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本发明公开了一种CVD金刚石生长在线检测装置，属于金刚石生长检测技术领域。本发明包括沉积器、底座，所述沉积器设置在底座上，沉积器的上方设置有输气管、转动盘，沉积器的外侧缠绕有电磁线圈，所述输气管向沉积器中输入高温等离子气体，所述转动盘与沉积...
该专利属于上海铂世光半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海铂世光半导体科技有限公司授权不得商用。

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