金刚石生长在线检测装置，属于金刚石生长检测技术领域。本发明专利技术包括沉积器、底座，所述沉积器设置在底座上，沉积器的上方设置有输气管、转动盘，沉积器的外侧缠绕有电磁线圈，所述输气管向沉积器中输入高温等离子气体，所述转动盘与沉积器转动连接，所述转动盘上设置有检测塔架，所述检测塔架上滑动设置有升降板，所述升降板的下方设置有检测机构，所述底座内设置有装载台及置换机构，所述装载台上设置有生长基板，所述检测机构对生长基板进行检测，所述置换机构对生长基板进行替换，所述装载台内设置有清洁器，所述清洁器对沉积器及检测机构进行清洁。器对沉积器及检测机构进行清洁。器对沉积器及检测机构进行清洁。

【技术实现步骤摘要】
一种CVD金刚石生长在线检测装置


[0001]本专利技术涉及金刚石生长检测
，具体为一种CVD金刚石生长在线检测装置。

技术介绍

[0002]金刚石也是平常人们口中所说的钻石，属于纯碳矿物，是自然界中天然存在的最坚硬的物质，正由于金刚石的高硬度、高耐磨性的特点，使得金刚石成为极佳的工具材料，例如将金刚石用作车削加工的刀具，或用于修整砂轮的工具，同时金刚石传导光的光谱范围宽，在诸多光学检测仪器中也存在应用，但金刚石的资源稀缺，加工费人工费时间，价格及其昂贵，且金刚石矿物普遍较小，难以用作较大的工具使用，因此想要获得价格低的金刚石需要借助其他手段。
[0003]CVD是化学气相沉积的英文首字母缩写，如甲烷或氢气的含碳气体混合物在高温和低于标准大气压的压力下被激发分解，形成等离子态碳原子，并在基体上沉积交互生长成聚晶体或单晶体的金刚石，这种方式生产时金刚石及其容易出现生长缺陷，导致金刚石的成品率不高，若采用成像仪对其进行检测，成像仪与生长基板的距离较远导致成像模糊不清，操作人员很难进行观测判断。

技术实现思路

[0004本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CVD金刚石生长在线检测装置，其特征在于：包括沉积器(1)、底座(2)，所述沉积器(1)设置在底座(2)上，沉积器(1)的上方设置有输气管(3)、转动盘(10)，沉积器(1)的外侧缠绕有电磁线圈，所述输气管(3)向沉积器(1)中输入高温等离子气体，所述转动盘(10)与沉积器(1)转动连接，所述转动盘(10)上设置有检测塔架(4)，所述检测塔架(4)上滑动设置有升降板(5)，所述升降板(5)的下方设置有检测机构，所述底座(2)内设置有装载台(24)及置换机构，所述装载台(24)上设置有生长基板，所述检测机构对生长基板进行检测，所述置换机构对生长基板进行替换，所述装载台(24)内设置有清洁器(25)，所述清洁器(25)对沉积器(1)及检测机构进行清洁。2.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石生长在线检测装置，其特征在于：所述沉积器(1)设置有第二电机(8)，所述第二电机(8)上安装有主动齿轮(9)，所述转动盘(10)的外轮廓上开设有齿槽，所述齿槽与主动齿轮(9)相啮合，所述转动盘(10)上设置有第一电机(6)，所述第一电机(6)位于检测塔架(4)的一侧，第一电机(6)上安装有丝杆(7)，所述升降板(5)上开设有螺纹孔，所述丝杆(7)与螺纹孔相配合。3.根据权利要求1所述的一种CVD金刚石生长在线检测装置，其特征在于：所述检测机构包括升降节(11)、转动节(12)、探测节(13)，所述升降节(11)、转动节(12)、探测节(13)均为中空结构，升降节(11)位于升降板(5)的下方，升降节(11)与升降板(5)滑动连接，所述转动节(12)的上部与升降节(11)的底部球面连接，转动节(12)与升降节(11)的连接处设置有上固定节(20)，所述探测节(13)与转动节(12)的底部球面连接，探测节(13)与转动节(12)的连接处设置有下固定节(21)。4.根据权利要求3所述的一种CVD金刚石生长在线检测装置，其特征在于：所述升降节(11)的内部设置有伺服电机(14)，升降节(11)的内部转动安装有蜗轮(16)，所述伺服电机(14)上设置有蜗杆(15)，所述蜗杆(15)与蜗轮(16)配合传动所述蜗轮(16)的两端对称设置有凸轮(18)，两个所述凸轮(18)位于升降节(11)外侧，两个凸轮(18)与蜗轮(16)同轴连接，每个凸轮(18)上开设有凹槽，所述升降板(5)的两端对称设置有耳板，每个所述耳板上设置有销子，两个所述销子分别位于两个凹槽内。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：胡常青，赵建海，
申请(专利权)人：上海铂世光半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：