一种防微小颗粒漂浮的晶圆密封加热装置，属于加热设备技术领域，为了解决加热装置上的密封圈受热老化掉落出微小的颗粒落在晶圆表面的问题，发明包括支撑组件，上加热板顶面上固定安装有防护罩，上加热板的顶面上内嵌竖向滑动设置有升降组件，上加热板的内...

一种晶圆传送用机械夹具，属于半导体集成电路芯片制造技术领域，为了解决如何只采用一个伺服机构即可同时完成晶圆的竖直和水平方向远距离输送的问题，发明中第一旋转平台的输出末端上固定安装有连接底板，下连接底板上活动安装有连接顶板，且连接底板一端...

一种具有稳态气流输出功能的涂胶显影工艺的腔体，属于半导体技术领域，为了解决涂胶显影工艺的腔体不具备均匀分散气流的能力，以及目前的涂胶显影工艺的腔体还不具备临时过滤的能力的问题，发明包括安装板和固定安装在安装板顶面上的气腔，安装板的底面上...

一种具有清洁功能的晶圆传输机械手，属于半导体集成电路芯片制造技术领域，为了解决晶圆在炙烤的过程中，由于密封圈老化会有微小颗粒掉落，随着热气流上升漂浮至晶圆的表面上，对晶圆后续的生产质量造成影响的问题，发明包括底板和固定安装在底板顶面中部...

一种晶圆涂胶显影设备的气液分离装置，属于半导体技术领域，为了解决无法将位于移动板顶部的废液排出的问题，发明包括气液分离盒子，所述气液分离盒子的内腔顶部中间位置处固定安装有斜隔板，当活动板不受液体冲压时，在弹簧的弹力作用下能够使活动板向上...

本发明公开了一种晶圆用加热器及其均匀性设计方法，属于半导体技术领域。包括上加热板、加热片、电源线缆和传感器，所述加热片通过下固定板与所述上加热板相连接，所述加热片位于所述上加热板的底端，且所述加热片上连接有所述电源线缆和所述传感器。本发...