本发明提供流量控制装置、检验方法及流量控制方法，其可在半导体制造装置等工作期间实施流经流路的工艺气体的流量控制检验处理。其在控制流量使流经流路（４）的流量达到流量设定值时，收集由工艺气体流量检测值、压力检测值及输出至流量控制阀机构（７）...

本发明目的在于提供一种用于大流量但却不至于大型化的、廉价而 简洁的高性能流量传感器以及应用此传感器的质量流量控制装置。其特 征在于，流量传感器(8)将流体以特定的分流比分流至旁通流路(12) 和由形成桥式电路一部分的发热电阻丝绕制成的传...

一种高强度低温烧成陶瓷组合物，其特征在于：在组织中具有六方晶ＳｒＡｌ↓［２］Ｓｉ↓［２］Ｏ↓［８］和Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］结晶。

本发明提供一种用于按照设定的图案将导电性球体在排列载体上进行搭载的经过改良的搭载方法及搭载装置。在将具有导电性的球体在排列载体的一面上按照设定的图案进行搭载的搭载方法中，将具有一面及与前述一面相对的另一面、对前述图案对应设置并在前述一面...

（ａ）使用含有陶瓷材料的粉末及有机粘结剂的料浆制作能够进行低温烧结的基板用生片，（ｂ）在基板用生片上形成了电极后，层叠而制作未烧结多层陶瓷基板，（ｃ）将含有在未烧结多层陶瓷基板的烧结温度下不烧结的无机粒子（具有０．３μｍ以上，并为陶瓷材...

本发明提供一种导体浆料，其含有平均粒径为３μｍ以下的Ａｇ粉末８８～９４质量％和Ｐｄ粉末０．１～３质量％，所述Ａｇ粉末以及所述Ｐｄ粉末的总含有率为８８．１～９５质量％。本发明还提供一种多层陶瓷基板，是通过多个陶瓷生片的层叠以及烧成而得到的...

本发明涉及一种无Ｐｂ焊料合金，以质量％计含有０．１～１．５％的Ａｇ、０．５～０．７５％的Ｃｕ、满足１２．５≤Ｃｕ／Ｎｉ≤１００关系的Ｎｉ、余量为Ｓｎ及不可避免的杂质。焊料合金以质量％计含有０．３～１．２％的Ａｇ。另外，焊料合金以质量％计...

一种提高了空隙磁通密度分布的线性及／或峰值的径向各向异性环形磁铁，其特征在于：该环形磁铁由中心轴与径向各向异性方向构成的角度是高于８９°的至少一个第一径向各向异性区域和中心轴与径向各向异性方向构成的角度是低于８９°但高于４０°的至少一个...

一种表面安装型天线。该天线具有由相对介电常数ε＃－［ｒ］高于６的高电介质材料构成的基体、一端接地另一端开放的带状的辐射电极、连接或电容耦合在辐射电极的一端的接地电极、在与辐射电极间隔一个缝隙的侧面上设置的门形的馈电电极；所述馈电电极一端...

一种高频电路，用于有选择地使用第一和第二频带来进行无线通信的双频段无线装置，包括：双工器，其将与功率放大器的输出侧相连的所述第一和第二频带的发送信号的其中之一送到天线；耦合器，其具有与所述双工器的公共端相连的主线路和副线路；检波器，其具...

一种用于光学复用器／解复用器的薄膜滤波器，包括一玻璃基板和一形成于该玻璃基板表面上的光学薄膜， 该光学薄膜具有多个层叠的腔， 每个腔具有一间隔物层和两组镜面层，每组镜面层彼此对称地层叠在间隔物层的每一侧， 每组镜面层具...

一种高频电路部件，具有：至少第一及第二天线端子、第一通信系统用的至少第一及第二发送端子以及第一通信系统用的至少第一及第二接收端子、两个以上的开关电路、和两个以上的滤波器电路，第一通信系统用的第一发送端子能够与第一天线端子连接，第一通信系...

本发明提供一种高频电路，为选择性地采用第一频带和低于上述第一频带的第二频带的无线通信用的高频电路，具备：天线端子；输入第一及第二频带的发送信号的第一及第二发送端子；输出第一及第二频带的接收信号的第一及第二接收端子；分离第一频带的信号和第...

一种带通滤波器、高频元件及通信装置，带通滤波器具备在积层多个电介质层而成的积层基板内在与积层方向正交的方向排列配置的２个以上的谐振线路，各谐振线路具有在电介质层上形成的第１线圈图形部（ｌｂ１ａ及ｌｂ２ａ，ｌｂ１ｂ及ｌｂ２ｂ）和与该第１线...

一种高频复合部件，用于控制发送电路ＴＸ、接收电路ＲＸ和天线ＡＮＴ之间连接的发送电路ＴＸ和天线ＡＮＴ的连接以及接收电路ＲＸ和天线ＡＮＴ的连接，该高频复合部件在天线ＡＮＴ和发送电路ＴＸ之间，具有包括第１相移电路５和高频放大器４的发送信号控制...

一种光学开关装置，它包括多件机械光学开关构件，每一机械光学开关构件具有安装在壳体中的１至若干条可移动光导纤维和１至若干条固定光导纤维，在壳体中充满着折射率匹配油，用以浸没构件。每一构件具有电磁致动器，用以相对固定光导纤维的开口端往复运动...

一种叠层体型高频开关模块，切换多个不同的发送接收系统的发送电路和接收电路，其特征在于，具有：分波器，对多个发送接收系统的信号进行分波；多个高频开关电路，切换来自分波器的接收信号到接收电路的信号路径和来自发送电路的发送信号到分波器的信号路...

一种高频开关模块，具备：高频开关电路，被连接在天线、发送电路以及接收电路之间，具备多个开关元件；以及声表面波滤波器，被连接在高频开关电路和接收电路之间；由具有电极图案的多个绝缘体层构成的叠层体作为多层基板；在开关电路和声表面波滤波器之间...

一种光开关，其特征在于：具有１根输入用光纤、２根输出用光纤、将从上述输入用光纤到来的光束的光路从一个输出用光纤切换为另一输出用光纤的反射镜，上述输入用光纤与上述反射镜之间的距离同上述输出用光纤的每一个与上述反射镜之间的距离不同。

一种高频部件，它是使用通带不同的多个发送系统的高频部件，其特征在于：有（ａ）对高频侧的信号和低频侧的信号进行分频的分频电路；（ｂ）连接在上述分频电路上，切换与发送系统及接收系统的连接的至少一个开关电路；（ｃ）多个高频放大电路；以及（ｄ）...