为了改善非晶硅吸收器层处于单一构造或串联构造的薄膜太阳能电池，通过在RF-SiH4等离子体中进行等离子体加强蒸汽沉积来制造所针对的a-Si:H的吸收器层，其中以低于0.5mbar的过程压力和以低于370W/14000cm2的RF功率密度...

光伏电池60包括衬底31、透明导电氧化物的前或第一电极42以及微晶硅的至少一个p-i-n结43，所述p-i-n结43包括第一n掺杂硅子层44和第二p掺杂硅子层46以及具有基本上本征微晶硅的第三子层45。包括基本上本征非晶硅的钝化层45布...

为了通过PECVD沉积，在基础结构上，于太阳能电池的p-i-n配置内制造出非晶氢化硅的本征吸收体层，因此改进生产量同时维持吸收体层的质量，已提出了特定的加工状况，其中在用来沉积所提出的吸收体层的反应器中，建立1毫巴至1.8毫巴间的压力及...

在一种制造基于硅的薄膜太阳能电池的方法中，提供基板；在所述基板上沉积透明导电氧化物的第一电极层。在第一时间间隔期间处理所述透明导电氧化物层的表面。之后在第二时间间隔期间在所处理的表面上沉积掺杂层。在包含气态掺杂物的气氛中执行对透明导电氧...

本发明提供了一种用于生产光伏电池的沉积方法和系统。该方法包括在半导体材料沉积的至少一部分期间在反应室内保持负压。将第一和第二电极分离的距离D用mm来表示，并且大于或等于约10mm但小于或等于约30mm。在半导体材料沉积的至少一部分期间建...

本发明提供了一种被构造用于在真空室（1）内固定反应器，尤其是PECVD反应器的托架。该托架（10）包括由至少两根彼此相对布置的外梁（11）和多根横梁（12）构成的框架，其中外梁（11）和横梁（12）形成隔室（13），在隔室中设置温度控制...

公开了一种用于制造非晶/微晶堆叠串联电池的方法，该非晶/微晶堆叠串联电池包括μc-Si：H底部电池与a-Si:H顶部电池、LPCVDZnO正面接触层及ZnO背面接触结合白反射体，该方法包括下列步骤：—将AR-抗反射-概念应用于该非晶/微...

公开了一种用于制造非晶硅p-i-n太阳能电池的方法。所述电池包括抗反射涂层以及掺杂的LPCVD?ZnO正面与背面接触，其中，所述掺杂的LPCVD?ZnO正面与背面接触是由大型粒状物所构成的多晶膜，所述大型粒状物的末端在生长表面呈现为角锥...

一种制造太阳能电池板的方法依赖在真空处理室制造硅层的连续步骤，所述步骤包括：a)提供至少部分用电极材料(如，ZnO)覆盖的基片；b)将所述基片引入能够在其中产生等离子的真空处理室；c)沉积提供有第一掺杂剂的第一硅层；d)从所述处理室移除...

本实用新型涉及薄膜串接结硅太阳能电池。薄膜串接结硅太阳能电池，包括：衬底（41）；正面电极（42）；顶部电池（51），其包括非晶硅i层；底部电池（43），其包括微晶硅i层；背面电极（47）和背面反射体（48）；其特征在于：正面电极包括Z...

在真空中加工基片的内联式真空加工装置，包括至少一个装载-锁定腔(10)，用基本相同的涂覆参数组进行操作的至少两个连续沉积腔(4-7)以及至少一个卸载-锁定腔(10)，再加上用于传送、后加工和/或操纵基片通过并位于各个腔室内的装置。一种用...

本发明的目的是尤其鉴于相应的、材料特定的真空沉积工艺而扩大关于太阳能电池器件内的透明导电氧化物层的材料选择的灵活性。该目的由包括至少一个薄膜太阳能电池和导电、透明氧化物层的太阳能电池器件解决，其中所提出的导电、透明氧化物层为掺杂型ＴｉＯｘ。

本发明涉及一种通过多激光束照射将在基板上形成的半导体膜划分成多个区域的方法，该多激光束照射使用影响所述膜的基本上相同的区的至少两个激光束处理的序列。除了最终激光束处理，至少两个激光束处理的所述序列的处理被用于调整将被移除的经处理的膜区。...

一种光伏电池包括透明导电氧化物的电极层（１ｂ），其沉积在透明载体衬底（７ｂ）上。接着为第一类型掺杂的非晶硅的接触层（１１ｂ），其具有至多１０ｎｍ的厚度。接着为第一类型掺杂的非晶硅化合物的层（２６），其带隙大于所提及的接触层（１１ｂ）的材...

本发明提供薄膜串叠型光电电池，其包括在玻璃衬底上的前ＴＣＯ（３）、作为顶部电池（５）的非晶硅电池、半透明反射层（７）、微晶硅底部电池（９）。其中，半透明反射层（７）具有折射率低于１．７的ｎ－掺杂的氧化硅。非晶硅顶部电池（５）的厚度低于２...

一种由凸缘（１１）围绕的管接头（１８）容纳管件（１６）的端部截段。在处于其间的环状间隙中布置有由塑料、优选地特氟隆制成的主密封圈（１２）并且靠管接头（１８）的端部布置有带有例如径向轴密封圈（１３）的辅助密封件。在操作时间之外，当管接头（...

本发明涉及等离子体反应器，其包括真空容器，到所述真空容器的进气口装置，在所述真空容器中产生等离子体的等离子体装置，所述真空容器内的基底保持器以及排气装置，所述排气装置邻近所述真空容器的壁用于使气体从所述真空容器除去，并且所述排气装置与所...